一种氮化钛铝铌氮梯度硬质反应膜的制备方法技术

一种氮化钛铝铌氮梯度硬质反应膜的制备方法，其制备方法依次包括：1、沉积技术及靶材成分的确定；2、工件的选择与前处理；3、预轰击工艺的确定；4、沉积工艺的确定；5、真空加热处理；6、工件旋转。本发明专利技术降低了镀膜成本，保证了膜层高附着力、高硬度和高热震性的同时实现，减小了膜层内应力，并具有良好的稳定性和可重复性。

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】，其制备方法依次包括：1、沉积技术及靶材成分的确定；2、工件的选择与前处理；3、预轰击工艺的确定；4、沉积工艺的确定；5、真空加热处理；6、工件旋转。本专利技术降低了镀膜成本，保证了膜层高附着力、高硬度和高热震性的同时实现，减小了膜层内应力，并具有良好的稳定性和可重复性。【专利说明】
本专利技术涉及一种氮梯度硬质反应膜的制备方法，特别是采用组合靶制备多弧离子镀氮梯度硬质反应膜的方法，比如氮化钛铝铌氮梯度硬质反应膜(以下使用“TiAlNbN”来代替“氮化钛铝铌”)的制备方法。
技术介绍
多弧离子镀是一种设有多个可同时蒸发的阴极弧蒸发源的真空物理沉积技术，具有沉积速度快、膜层组织致密、附着力强、均匀性好等显著特点。该技术适用于硬质膜及硬质反应梯度膜的制备，并在氮化钛，氮化钛铝以及更多元的硬质反应膜的制备方面获得成功应用。氮化钛铝，氮化钛铌等钛基硬质反应膜由于硬度高、摩擦系数小、耐热性强等各自特性而比氮化钛膜更具有开发应用前景。对于单层的以钛为基的多组元硬质反应膜而言，主要存在以下缺点:1、一般容易出现膜层硬度与膜层附着力之间的矛盾，即硬度与附着力难以同时满足；2、多组本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种氮化钛铝铌氮梯度硬质反应膜的制备方法，其特征是：其制备方法依次包括：（1）、沉积技术及靶材成分的确定：确定多弧离子镀作为TiAlNbN氮梯度硬质反应膜的制备技术，选用两个不同方位且成90度配置的弧源同时起弧沉积，其中一个弧源为纯度99.9%的商用钛铌合金靶，钛铌合金靶的原子比为Ti:Nb=75:25；另一个弧源为纯度99.9%的商用钛铝合金靶，钛铝合金靶的原子比为Ti:Al=50:50；（2）、工件的选择与前处理：选择商用高速钢作为工件材料，在放入镀膜室进行镀膜前，使用金属洗涤剂对工件进行常规去油、去污处理并进行表面抛光处理，最后分别用丙酮和乙醇进行超声波清洗，电吹风吹干以备用；（3）、预...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：张钧，尹利燕，丰宇，张健，赵时璐，李朝阳，丁龙先，
申请(专利权)人：沈阳大学，
类型：发明
国别省市：