输送载片盘用抓取装置制造方法及图纸
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体材料制造装置领域，尤其是涉及一种用于化学气相沉积设备载片盘输送的抓取装置。
技术介绍
化学气相沉积（CVD）技术集精密机械、半导体材料、真空电子、流体力学、光学、化学、计算机多学科为一体，是一种自动化程度高、价格昂贵、技术集成度高的高端半导体材料、光电子器件制造专用设备。化学气相沉积设备作为化合物半导体材料外延生长的理想方法，具有质量高、稳定性好、重复性好、工艺灵活、能规模化量产等特点，已经成为业界生产半导体光电器件和微波器件的关键核心设备，具有广阔的应用前景和产业化价值。在现有的CVD设备操作中，大多是由CVD工艺人员利用手套箱的手套进行载片盘的取放，操作有诸多不便，也不够平稳和安全，对人员操作熟练程度依赖性较大，效率低下；在一些厂家的设备如美国Veeco公司的多腔式金属有机物化学气相沉积（MOCVD）设备使用托盘式机械手进行载片盘转运输送，大大提高了生产效率，但托盘式机械手结构复杂且不能使载片盘周向均匀受力。
技术实现思路
本专利技术的目的在于避免现有技术的不足之处，提出一种用于化学气相沉积设备...
【技术保护点】
一种输送载片盘用抓取装置，主要包括底座（1）、导杆（2）、回转臂（3）、机械手（4），导杆（2）固定安装在底座（1）上，回转臂（3）安装在导杆（2）上，回转臂（3）末端安装有实现载片盘（5）抓取和放置的机械手（4），回转臂（3）可以通过外力驱动沿导杆（2）旋转和升降，以配合机械手（4）将载片盘（5）输送至设定位置，其特征在于所述机械手（4）主要包括摆动盘（6）、固定盘（7）、中心轴（8）、滑动槽（9）、滑动销（10）、摆杆（11）、转动孔（12）、抓取爪（13）、驱动固定座（15）、驱动臂（16），机械手（4）通过中心轴（8）吊装在回转臂（3）上，中心轴（8）和固定盘（7）...
【技术特征摘要】
1.一种输送载片盘用抓取装置，主要包括底座（1）、导杆（2）、回转臂（3）、机械手（4），导杆（2）固定安装在底座（1）上，回转臂（3）安装在导杆（2）上，回转臂（3）末端安装有实现载片盘（5）抓取和放置的机械手（4），回转臂（3）可以通过外力驱动沿导杆（2）旋转和升降，以配合机械手（4）将载片盘（5）输送至设定位置，其特征在于所述机械手（4）主要包括摆动盘（6）、固定盘（7）、中心轴（8）、滑动槽（9）、滑动销（10）、摆杆（11）、转动孔（12）、抓取爪（13）、驱动固定座（15）、驱动臂（16），机械手（4）通过中心轴（8）吊装在回转臂（3）上，中心轴（8）和固定盘（7）固定连接，摆动盘（6）和固定盘（7）叠加安装，摆动盘（6）可以绕中心轴（8）转动，在摆动盘（6）上沿径向方向设置有滑动槽（9），滑动槽（9）通过滑动销（10）和摆杆（11）一端连接，滑动销（10）可以沿滑动槽（9）滑动，摆杆（11）可以随滑动销（10）沿滑动槽（9）滑动并可以绕滑动销（10）转动，摆杆（11）另一端与抓取爪（13）固定连接，抓取爪（13）穿过设置在固定盘（7）上的转动孔（12），抓取爪（13）可以绕转动孔（12）转动，抓取爪（13）底端设置有盘托（14）用于支撑载...
【专利技术属性】
技术研发人员：许福海，王亮，王明星，甘志银，
申请(专利权)人：广东昭信半导体装备制造有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44
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