【技术实现步骤摘要】
—种卧式多弧镀膜室
本技术涉及一种卧式多弧镀膜室。
技术介绍
现有技术中的卧式多弧镀膜室，具有镀膜室罐体，镀膜室罐体具有外壁、中间冷却套层和内壁，镀膜室罐体的上、下部壁上均布装有弧源安装孔，镀膜室罐体底部具有安装支架，弧源安装孔包括与所述镀膜室罐体外壁相连的安装外壁、与所述镀膜室罐体内壁相连的安装内壁及与所述镀膜室罐体中间冷却套层相连通的安装套层，上述现有技术中的卧式多弧镀膜室，弧源安装孔的安装内壁是焊接在镀膜室罐体内壁上的，在镀膜过程中镀膜室罐体内存在粉尘，粉尘溅落下来容易落入到弧源头内的金属块和屏蔽罩之间造成镀膜过程中的短路，影响镀膜室的正常工作。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是提供一种镀膜时镀膜室罐体内的粉尘溅落下来后不会落入到弧源头中，进而不会因为粉尘污染造成镀膜过程中短路而影响镀膜室正常工作的卧式多弧镀膜室。为解决上述技术问题，本技术一种卧式多弧镀膜室，具有镀膜室罐体，镀膜室罐体具有外壁、中间冷却套层和内壁，镀膜室罐体的上、下部壁上均布装有弧源安装孔，镀膜室罐体底部具有安装支架，弧源安装孔包括与所述镀膜室罐体外壁相连的安装外壁、与所述镀膜室罐体内壁相连的安装内壁及与所述镀膜室罐体中间冷却套层相连通的安装套层，所述安装内壁伸出所述镀膜室罐体内壁且伸入到镀膜室罐体内。作为本技术的进一步改进，仅是位于所述镀膜室罐体下部壁上的弧源安装孔的安装内壁伸出所述镀膜室罐体内壁且伸入到镀膜室罐体内。采用上述结构的卧式多弧镀膜室，由于弧源安装孔的安装内壁伸出所述镀膜室罐体内壁且伸入到镀膜室罐体内，因此在镀膜过程中镀膜室罐体内的粉尘溅落下来后受到伸长的安装内壁...
【技术保护点】
一种卧式多弧镀膜室，具有镀膜室罐体（1），镀膜室罐体（1）具有外壁（2）、中间冷却套层（3）和内壁（4），镀膜室罐体（1）的上、下部壁上均布装有弧源安装孔（5、6），镀膜室罐体（1）底部具有安装支架（10），弧源安装孔（5、6）包括与所述镀膜室罐体（1）外壁（2）相连的安装外壁（7）、与所述镀膜室罐体（1）内壁（4）相连的安装内壁（9）及与所述镀膜室罐体（1）中间冷却套层（3）相连通的安装套层（8），其特征在于：所述安装内壁（9）伸出所述镀膜室罐体（1）内壁（4）且伸入到镀膜室罐体（1）内。
【技术特征摘要】
1.一种卧式多弧镀膜室，具有镀膜室罐体(1)，镀膜室罐体(I)具有外壁(2)、中间冷却套层(3)和内壁(4)，镀膜室罐体(I)的上、下部壁上均布装有弧源安装孔(5、6)，镀膜室罐体(I)底部具有安装支架(10 )，弧源安装孔(5、6 )包括与所述镀膜室罐体(I)外壁(2 )相连的安装外壁(7)、与所述镀膜室罐体(I)内壁(4)相连的安装内壁(...
【专利技术属性】
技术研发人员：关秉羽，
申请(专利权)人：辽宁北宇真空科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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