晶粒精密取放装置制造方法及图纸

一种晶粒精密取放装置，其特征在于包含有：一晶粒供应单元，供至少一晶粒设置；一基板承载单元，相邻于所述晶粒供应单元，该基板承载单元供一基板设置，该基板具有至少一基板记号；一取放单元，设于该晶粒供应单元与该基板承载单元的上方，该取放单元具有至少一吸取模块，各吸取模块具有一头部、与一第一记号，该第一记号位于该头部的底端；一下视觉撷取单元，位于该晶粒供应单元与该基板承载单元之间，该下视觉撷取单元用于撷取该头部的底端的影像信息；以及一第一视觉撷取单元，设于该基板承载单元的上方，该第一视觉撷取单元用于撷取该基板记号的影像信息。

【技术实现步骤摘要】


本技术涉及一种晶粒精密取放装置，该装置可配合一吸取模块，以将记号设于基板与吸取模块，并通过撷取记号与晶粒的影像信息，以精准地得知晶粒与基板之间的位置关系，用于提升晶粒与基板之间结合的准确性。

技术介绍

在晶圆的制程中，晶圆的接合技术已属于广为习知的技术。现有的接合技术是将一晶粒压合或黏合于一基板处。所以晶粒与基板之间的对位精度被厂商或后续制程所要求。
现有的对位技术使用至少二视觉撷取单元分别撷取晶粒与基板的影像，再将至少二视觉撷取单元所撷取的影像于以整合，以使晶粒与基板能够精准对位，并准确的压合或黏合。
然而近年晶粒的尺寸趋向轻薄短小的方向设计，所以现有的视觉撷取单元于取像有其难度，而且当晶粒的对位特征位于下方时，也容易造成晶粒与基板之间对位的不精准性存在，故如何改善现有的晶粒与基板之间的对位技术就有可发展的空间。

