【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于半导体激光器领域，是一种半导体激光器研制和生产过程中有重要应用镀膜装置，应用于半导体激光器腔面镀膜。
技术介绍
腔面镀膜技术是半导体激光器研制和生产过程中的核心技术之一，镀制的腔面光学膜反射率等性能直接影响和决定半导体激光器的性能，对半导体激光器制备有重要影响。为了提高半导体激光器腔面光学膜反射率和镀膜质量的控制，通常采用高真空条件下离子辅助物理气相沉积镀膜技术，采用石英晶体膜厚控制仪和光学膜厚控制仪对光学膜生长过程中的厚度进行控制。理论上，可以实现需要反射率的半导体激光器腔面光学膜，但是实际工艺中，镀制的腔面光学膜反射率与设计值存在较大的差异，主要的原因在于：工艺过程中，需要镀膜夹具对半导体激光器Bar条进行固定，而半导体激光器有源区离P面电极垂直距离在1～2μm，在激光器Bar条固定过程中，因激光器Bar条腔长或多或少存在数μm以上的差异，且安装Bar条的夹具表面不平整，激光器有源区部分很容易被相邻的激光器Bar条或夹具部件表面遮挡，这样镀膜过程中，激光器有源区位置生长的膜厚与实际要求的值有差异，而且与当时的固定Bar条的状态有关，存在很大的不...
【技术保护点】
半导体激光器腔面镀膜夹具，该夹具为一种倾斜固定激光器Bar条的特殊镀膜夹具，其特征在于：该夹具是由底板(1)、中板(2)、盖板(3)、滑块(4)、Bar条(5)组成；底板(1)与中板(2)接触面为光滑平面，底板(1)的中间开有长方形通孔，激光器的Bar条(5)与该长方形通孔相配合，并透过该长方形通孔镀制其所需光学膜，底板(1)中空部分边缘厚度d1较薄，该面板作为镀膜夹具底部支撑板使用，底板(1)两边开有内螺纹通孔；中板(2)的两面均为光滑的金属板，中板(2)与底板(1)的尺寸相一致，中板(2)的中间掏空成长方形，长方形宽度w2比底板中空的长方形宽度w1宽0.5mm‑1.5m...
【技术特征摘要】
1.半导体激光器腔面镀膜夹具，该夹具为一种倾斜固定激光器Bar条的特殊镀膜夹具，其特征在于：该夹具是由底板(1)、中板(2)、盖板(3)、滑块(4)、Bar条(5)组成；底板(1)与中板(2)接触面为光滑平面，底板(1)的中间开有长方形通孔，激光器的Bar条(5)与该长方形通孔相配合，并透过该长方形通孔镀制其所需光学膜，底板(1)中空部分边缘厚度d1较薄，该面板作为镀膜夹具底部支撑板使用，底板(1)两边开有内螺纹通孔；中板(2)的两面均为光滑的金属板，中板(2)与底板(1)的尺寸相一致，中板(2)的中间掏空成长方形，长方形宽度w2比底板中空的长方形宽度w1宽0.5mm-1.5mm，中板(2)的厚度与激光器的腔长一致以锁紧激光器的Bar条(5)，中板(2)的两边开有无内螺纹的通孔；盖板(3)和底板(1)的尺寸相一致，盖板(3)被分割成盖板A、盖板B两部分，盖板(3)中间开有中空的长方形金属板即为盖板B，盖板(3)的另外部分为盖板A，盖板A、盖板B相配合以便拆卸；另外在盖板B部分内空的两边对称开了长方形切口，以便于激光器的Bar条(5)拆装；盖板A两侧开有内陷螺帽的无内置螺纹通孔，以便将底板(1)、中板(2)、盖...
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