热壁式金属有机物化学气相沉积喷淋装置及工艺方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种金属有机物化学气相沉积喷淋装置及工艺方法，主要包括喷淋、气体进口、气体输入缓冲腔、通气孔、喷淋盘、高温冷却腔和低温冷却腔等。本发明专利技术通过将高沸点喷淋冷却液加热至较高温度对喷淋进行恒温控制，提高喷淋的稳定温度，形成喷淋的热壁，以减少喷淋表面反应物气相反应的颗粒凝结沉积，避免每次生长完成后需要清洁喷淋面沉积颗粒，提高生长质量和生产效率，另外，提高喷淋的温度，缩小喷淋面和载片盘间的温度差及温度梯度，可减少自然对流，有利于层流和化学反应，并有利于提高反应效率和反应源利用效率。在喷淋顶端设置低温冷却腔，减少热壁面喷淋散失到外部空间的热量，避免热壁喷淋的高温提高环境的温度和对人员造成伤害。

【技术实现步骤摘要】
201410689017

【技术保护点】
一种金属有机物化学气相沉积喷淋装置，主要包括：喷淋、气体进口、气体输入缓冲腔、通气孔、喷淋盘，反应气体及载气通过气体进口进入气体输入缓冲腔，通过通气孔，进入反应腔进行一系列物理化学反应在载片盘上的衬底上沉积所需薄膜，其特征在于在所述喷淋盘和气体输入缓冲腔之间设置高温冷却腔，温度范围在100至400摄氏度，如200摄氏度或250摄氏度的高温冷却液由高温冷却液进口进入高温冷却腔对喷淋盘进行一定降温，但是控制在一个比较高的温度，使得喷淋的壁面保持比较高的恒温；在喷淋顶部设置低温冷却腔，温度范围在0至100摄氏度，如18摄氏度或30摄氏度的低温冷却液由低温冷却液进口进入低温冷却腔对喷淋进行降温隔离保护...

【技术特征摘要】
1.一种金属有机物化学气相沉积喷淋装置，主要包括：喷淋、气体进口、气体输入缓冲腔、通气孔、喷淋盘，反应气体及载气通过气体进口进入气体输入缓冲腔，通过通气孔，进入反应腔进行一系列物理化学反应在载片盘上的衬底上沉积所需薄膜，其特征在于在所述喷淋盘和气体输入缓冲腔之间设置高温冷却腔，温度范围在100至400摄氏度，如200摄氏度或250摄氏度的高温冷却液由高温冷却液进口进入高温冷却腔对喷淋盘进行一定降温，但是控制在一个比较高的温度，使得喷淋的壁面保持比较高的恒温；在喷淋顶部设置低温冷却腔，温度范围在0至100摄氏度，如18摄氏度或30摄氏度的低温冷却液由低温冷却液进口进入低温冷却腔对喷淋进行降温隔离保护。
2.根据权利要求1所述的金属有机物化学气相沉积喷淋装置，所述金属有机物化学气相沉积喷淋装置可以有1个以上气体进口，进口可以设置为喷淋形式或中心进气方式或两者的混合，气体输入缓冲腔设置为1个或2个。
3.根据权利要求1或2所述的金属有机物化学气相沉积喷淋装置，低温冷却腔可以设置为冷却流道形式或冷却管盘绕形式。
4.根据权利要求1或2所述的金属有机物化学气相沉积喷淋装置，所述高温冷却液为沸点高于100摄氏度的高温液相导热油，如Therminol66。
5.根据权利要求1或2所述的金属有机物化学气相沉积喷淋装置，所述低温冷却液为工业冷却水。
6.根据权利要求1所述金属有机物化学气相沉积喷淋装置进行金属有机物化学气相沉积的工艺方法，其特征在于包括以下步骤：（1）气体进入喷淋之前，先对反应气体及载气进行预加热；...

【专利技术属性】
技术研发人员：甘志银，刘胜，
申请(专利权)人：广东昭信半导体装备制造有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44