技术实现思路

本技术目的在于提供一种晶粒精密取放装置，以提升晶粒与基板之间结合的准确性。
为达到上述目的，本技术采用的技术方案是：一种晶粒精密取放装置，包含有：
一晶粒供应单元，供至少一晶粒设置；
一基板承载单元，相邻于所述晶粒供应单元，该基板承载单元供一基板设置，该基板具有至少一基板记号；
一取放单元，设于所述晶粒供应单元与所述基板承载单元的上方，该取放单元具有至少一吸取模块，各吸取模块具有一头部与一第一记号，所述第一记号位于所述头部的底端；
一下视觉撷取单元，位于所述晶粒供应单元与所述基板承载单元之间，该下视觉撷取单元用于撷取所述头部的底端的影像信息；以及
一第一视觉撷取单元，设于所述基板承载单元的上方，该第一视觉撷取单元用于撷取所述基板记号的影像信息。
上述技术方案中的有关内容解释如下：
1、上述方案中，所述头部还具有一第二记号，当所述第一视觉撷取单元撷取所述基板记号的影像信息时，该第一视觉撷取单元同时撷取所述第二记号的影像信息，或者待该第一视觉撷取单元撷取所述基板记号的影像信息后，该第一视觉撷取单元再撷取所述第二记号的影像信息。
2、上述方案中，所述头部还具有一第四记号，该第四记号设于所述头部的顶端，当所述第一视觉撷取单元撷取所述基板记号的影像信息时，该第一视觉撷取单元同时撷取所述第四记号与第二记号的影像信息，或者待该第一视觉撷取单元撷取所述基板记号的影像信息后，该第一视觉撷取单元再撷取所述第四记号与第二记号的影像信息。
3、上述方案中，所述头部具有一第一透明体，所述第一记号位于该第一透明体的底端，当所述第一视觉撷取单元撷取所述基板记号的影像信息时，所述第一视觉撷取单元同时通过所述第一透明体撷取所述第一记号的影像信息，或者待所述第一视觉撷取单元撷取所述基板记号的影像信息后，所述第一视觉撷取单元再通过所述第一透明体撷取所述第一记号的影像信息。
4、上述方案中，所述头部具有一第三透明体与一第三记号，所述第三透明体设于所述头部，所述第三记号设于所述第三透明体的底端，当所述第一视觉撷取单元撷取所述基板记号的影像信息时，所述第一视觉撷取单元同时通过所述第三透明体与所述第一透明体撷取所述第三记号与所述第一记号的影像信息，或者待所述第一视觉撷取单元撷取所述基板记号的影像信息后，所述第一视觉撷取单元再通过所述第三透明体与所述第一透明体撷取所述第三记号与所述第一记号的影像信息。
5、上述方案中，所述头部还具有一第三记号，该第三记号设于所述头部的底端，所述下视觉撷取单元用于撷取所述晶粒、所述第一记号与所述第三记号的视觉影像。
6、上述方案中，所述头部为一透明体，所述第一视觉撷取单元通过所述头部撷取所述第一记号与所述第三记号的视觉影像。
7、上述方案中，还具有一感测单元，该感测单元具有一接收模块与至少一发送模块，各发送模块设于各头部，所述接收模块通讯连接所述发送模块。
8、上述方案中，所述取放单元还具有一旋转模块，所述吸取模块设于该旋转模块。
9、上述方案中，还具有一翻转模块，该翻转模块设于所述晶粒供应单元与所述取放单元之间。
10、上述方案中，还具有一中继单元、一翻转单元与一第三视觉撷取单元，所述中继单元设于所述基板承载单元与所述晶粒供应单元之间，所述第三视觉撷取单元设于所述中继单元的上方，所述翻转单元设于所述中继单元与所述晶粒供应单元之间。
11、上述方案中，还具有一第二取放单元、一中继单元、一翻转单元与一第三视觉撷取单元，所述中继单元设于所述基板承载单元与所述晶粒供应单元之间，所述第二取放单元设于所述晶粒供应单元的上方，所述第三视觉撷取单元设于所述中继单元的上方，所述翻转单元设于所述中继单元与所述晶粒供应单元之间，或者所述翻转单元设于所述中继单元与所述取放单元之间。
12、上述方案中，还具有一沾胶单元，该沾胶单元设于所述取放单元的下方。
13、上述方案中，还具有一第二视觉撷取单元，所述第二视觉撷取单元设于所述晶粒供应单元的上方。
本技术的工作原理如下：
本技术晶粒精密取放装置，用于撷取位于吸取模块底端的记号与晶粒的影像信息，并通过该影像信息判断晶粒与记号之间的距离、位置与偏移的信息，再撷取基板记号的影像信息，并比对二影像信息，以精准地得知晶粒与基板之间的位置关系，借以提升晶粒与基板之间黏合或压合的精准度。
附图说明
附图1为本技术一种晶粒精密取放装置的第一实施例的示意图；
附图2为本技术所述吸取模块的底端示意图；
附图3为本技术一种晶粒精密取放方法的第一实施例的流程示意图；
附图4为本技术一种晶粒精密取放装置的第二实施例的示意图；
附图5为本技术一种晶粒精密取放方法的第二实施例的流程示意图；
附图6为本技术一种晶粒精密取放装置的第三实施例的示意图；
附图7为本技术一种晶粒精密取放方法的第三实施例的流程示意图；
附图8为本技术一种晶粒精密取放装置的第四实施例的示意图；
附图9为本技术一种晶粒精密取放装置的第五实施例的示意图；
附图10为本技术一种晶粒精密取放方法的第四实施例的流程示意图；
附图11为本技术一种晶粒精密取放装置的第六实施例的示意图；
附图12为本技术一种晶粒精密取放方法的第五实施例的流程示意图；
附图13为本技术一种晶粒精密取放装置的第七实施例的示意图；
附图14为本技术一种晶粒精密取放方法的第六实施例的流程示意图。
以上附图中：10、晶粒供应单元；100、晶粒；11、基板承载单元；110、基板；111、基板记号；12、取放单元；120、旋转模块；121、吸取模块；1210、第二记号；1211、第四记号；1212、第一记号；1213、第三记号；1214、头部；13、沾胶单元；14、第一视觉撷取单元；15、第二视觉撷取单元；16、下视觉撷取单元；20、晶粒供应单元；200、晶粒；21、基板承载单元；210、基板；211、基板记号；22、翻转单元；23、取放单元；230、旋转模块；231、吸取模块；2310、第一记号；2311、第三记号；2312、头部；24、沾胶单元；25、第一视觉撷取单元；26、第二视觉撷取单元；27、下视觉撷取单元；28、感测单元；280、接收模块；281、发送模块；30、晶粒供应单本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种晶粒精密取放装置，其特征在于：包含有：一晶粒供应单元，供至少一晶粒设置；一基板承载单元，相邻于所述晶粒供应单元，该基板承载单元供一基板设置，该基板具有至少一基板记号；一取放单元，设于所述晶粒供应单元与所述基板承载单元的上方，该取放单元具有至少一吸取模块，各吸取模块具有一头部与一第一记号，所述第一记号位于所述头部的底端；一下视觉撷取单元，位于所述晶粒供应单元与所述基板承载单元之间，该下视觉撷取单元用于撷取所述头部的底端的影像信息；以及一第一视觉撷取单元，设于所述基板承载单元的上方，该第一视觉撷取单元用于撷取所述基板记号的影像信息。

