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一种用于真空镀的可控、活动遮盖装置制造方法及图纸

技术编号:13341776 阅读:246 留言:0更新日期:2016-07-13 18:21
本发明专利技术公开了一种用于真空镀的可控、活动遮盖装置,包括遮盖部分、控制部分、储存仓和基座。该发明专利技术(1)简化了包括MLCC生产在内的真空镀工艺流程,起到缩短其生产周期,提高产生效率,节约生产成本的作用,符合环保要求。(2)使一些用传统方法做不到的工艺成为可能,具有一定的创新性。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种用于真空镀的可控、活动遮盖装置,包括位于被镀工件与真空镀源之间的可控活动遮盖物、用于控制遮盖物动作的控制装置、储存备用遮盖物的储存仓、放置被镀工件的基座,其特征在于:所述遮盖物在真空镀制过程中是活动的、可控的。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:黄初镇
申请(专利权)人:黄初镇
类型:发明
国别省市:广东;44

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