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一种氮化铬钛铌氮梯度硬质反应膜的制备方法，其制备方法依次包括：1、沉积技术及靶材成分的确定；2、工件的选择与前处理；3、预轰击工艺的确定；4、沉积工艺的确定；5、真空加热处理；6、工件旋转。本发明降低了镀膜成本，保证了低摩擦系数、高膜层硬度...
该专利属于沈阳大学所有，仅供学习研究参考，未经过沈阳大学授权不得商用。

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