一种氮化铬钛铌氮梯度硬质反应膜的制备方法技术

一种氮化铬钛铌氮梯度硬质反应膜的制备方法，其制备方法依次包括：1、沉积技术及靶材成分的确定；2、工件的选择与前处理；3、预轰击工艺的确定；4、沉积工艺的确定；5、真空加热处理；6、工件旋转。本发明专利技术降低了镀膜成本，保证了低摩擦系数、高膜层硬度和高附着力的同时实现，减小膜层的内应力，并具有良好的稳定性和可重复性。

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】，其制备方法依次包括：1、沉积技术及靶材成分的确定；2、工件的选择与前处理；3、预轰击工艺的确定；4、沉积工艺的确定；5、真空加热处理；6、工件旋转。本专利技术降低了镀膜成本，保证了低摩擦系数、高膜层硬度和高附着力的同时实现，减小膜层的内应力，并具有良好的稳定性和可重复性。【专利说明】
本专利技术涉及一种氮梯度硬质反应膜的制备方法，特别是采用组合靶制备多弧离子镀氮梯度硬质反应膜的方法，比如氮化铬钛铌氮梯度硬质反应膜(以下使用“CrTiNbN”来代替“氮化铬钛铌”)的制备方法。
技术介绍
多弧离子镀是ー种设有多个可同时蒸发的阴极弧蒸发源的真空物理沉积技术，具有沉积速度快、膜层组织致密、附着力强、均匀性好等显著特点，该技术适用于硬质膜及硬质反应梯度膜的制备。从膜层发展来看，氮化钛铝，氮化钛铬，氮化钛铌等硬质复合膜由于硬度高、摩擦系数小、耐热性强等各自特性而比氮化钛膜更具有开发应用价值，井向更优越性能的多元化、多层化、复合化发展。对于单层的以钛为基的多组元硬质反应膜而言，主要存在以下缺点:1、一般容易出现膜层硬度与膜层附着力之间的矛盾，即硬度与附着力难以同时满足；2、多本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种氮化铬钛铌氮梯度硬质反应膜的制备方法，其特征是：其制备方法依次包括：（1）、沉积技术及靶材成分的确定：确定多弧离子镀作为CrTiNbN氮梯度硬质反应膜的制备技术，选用两个不同方位且成90度配置的弧源同时起弧沉积，其中一个弧源为纯度99.9%的商用钛铌合金靶，钛铌合金靶的原子比为Ti:Nb=75:25；另一个弧源为纯度99.9%的商用铬单质靶；（2）、工件的选择与前处理：选择商用高速钢作为工件材料，在放入镀膜室进行镀膜前，使用金属洗涤剂对工件进行常规去油、去污处理并进行表面抛光处理，最后分别用丙酮和乙醇进行超声波清洗，电吹风吹干以备用；（3）、预轰击工艺的确定：指为获得多弧离子镀CrTiNb...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：张钧，丰宇，尹利燕，张健，蔡佳婧，焦悦，
申请(专利权)人：沈阳大学，
类型：发明
国别省市：