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本发明公开了一种金属有机物化学气相沉积喷淋装置及工艺方法，主要包括喷淋、气体进口、气体输入缓冲腔、通气孔、喷淋盘、高温冷却腔和低温冷却腔等。本发明通过将高沸点喷淋冷却液加热至较高温度对喷淋进行恒温控制，提高喷淋的稳定温度，形成喷淋的热壁，以...
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