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本发明提供一种能够减少动作所需的能量的成膜装置及真空腔室的开闭机构。在使阀体（9）从第2位置（P2）向第3位置（P3）移动时，第1缸体（22）动作，在使阀体（9）从第3位置（P3）向第1位置（P1）移动并经阀体（9）按压密封部件（11）时，...
该专利属于住友重机械工业株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过住友重机械工业株式会社授权不得商用。

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