一种显示基板冷却设备制造技术

本发明专利技术提供一种显示基板冷却设备，利用冷却盘承载显示基板，在冷却盘上开设送风口，利用送风装置从冷却盘的下方将冷却气体经由送风口输送至所述显示基板的基底，冷却气体不直接作用于显示基板的彩膜膜面，而是吹在显示基板的背面，从而保证彩膜膜面厚度均匀，提高显示基板的产品品质，而且，冷却后的显示基板的彩膜膜面的质量不受影响，因此，本发明专利技术的显示基板冷却设备还可以应用在彩膜基板前烘(涂布后固化)冷却，应用范围更广。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及半导体设备制造
，具体涉及一种显示基板冷却设备。
技术介绍
现有的显示基板冷却主要是水冷和风冷两种方式，水冷方式是将冷却水通道密布在金属盘内，利用冷却水的循环流动，使金属达到与冷却水一样的温度，显示基板放置于金属板上，从而实现显示基板的冷却。水冷方式主要问题是需要消耗大量冷却水，能耗高；金属板重量大，硬件成本高；显示基板在离开金属板时会产生静电，造成不良，尤其是金属层工艺的显示基板。现有的风冷设备有两种，一种是侧面送风的冷却层架(CoolingBuffer)结构，适用于显影后的显示基板冷却。如图1a所示，该冷却层架包括多层设置的支撑框架301，每层支撑框架301上设置有多个层架支撑杆302，用于承载显示基板101。洁净室的气体从冷却层架的侧向经由风机和过滤器303吹入冷却层架内部，循环的空气对显示基板101进行冷却。这种冷却层架的风冷方式空气流速慢，冷却时间长，一般5分钟只能冷却到30℃以下，若加大风速，会造成彩膜膜面流动，导致彩膜膜面厚度不均。而且，显示基板101承载在层架支撑杆302上，由于显示基板101较薄，在重力作用下，容易造成显示基板101弯曲、不平坦。第二种是顶部送风的精密冷却设备，适用于阵列曝光机前的基板冷却，如图1b所示，该设备包括：风机及温控单元401、过滤器403和支撑框架405，支撑框架405上设置支撑杆404，显示基板101设置于支撑杆404上，并与过滤器403保持一定距离，风机及温控单元401将空气冷却至23℃±0.1℃，并送入过滤器403，防止灰尘污染膜面，利用空气流动对显示基板101进行冷却。该冷却设备直吹显示基板的膜面，在空气高速流动作用下，会造成膜面厚度变化，导致透过率不同，因此只能用于阵列基板的冷却而无法应用于彩膜基板前烘(涂布后固化)冷却。因此，亟需一种显示基板冷却设备以解决上述技术问题。
技术实现思路
本专利技术针对现有技术中存在的上述不足，提供一种显示基板冷却设备，用以解决彩膜膜面厚度不均的问题，以及显示基板平坦度差的问题。本专利技术为解决上述技术问题，采用如下技术方案：本专利技术提供一种显示基板冷却设备，包括送风装置和冷却盘，所述冷却盘水平设置，且开设有送风口，显示基板放置于所述冷却盘上；所述送风装置设置于所述冷却盘的下方，用于将冷却气体经由所述送风口输送至所述显示基板的基底。进一步的，所述冷却盘的上表面设置有用于承载所述显示基板的支撑部件。优选的，所述支撑部件的高度为0.3mm-1mm；所述支撑部件之间的间隔为10-30mm。优选的，所述支撑部件采用树脂材料制造。进一步的，位于所述冷却盘的四周位置的支撑部件的顶部设置有通孔；所述设备还包括抽真空装置，所述抽真空装置与设置有通孔的支撑部件相连，用于对所述通孔内抽真空，以使所述支撑部件吸附所述显示基板。优选的，所述送风口在所述冷却盘的中间位置的分布比在四周位置的分布密集。优选的，所述冷却盘为中空结构。进一步的，所述设备还包括升降装置，用于承载所述显示基板在竖直方向运动，并将所述显示基板下落放置于所述冷却盘上，以及，将所述显示基板从所述冷却盘上顶起。优选的，所述升降装置包括：联动机构、用于驱动所述联动机构在竖直方向运动的驱动机构和用于承载显示基板的支撑杆，所述支撑杆竖直设置并与所述送风口一一对应，且所述支撑杆的一端贯穿所述送风口，另一端与所述联动机构相连。优选的，所述送风装置包括气体输送管线和气体压缩机，所述气体输送管线与所述气体压缩机相连，气体输送管线包括出气端，所述出气端与所述送风口一一对应，并位于相应的送风口处。优选的，所述送风口处设置有密封垫块，所述气体输送管线的出气端插接于相应的送风口处的密封垫块上，并贯穿所述密封垫块；所述密封垫块设置有通孔，所述支撑杆贯穿相应的送风口处的密封垫块的通孔，并与所述通孔间隙配合。优选的，所述密封垫块采用柔性密封胶。优选的，所述送风口均匀分布；位于所述冷却盘中间部分的送风口对应的出气端的出气量大于位于所述冷却盘周边部分的送风口对应的出气端的出气量。本专利技术能够实现以下有益效果：本专利技术利用冷却盘承载显示基板，在冷却盘上开设送风口，利用送风装置从冷却盘的下方将冷却气体经由送风口输送至所述显示基板的基底，冷却气体不直接作用于显示基板的彩膜膜面，而是吹在显示基板的背面，从而保证彩膜膜面厚度均匀，提高显示基板的产品品质，而且，冷却后的显示基板的彩膜膜面的质量不受影响，因此，本专利技术的显示基板冷却设备还可以应用在彩膜基板前烘(涂布后固化)冷却，应用范围更广。通过在冷却盘的上表面设置支撑部件来承载显示基板，避免显示基板与金属的冷却盘直接接触，当显示基板离开冷却盘时不会产生静电；将支撑部件的高度控制在0.3mm-1mm，并将支撑部件之间的间隔控制在10-30mm，这些短小且密布的支撑部件可以有效分散显示基板的重力，减小支撑部件顶端对显示基板的基底的压强，从而保证显示基板的平坦度。附图说明图1a为现有的冷却层风冷设备的结构示意图；图1b为现有的精密冷却设备的结构示意图；图2为本专利技术实施例提供的显示基板冷却设备的整体结构示意图；图3为本专利技术实施例提供的冷却盘的俯视图。图例说明：101、显示基板301、支撑框架302、层架支撑杆303、过滤器401、风机及温控单元403、过滤器404、支撑杆405、支撑框架1、送风装置2、冷却盘3、升降装置4、密封垫块11、气体压缩机12、气体输送管线21、送风口22、支撑部件31、联动机构32、驱动机构33、支撑杆41、通孔121、出气端331、支撑头具体实施方式下面将结合本专利技术中的附图，对本专利技术中的技术方案进行清楚、完整的描述，显然，所描述的实施例是本专利技术的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。本专利技术实施例通过改变现有风冷设备的送风方向，从显示基板的下方送风，避免冷却气体直接作用在显示基板的彩膜膜面，有效解决彩膜膜面厚度不均以及显示基板平坦度差的问题。以下结合图2和图3，详细说明本专利技术的技术方案。结合图2和图3所示，本专利技术提供一种显示基板冷却本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种显示基板冷却设备，其特征在于，包括送风装置和冷却盘，所述冷却盘水平设置，且开设有送风口，显示基板放置于所述冷却盘上；所述送风装置设置于所述冷却盘的下方，用于将冷却气体经由所述送风口输送至所述显示基板的基底。

