【技术实现步骤摘要】
一种小型精密静压实验台台面变形检测装置
本专利技术涉及一种小型精密静压实验转台台面变形检测装置,此类检测装置适用于小型、微型、精密静压转台台面变形的检测。
技术介绍
在“中国制造2025”大背景下,超精密制造技术是我国现代化装备制造的核心支撑技术,将成为未来制造业赖以生存的基础和可持续发展的关键。精密静压转台作为超精密加工设备的核心部件之一,其技术性能和制造水平直径影响到超精密机床的加工精度。机床制造企业及研究机构对静压转台的设计与分析中均未考虑静压转台台面变形问题,将台面视为刚体,忽略了台面变形的影响。由于静压转台自身刚度的制约及工件加载位置的影响,静压转台在承载工件时台面将发生弹性变形,影响静压支承油垫油膜流态及整体承载性能,并降低机床加工精度。目前,缺乏静压转台台面变形直接检测装置,设计一种精密静压转台台面变形检测装置对于研究和设计静压转台具有重要意义。
技术实现思路
为了能更准确的得到精密静压转台各支承油垫处油膜厚度及油腔压力,本专利技术提供了一种精密静压转台台面变形检测装置,该装置可以完成精密静压转台的静态测试:静压转台在不同加载位置、不同加载力下台面变形量及各支承油垫处的油膜厚度、油腔压力。为了实现上述目的,本专利技术采取如下技术方案:一种小型精密静压实验转台台面变形检测装置,包括:精密静压转台、加载装置、台面变形检测装置及信号采集处理系统;其特征在于:台面变形检测装置包括两部分:(1)静压转台台面自身变形检测装置,台面直径为D4,支承油垫分布直径为D2,采用三根光纤传感器,一根光纤传感器沿着支承油垫分布直径D2布置一圈,另外两根分别沿着D1、D3 ...
【技术保护点】
一种小型精密静压实验转台台面变形检测装置,包括:精密静压转台、加载装置、台面变形检测装置及信号采集处理系统;其特征在于:台面变形检测装置包括两部分:(1)静压转台台面自身变形检测装置,台面直径为D
【技术特征摘要】
1.一种小型精密静压实验转台台面变形检测装置,包括:精密静压转台、加载装置、台面变形检测装置及信号采集处理系统;其特征在于:台面变形检测装置包括两部分:(1)静压转台台面自身变形检测装置,台面直径为D4,支承油垫分布直径为D2,采用三根光纤传感器,一根光纤传感器沿着支承油垫分布直径D2布置一圈,另外两根分别沿着D1、D3处布置一...
【专利技术属性】
技术研发人员:王义达,刘志峰,蔡力钢,赵永胜,
申请(专利权)人:北京工业大学,
类型:发明
国别省市:北京,11
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