【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种反射半导体制造设备多区加热源放射红外线的热反射板。技术背景在半导体制造设备,尤其是需要高温加热的半导体制造设备中,如金属有机物化学气相沉积(MOCVD),通常使用红外辐射加热或电磁感应加热。由于MOCVD工艺和生产需要,MOCVD设备加热系统经常在高温负载(1000摄氏度以上)下长时间运行。红外辐射加热中通常是电阻片或电阻丝形式。在高温下,传热的方式是以辐射为主的,而辐射传热受其辐射角的影响。针对大面积均匀加热,在现有技术中,通常采用多区电阻外辐射形式,以便于通过各区域功率调节控制和实现受热体温度均匀。现有多区电阻加热中,通常采用单层或多层整体式反射板进行红外线的反射,由于各区电阻加热功率或温度不一致以及加热器热辐射方向的原因,造成整体式反射板上温度差较大,在高温条件下容易变形,需要频繁维护或更换。
技术实现思路
为了克服现有技术的不足,本技术提出一种分区热反射板,该热反射板具有可以有效减小反射板温度差,抑制高温差引起的变形等优点。为了达到上述目的,本技术采用的技术方案如下:一种分区热反射板,其特征在于:在多区电阻加热源的背对加热源热辐射方向的一面对每区加热电阻设置单独的热反射板。优选地,分区热反射板可以设置2层以上,以进一步减少热辐射损失。进一步优选地,分区热反射板可以设置2层以上时,每层相邻单独反射板之间的间隙与相邻层之间对应的间隙错开,以避免热辐射通过单独反射板之间的间隙发射,进一步减少热辐射损失。优选地,在分区热反射板背对加热源热辐射方向的一面设置1层或 ...
【技术保护点】
一种分区热反射板,其特征在于:在多区电阻加热源的背对加热源热辐射方向的一面对每区加热电阻设置单独的热反射板。
【技术特征摘要】
1.一种分区热反射板,其特征在于:在多区电阻加热源的背对加热源热辐射方向的一面对每区加热电阻设置单独的热反射板。
2.根据权利要求1所述的分区热反射板,其特征在于:所述分区热反射板可以设置2层以上。
3.根据权利要求2所...
【专利技术属性】
技术研发人员:甘志银,沈桥,
申请(专利权)人:广东昭信半导体装备制造有限公司,
类型:新型
国别省市:广东;44
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