【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于集成电路封装
,公开了间隔层在堆叠晶粒封装中的应用方法。
技术介绍
在集成电路封装中,堆叠封装是IC封装非常常用的一种封装形式,可以使同种晶粒(die)的堆叠,也可以是不同晶粒(die)的堆叠,在堆叠设计时要避免下层金线与上层晶粒(die)接触通常采用FOW胶膜(film over wire)这种比较贵的胶膜,FOW胶膜在晶圆减薄后,贴在晶圆背面,划片时,将晶圆和FOW胶膜一起切开,其特性加热固化前非常软,固晶时,直接将贴有FOW胶膜的晶粒(die)压在下层已焊线的晶圆(die)上,下层的金线就陷入FOW胶膜里面。而且价格不菲的FOW胶膜对工艺条件要求也很高,由于其非常软,在划片时容易产生胶丝,容易粘刀将刀上的钻石颗粒包裹失去切削能力,这样的刀切出来的晶圆会有崩缺造成电性失效,另外,切割时产生的胶丝比较多有些会粘到晶圆正面的bond pad(焊线盘)上造成焊线问题,其对die bond(固晶)制程条件要求也比较严格,die bond(固晶)的压力和压力的均匀性要足以使下层晶圆(die)上的金线完全陷进上层晶粒(die)下面贴覆的FOW胶膜里面,同时还要保证上层晶圆(die)的水平度。
技术实现思路
本专利技术为了解决现有技术FOW胶膜用料昂贵,工艺条件要求高的问题,本专利技术提供了通过增加间隔层降低封装成本和封装工艺难度,且间隔层所用DAF胶层硬度高于FOW胶层,使得划片方便的应用方法。本专利技术的具体技术方案为:间隔层在堆叠晶粒封装的应用方法,包括多个堆叠的晶粒,其放置在基板上,所述多个堆叠的晶粒的底面贴有DAF胶膜,所述多个堆叠的晶粒 ...
【技术保护点】
间隔层在堆叠晶粒封装的应用方法,包括多个堆叠的晶粒,其放置在基板上,所述多个堆叠的晶粒的底面贴有DAF胶膜,所述多个堆叠的晶粒之间贴有一层有FOW胶膜,其特征在于:所述多个堆叠的晶粒之间使用间隔层取代FOW胶膜,间隔层使用在贴有DAF胶膜的晶圆上,所述间隔层取代FOW胶膜三个流程,其依次为硅晶圆减薄、减薄后贴DAF胶膜、划片;其具体包括六个步骤:步骤一、准备间隔层:即硅晶圆减薄到所需厚度,背面贴DAF胶膜,经划片制程切成所需大小的方块;步骤二、在基板上先贴第一层产品晶粒;步骤三、将间隔层贴在第一层晶圆上;步骤四、将步骤三完成的材料烘烤后,对第一层晶粒焊线;步骤五、将步骤四完成材料,返回固晶工序贴第二层晶粒;步骤六、将步骤四完成材料烘烤后,对第二层硅晶粒焊线,堆叠完成。
【技术特征摘要】
1.间隔层在堆叠晶粒封装的应用方法,包括多个堆叠的晶粒,其放置在基板上,所述多个堆叠的晶粒的底面贴有DAF胶膜,所述多个堆叠的晶粒之间贴有一层有FOW胶膜,其特征在于:所述多个堆叠的晶粒之间使用间隔层取代FOW胶膜,间隔层使用在贴有DAF胶膜的晶圆上,所述间隔层取代FOW胶膜三个流程,其依次为硅晶圆减薄、减薄后贴DAF胶膜、划片;其具体包...
【专利技术属性】
技术研发人员:凡会建,李文化,彭志文,
申请(专利权)人:特科芯有限公司,
类型:发明
国别省市:江苏;32
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