光学部件和光学部件的制造方法技术

本发明专利技术提供一种光学部件和光学部件的制造方法。光学部件包括基材和该基材上的减反射膜，其中该减反射膜具有多孔层作为表面，该多孔层含有氧化硅颗粒和粘结剂，该多孔层具有1.19-1.30的折射率，并且该氧化硅颗粒和该粘结剂的表面具有烷基甲硅烷基。

【技术实现步骤摘要】
201510917177

【技术保护点】
光学部件，包括基材和该基材上的减反射膜，其中该减反射膜具有多孔层作为表面，该多孔层含有氧化硅颗粒和粘结剂，该多孔层具有1.19‑1.30的折射率，并且该氧化硅颗粒和该粘结剂的表面具有烷基甲硅烷基。

【技术特征摘要】
2014.12.10 JP 2014-2496751.光学部件，包括基材和该基材上的减反射膜，
其中该减反射膜具有多孔层作为表面，
该多孔层含有氧化硅颗粒和粘结剂，
该多孔层具有1.19-1.30的折射率，并且
该氧化硅颗粒和该粘结剂的表面具有烷基甲硅烷基。
2.根据权利要求1的光学部件，
其中该多孔层具有30％-50％的孔隙率。
3.根据权利要求1的光学部件，
其中该氧化硅颗粒具有10nm-80nm的平均粒径。
4.根据权利要求1的光学部件，
其中该氧化硅颗粒的50质量％以上为中空颗粒。
5.根据权利要求1的光学部件，
其中该氧化硅颗粒的50质量％以上为链状颗粒。
6.根据权利要求1的光学部件，
其中该氧化硅颗粒和该粘结剂的表面具有由下述通式(2)和/或通
式(3)表示的烷基甲硅烷基，
式中，R2表示一价有机基团，该一价有机基团为直链或支化的具
有1-3个碳原子的烷基、烯基、或氟烷基，
式中，R3表示一价有机基团，该一价有机基团为直链或支化的具
有1-3个碳原子的烷基、烯基、或氟烷基。
7.根据权利要求1的光学部件，
其中该多孔层具有110°-140°的该多孔层表面与水之间的接触
角。
8.光学部件的制造方法，该光学部件包括基材和该基材上的具有
多孔层作为表面的减反射膜，该方法包括如下步骤：
在该基材上形成其中用粘结剂将氧化硅颗粒粘结的多孔层；和
通过暴露于含有硅氮烷化合物的气氛来对该多孔层进行表面处理
以对该氧...

【专利技术属性】
技术研发人员：中山宽晴，槇野宪治，
申请(专利权)人：佳能株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP