【技术实现步骤摘要】
201620094571
【技术保护点】
一种微型气压动力装置，其特征在于，包括：一微型气体传输装置，包括：一进气板，具有至少一进气孔、至少一总线孔及构成一汇流腔室的一中心凹部，该至少一进气孔供导入气体，该总线孔对应该进气孔，且引导该进气孔的气体汇流至该中心凹部所构成的该汇流腔室；一共振片，具有一中空孔洞，对应该进气板的该汇流腔室；以及一压电致动器，具有：一悬浮板；一外框，至少具有一支架，连接设置于该悬浮板及该外框之间连接；以及一压电陶瓷板，贴附于该悬浮板的一表面；其中，上述的该进气板、该共振片及该压电致动器依序对应对叠设置定位，且该共振片与该压电致动器之间具有一间隙g0，形成一第一腔室，以使该压电致动器受驱动时产生d的位移，进而使得g0与d之间具有一x差值，即x＝g0‑d，差值x＝1‑5um时，产生最大输出气压350mmHg的气体，该气体是由该进气板的该至少一进气孔导入，经该至少一总线孔汇集至该中心凹部，再流经该共振片的该中空孔洞，以进入该第一腔室内，再由该压电致动器的该至少一支架之间的一空隙向下传输，以持续推出气体；以及一微型阀门装置，包括：一阀门片，具有一阀孔，以及该阀门片具有介于0.1mm‑0.3mm之间的厚度；一集气...
【技术特征摘要】
1.一种微型气压动力装置，其特征在于，包括：
一微型气体传输装置，包括：
一进气板，具有至少一进气孔、至少一总线孔及构成一汇流腔室的一中心凹部，
该至少一进气孔供导入气体，该总线孔对应该进气孔，且引导该进气孔的气体汇流
至该中心凹部所构成的该汇流腔室；
一共振片，具有一中空孔洞，对应该进气板的该汇流腔室；以及
一压电致动器，具有：
一悬浮板；
一外框，至少具有一支架，连接设置于该悬浮板及该外框之间连接；以
及
一压电陶瓷板，贴附于该悬浮板的一表面；
其中，上述的该进气板、该共振片及该压电致动器依序对应对叠设置定位，且
该共振片与该压电致动器之间具有一间隙g0，形成一第一腔室，以使该压电致动
器受驱动时产生d的位移，进而使得g0与d之间具有一x差值，即x＝g0-d，差
值x＝1-5um时，产生最大输出气压350mmHg的气体，该气体是由该进气板的该
至少一进气孔导入，经该至少一总线孔汇集至该中心凹部，再流经该共振片的该中
空孔洞，以进入该第一腔室内，再由该压电致动器的该至少一支架之间的一空隙向
下传输，以持续推出气体；以及
一微型阀门装置，包括：
一阀门片，具有一阀孔，以及该阀门片具有介于0.1mm-0.3mm之间的厚度；
一集气板，具有一第一贯穿孔、一第二贯穿孔、一第一卸压腔室及一第一出口
腔室，以及具有一基准表面，该第一出口腔室具有一凸部结构，以对应该阀门片的
该阀孔而设置，有利抵触该阀孔形成一预力作用，完全封闭该阀孔，该凸部结构的
高度高于该集气板的该基准表面，该第一贯穿孔与该第一卸压腔室相连通，该第二
贯穿孔与该第一出口腔室相连通；以及
一出口板，具有一第三贯穿孔、一第四贯穿孔、一第二卸压腔室、一第二出口
腔室及至少一限位结构，以及具有一基准表面，该第三贯穿孔端部具有一凸部结构，
\t该凸部结构的高度高于该出口板的该基准表面，有利该阀门片快速抵触形成一预力
作用，完全封闭该第三贯穿孔，该第三贯穿孔对应于该集气板的该第一贯穿孔，且
与该第二卸压腔室相连通，该第四贯穿孔对应于该第二贯穿孔，且与该第二出口腔
室相连通，该至少一限位结构设置于该第二卸压腔室内，该限位结构的高度是介于
0.3mm-0.5mm之间，以及该第二卸压腔室及该第二出口腔室之间具有一连通流
道；
其中，上述的该集气板、该阀门片及该出口板依序对应堆叠设置定位，该阀门
片设置于该集气板及该出口板之间，且该阀门片的该阀孔对应设置于该第二贯穿孔
及该第四贯穿孔之间，气体自该微型气体传输装置向下传输至该微型阀门装置内
时，由该第一贯穿孔及该第二贯穿孔进入该第一卸压腔室及该第一出口腔室内，而
导入气体由该阀门片的该阀孔流入该第四贯穿孔内进行集压作业，集压气体大于导