【技术特征摘要】
2015.10.08 TW 1041332661.一种晶粒精密取放装置，其特征在于：包含有：
一晶粒供应单元，供至少一晶粒设置；
一基板承载单元，相邻于所述晶粒供应单元，该基板承载单元供一基板设置，该基板具有至少一基板记号；
一取放单元，设于所述晶粒供应单元与所述基板承载单元的上方，该取放单元具有至少一吸取模块，各吸取模块具有一头部与一第一记号，所述第一记号位于所述头部的底端；
一下视觉撷取单元，位于所述晶粒供应单元与所述基板承载单元之间，该下视觉撷取单元用于撷取所述头部的底端的影像信息；以及
一第一视觉撷取单元，设于所述基板承载单元的上方，该第一视觉撷取单元用于撷取所述基板记号的影像信息。
2.根据权利要求1所述的晶粒精密取放装置，其特征在于：所述头部还具有一第二记号，当所述第一视觉撷取单元撷取所述基板记号的影像信息时，该第一视觉撷取单元同时撷取所述第二记号的影像信息，或者待该第一视觉撷取单元撷取所述基板记号的影像信息后，该第一视觉撷取单元再撷取所述第二记号的影像信息。
3.根据权利要求1所述的晶粒精密取放装置，其特征在于：所述头部还具有一第四记号，该第四记号设于所述头部的顶端，当所述第一视觉撷取单元撷取所述基板记号的影像信息时，该第一视觉撷取单元同时撷取所述第四记号与第二记号的影像信息，或者待该第一视觉撷取单元撷取所述基板记号的影像信息后，该第一视觉撷取单元再撷取所述第四记号与第二记号的影像信息。
4.根据权利要求1所述的晶粒精密取放装置，其特征在于：所述头部具有一第一透明体，所述第一记号位于该第一透明体的底端，当所述第一视觉撷取单元撷取所述基板记号的影像信息时，所述第一视觉撷取单元同时通过所述第一透明体撷取所述第一记号的影像信息，或者待所述第一视觉撷取单元撷取所述基板记号的影像信息后，所述第一视觉撷取单元再通过所述第一透明体撷取所述第一记号...

【专利技术属性】
技术研发人员：石敦智，黄良印，
申请(专利权)人：苏州均华精密机械有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32