【技术特征摘要】
1.一种显示基板冷却设备，其特征在于，包括送风装置和冷
却盘，所述冷却盘水平设置，且开设有送风口，显示基板放置于
所述冷却盘上；
所述送风装置设置于所述冷却盘的下方，用于将冷却气体经
由所述送风口输送至所述显示基板的基底。
2.如权利要求1所述的显示基板冷却设备，其特征在于，所
述冷却盘的上表面设置有用于承载所述显示基板的支撑部件。
3.如权利要求2所述的显示基板冷却设备，其特征在于，所
述支撑部件的高度为0.3mm-1mm；所述支撑部件之间的间隔为
10-30mm。
4.如权利要求2所述的显示基板冷却设备，其特征在于，所
述支撑部件采用树脂材料制造。
5.如权利要求4所述的显示基板冷却设备，其特征在于，位
于所述冷却盘的四周位置的支撑部件的顶部设置有通孔；
所述设备还包括抽真空装置，所述抽真空装置与设置有通孔
的支撑部件相连，用于对所述通孔内抽真空，以使所述支撑部件
吸附所述显示基板。
6.如权利要求1所述的显示基板冷却设备，其特征在于，所
述送风口在所述冷却盘的中间位置的分布比在四周位置的分布密
集。
7.如权利要求1所述的显示基板冷却设备，其特征在于，所
述冷却盘为中空结构。
8.如权利要求1-7任一项所述的显示基板冷却设备，其特征
在于，所述设备还包括升降装置，用于承载所述显示基板在竖直

【专利技术属性】
技术研发人员：邢淑影，曹旭东，杜强强，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，合肥京东方光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11