入气体，集压气体自该第四贯穿孔朝该第二出口腔室流动，以使该阀门片位移，并
使该阀门片的该阀孔抵顶于该集气板而关闭，且该至少一限位结构是辅助支撑该阀
门片，以防止该阀门片塌陷，同时集压气体于该第二出口腔室内能沿连通流道流至
该第二卸压腔室内，此时于第二卸压腔室内该阀门片位移，集压气体能由该第三贯
穿孔流出，以进行卸压作业。
2.如权利要求1所述的微型气压动力装置，其特征在于，进一步包含操作频
率为17K-20K之间、操作电压为±10V-±20V。
3.如权利要求1所述的微型气压动力装置，其特征在于，该微型气压动力装
置的该共振片与该压电致动器之间的间隙与该压电致动器受驱动时产生的位移的
该差值x＝5-10um，产生最大输出气压250mmHg的气体。
4.如权利要求1所述的微型气压动力装置，其特征在于，该微型气压动力
装置的该共振片与该压电致动器之间的间隙与该压电致动器受驱动时产生的位移
的该差值x＝10-15um，产生最大输出气压150mmHg的气体。
5.如权利要求1所述的微型气压动力装置，其特征在于，该悬浮板的长度介
于8mm-12mm之间、宽度介于8mm-12mm之间、厚度介于0.2mm-0.29mm之
间。
6.如权利要求5所述的微型气压动力装置，其特征在于，该悬浮板的长度为
10.1mm、宽度为10.1mm、厚度为0.26mm。
7.如权利要求1所述的微型气压动力装置，其特征在于，该压电陶瓷板具有
介于8mm-12mm之间的长度、介于8mm-12mm之间的宽度以及介于
0.08mm-0.2mm之间的厚度，该长度及该宽度比值为0.75倍-1.25倍之间。
8.如权利要求7所述的微型气压动力装置，其特征在于，该压电陶瓷板的长
度为10mm、宽度为10mm、厚度为0.10mm。
9.如权利要求1所述的微型气压动力装置，其特征在于，该悬浮板更包括一
凸部，高度介于0.02mm-0.08mm之间。
10.如权利要求9所述的微型气压动力装置，其特征在于，该凸部的高度为
0.03mm。
11.如权利要求9所述的微型气压动力装置，其特征在于，该凸部为一圆形凸
起结构，直径为5.5mm。
12.如权利要求1所述的微型气压动力装置，其特征在于，该微型气体传输装
置的该进气板由一不锈钢材质所构成，厚度介于0.4mm-0.6mm之间。
13.如权利要求12所述的微型气压动力装置，其特征在于，该进气板的厚度
为0.5mm。
14.如权利要求1所述的微型气压动力装置，其特征在于，该微型气体传输装
置的该共振片由一铜材质所构成，厚度介于0.03mm-0.08mm之间。
15.如权利要求14所述的微型气压动力装置，其特征在于，该共振片的厚度
为0.05mm。
16.如权利要求1所述的微型气压动力装置，其特征在于，该微型气体传输装
置更包括至少一绝缘片及一导电片，且该至少一绝缘片及该导电片依序设置于该压
电致动器之下。
17.如权利要求1所述的微型气压动力装置，其特征在于，中该微型气体传输
装置的该压电致动器的该外框由一不锈钢材质所构成，厚度介于0.2mm-0.4mm之
间。
18.如权利要求17所述的微型气压动力装置，其特征在于，该压电致动器的
该外框的厚度为0.3mm。
19.如权利要求1所述的微型气压动力装置，其特征在于，该微型气体传输装
置的该压电致动器的该支架的两端点连接该外框、一端点连接该悬浮板。
20.如权利要求1所述的微型气压动力装置，其特征在于，该微型阀门装置的
该阀门片的厚度为0.2mm。
21.如权利要求1所述的微型气压动力装置，其特征在于，该微型阀门装置的
该...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈世昌，廖家淯，韩永隆，黄启峰，
申请(专利权)人：研能科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：中国台湾;71
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