一种单晶硅圆片分离机构制造技术

本发明专利技术公开了一种单晶硅圆片分离机构，包括旋转盘，所述旋转盘的顶端中心位置设有液压装置，所述第二支撑板的顶端四角均设有固定柱，所述固定柱的顶端设有第一支撑板，所述旋转装置贯穿第二支撑板和第一支撑板与电机相连，所述旋转盘的上表面四周设有前后移动机构，所述旋转盘的底端四周设有分离吸盘，所述前后移动机构与分离吸盘相连。该分离机构，通过电机带动旋转装置转动，可以调节分离吸盘的角度，通过液压装置可以带动旋转盘伸缩，从而可以带动分离吸盘伸缩，通过前后移动机构可以带动分离吸盘在旋转盘的上位置，通过分离吸盘可以吸附住单晶硅圆片，从而实现快速分离的效果。

【技术实现步骤摘要】


本专利技术涉及分离机构
，具体为一种单晶硅圆片分离机构。

技术介绍

现有的料盘分离机构，都采用机械式夹爪直接夹取料盘，由于夹爪占用比较大的空间，在实现小间距料盘分离的时候会产生干涉，夹爪放不进去，导致夹取不到料盘，如果强行夹取可能会导致料盘变形甚至损坏，另外当两片料盘紧密贴合的时候，分离过程中料盘之间相互吸附力比较大，直接夹取分离时可能导致料盘分离不成功或者损坏料盘，例如专利号为201420077637.6的专利，包括底板、安装在底板上呈框架的分离板、安装在底板上的分离气缸、安装在分离板上的顶升气缸和夹紧气缸，虽然可以可以稳定实现小间隙的多种料盘分离，但是需要把盘体推动出来，再通过夹爪夹起来，非常的麻烦，而且使用夹爪时很容易损坏盘体。

技术实现思路

本专利技术的目的在于提供一种单晶硅圆片分离机构，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种单晶硅圆片分离机构，包括旋转盘，所述旋转盘的顶端中心位置设有液压装置，所述液压装置的顶端设有旋转装置，所述液压装置的四周设有固定支撑柱，且固定支撑柱贯穿旋转盘，所述固定支撑柱的内侧设有支撑柱，所述支撑柱的顶端设有第二支撑板，所述第二支撑板的顶端四角均设有固定柱，所述固定柱的顶端设有第一支撑板，所述固定柱贯穿第一支撑板，所述旋转装置贯穿第二支撑板和第一支撑板与电机相连，所述旋转盘的上表面四周设有前后移动机构，所述旋转盘的底端四周设有分离吸盘，所述前后移动机构与分离吸盘相连。
优选的，所述旋转盘与液压装置的连接处设有固定块。
优选的，所述液压装置与电机的连接处设有固定环。
优选的，所述旋转装置的外壁上设有加强筋。
优选的，所述分离吸盘的底端对应设有陶瓷盘，所述陶瓷盘上环绕设置有用于安装单晶硅圆片的圆形开口。
与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：该分离机构，通过电机带动旋转装置转动，可以调节分离吸盘的角度，通过液压装置可以带动旋转盘伸缩，从而可以带动分离吸盘伸缩，通过前后移动机构可以带动分离吸盘在旋转盘的上位置，通过分离吸盘可以吸附住单晶硅圆片，从而实现快速分离的效果，还可以稳定实现小间隙的多种料盘分离，安全可靠。
附图说明
图1为本专利技术结构示意图；
图2为本专利技术的整体结构示意图。
图中：1、电机，2、旋转装置，3、固定柱，4、第一支撑板，5、第二支撑板，6、支撑柱，7、前后移动机构，8、圆形开口，9、陶瓷盘，10、分离吸盘，11、旋转盘，12、固定支撑柱，13、加强筋，14、固定环，15、固定块，16、液压装置。
具体实施方式
下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。
请参阅图1-2，本专利技术提供一种技术方案：一种单晶硅圆片分离机构，包括旋转盘11，所述旋转盘11的顶端中心位置设有液压装置16，所述旋转盘11与液压装置16的连接处设有固定块15，通过固定块15可以使旋转盘11与液压装置16的连接更牢固，所述液压装置16的顶端设有旋转装置2，所述旋转装置2的外壁上设有加强筋13，通过加强筋13可以加强旋转装置2的硬度，所述液压装置16的四周设有固定支撑柱12，且固定支撑柱12贯穿旋转盘11，所述固定支撑柱12的内侧设有支撑柱6，所述支撑柱6的顶端设有第二支撑板5，所述第二支撑板5的顶端四角均设有固定柱3，所述固定柱3的顶端设有第一支撑板4，所述固定柱3贯穿第一支撑板4，所述旋转装置2贯穿第二支撑板5和第一支撑板4与电机1相连，所述液压装置16与电机1的连接处设有固定环14，通过固定环14可以使液压装置16与电机1的连接更牢固，所述旋转盘11的上表面四周设有前后移动机构7，所述旋转盘11的底端四周设有分离吸盘10，所述前后移动机构7与分离吸盘10相连，所述分离吸盘10的底端对应设有陶瓷盘9，所述陶瓷盘9上环绕设置有用于安装单晶硅圆片的圆形开口8。
使用时，通过电机1带动旋转装置2转动，可以调节分离吸盘10的角度，通过液压装置16可以带动旋转盘11伸缩，从而可以带动分离吸盘10伸缩，通过前后移动机构7可以带动分离吸盘10在旋转盘11的上位置，通过分离吸盘10吸附住安装圆形开口8的单晶硅圆片，从而实现对单晶硅圆片的快速分离。
尽管已经示出和描述了本专利技术的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本专利技术的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本专利技术的范围由所附权利要求及其等同物限定。
本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种单晶硅圆片分离机构，包括旋转盘，其特征在于：所述旋转盘的顶端中心位置设有液压装置，所述液压装置的顶端设有旋转装置，所述液压装置的四周设有固定支撑柱，且固定支撑柱贯穿旋转盘，所述固定支撑柱的内侧设有支撑柱，所述支撑柱的顶端设有第二支撑板，所述第二支撑板的顶端四角均设有固定柱，所述固定柱的顶端设有第一支撑板，所述固定柱贯穿第一支撑板，所述旋转装置贯穿第二支撑板和第一支撑板与电机相连，所述旋转盘的上表面四周设有前后移动机构，所述旋转盘的底端四周设有分离吸盘，所述前后移动机构与分离吸盘相连。

【技术特征摘要】
1.一种单晶硅圆片分离机构，包括旋转盘，其特征在于：所述旋转盘的顶端中心位置设有液压装置，所述液压装置的顶端设有旋转装置，所述液压装置的四周设有固定支撑柱，且固定支撑柱贯穿旋转盘，所述固定支撑柱的内侧设有支撑柱，所述支撑柱的顶端设有第二支撑板，所述第二支撑板的顶端四角均设有固定柱，所述固定柱的顶端设有第一支撑板，所述固定柱贯穿第一支撑板，所述旋转装置贯穿第二支撑板和第一支撑板与电机相连，所述旋转盘的上表面四周设有前后移动机构，所述旋转盘的底端四周设有分离吸盘，所述前后移动机构与分离吸盘...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈铭欣，林木榕，谢斌晖，
申请(专利权)人：福建晶安光电有限公司，
类型：发明
国别省市：福建;35