下载一种用于真空镀的可控、活动遮盖装置的技术资料

文档序号:13341776

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本发明公开了一种用于真空镀的可控、活动遮盖装置,包括遮盖部分、控制部分、储存仓和基座。该发明(1)简化了包括MLCC生产在内的真空镀工艺流程,起到缩短其生产周期,提高产生效率,节约生产成本的作用,符合环保要求。(2)使一些用传统方法做不到的...
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