一种镀膜机真空室温度自动控制装置制造方法及图纸

技术编号:13531344 阅读:60 留言:0更新日期:2016-08-15 17:39
本实用新型专利技术公开了一种镀膜机真空室温度自动控制装置,包括镀膜机真空室壳体,所述镀膜机真空室壳体的底端连接有底座,所述镀膜机真空室壳体的内腔中设有一空腔,该空腔中安装有控制器和温度传感器,且温度传感器电连接控制器,所述镀膜机真空室壳体的内腔中由下至上分别设有第一加热器、第二加热器和第三加热器。该镀膜机真空室温度自动控制装置通过在每个第一加热器、第二加热器、第三加热器和转架上都安装有热偶温度检测装置,使得控制器能自动控制加热器的加热效率,从而对工件的不同温度进行调控。

【技术实现步骤摘要】
201521109816

【技术保护点】
一种镀膜机真空室温度自动控制装置,包括镀膜机真空室壳体(1),所述镀膜机真空室壳体(1)的底端连接有底座(2),其特征在于:所述镀膜机真空室壳体(1)的内腔中设有一空腔,该空腔中安装有控制器(7)和温度传感器(9),且温度传感器(9)电连接控制器(7),所述镀膜机真空室壳体(1)的内腔中由下至上分别设有第一加热器(3)、第二加热器(4)和第三加热器(5),所述第一加热器(3)、第二加热器(4)和第三加热器(5)分别电连接控制器(7),且第一加热器(3)、第二加热器(4)和第三加热器(5)的上侧均设有转架(8),所述第一加热器(3)、第二加热器(4)、第三加热器(5)和转架(8)的上表面均安装有热偶温度检测装置(6),所述热偶温度检测装置(6)电连接控制器(7)。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:刘野韩登科
申请(专利权)人:大连维钛克科技股份有限公司
类型:新型
国别省市:辽宁;21

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