一种四氯化硅进料增压装置制造方法及图纸

技术编号:13265514 阅读:59 留言:0更新日期:2016-05-18 01:24
本实用新型专利技术涉及一种四氯化硅进料增压装置,包括储罐、增压罐和加压罐、其特征在于,还包括若干个传感器接头、电磁阀和控制器;所述加压罐通过增压罐与储罐相连通,其中增压罐与储罐之间连通管路上设置有电磁阀,且电磁阀与控制器相连;所述储罐上并排设置若干个传感器接头,这些传感器接头用于与压强传感器、温度传感器和湿度传感器相连,且这些传感器接头分别通过各自对应的传感器与控制器相连。本实用新型专利技术设置一套四氯化硅增压装置,实现四氯化硅的远距离稳定送料,根据在四氯化硅储罐上设置的传感器接头相连的压强传感器,检测并反馈到控制器上,然后通过控制器控制增压罐与储罐之间的电磁阀开启与关闭,实现对增压准确控制。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种四氯化硅进料增压装置
技术介绍
目前一般光纤预制件制造中的四氯化硅持续进料方法,是通过两个四氯化硅原料储罐之间的相互切换来实现。当一个四氯化硅原料储罐内的四氯化硅用完时,自动切换至另一个四氯化硅原料储罐进行送料,同时对空的四氯化硅储罐进行更换或充装四氯化硅。这种方法尽管能够保持SiC14的连续进料,但是该方法也具有下述的某些缺点:由于国际标准的四氯化硅原料储罐的耐压为4KPa,当通过四氯化硅原料储罐直接压料至沉积设备时,由于压损的存在,四氯化硅原料储罐至沉积设备的距离则受到限制,不能远距离送料,管道末端的沉积设备四氯化硅的进料压力会不稳定,从而影响光纤预制件的质量。
技术实现思路
本技术目的是针对上述不足之处,提供一种四氯化硅进料增压装置及其增压方法,解决由于四氯化硅原料储罐压力不够,不能实现远距离送料且送料压力不稳定的问题。本技术一种四氯化硅进料增压装置是采取以下技术方案实现的:提供一种四氯化硅进料增压装置,包括储罐、增压罐和加压罐、其特征在于,还包括若干个传感器接头、电磁阀和控制器;所述加压罐通过增压罐与储罐相连通,其中增压罐与储罐之间连通管路上设置有电磁阀,且电磁阀与控制器相连;所述储罐上并排设置若干个传感器接头,这些传感器接头用于与压强传感器、温度传感器和湿度传感器相连,且这些传感器接头分别通过各自对应的传感器与控制器相连。作为优选,所述加压罐为氮气加压罐。与现有技术相比,本技术的有益效果:本技术设置一套四氯化硅增压装置,实现四氯化硅的远距离稳定送料。该方法首先将四氯化硅原料储罐内的四氯化硅通过氮气加压,将四氯化硅液体送至两个四氯化硅增压罐,再通过氮气加压罐给其中一个四氯化硅增压罐内通入大于4KPa氮气增加压力,将四氯化硅压送至四氯化硅沉积设备实现工艺送料。根据在四氯化硅储罐上设置的传感器接头相连的压强传感器,检测并反馈到控制器上,然后通过控制器控制增压罐与储罐之间的电磁阀开启与关闭,实现对增压准确控制。由此反复切换电磁阀的开度,实现四氯化硅的远距离稳定送料,其压力稳定,满足沉积设备的工艺要求。【附图说明】图1为本技术中功能结构示意图,附图标记:储罐1、电磁阀2、增压罐3、控制器4、压强传感器接头5、加压罐6。【具体实施方式】本技术的【具体实施方式】描述如下:如图1所示,本技术提供一种四氯化硅进料增压装置的具体实施例,提供一种四氯化硅进料增压装置,包括储罐1、增压罐3和加压罐6、其特征在于,还包括若干个传感器接头、电磁阀2和控制器4;所述加压罐6通过增压罐3与储罐I相连通,其中增压罐3与储罐I之间连通管路上设置有电磁阀2,且电磁阀2与控制器4相连;所述储罐I上并排设置若干个传感器接头,这些传感器接头用于与压强传感器、温度传感器和湿度传感器相连,且这些传感器接头分别通过各自对应的传感器与控制器4相连。其中,所述加压罐6为氮气加压罐。本技术设置一套四氯化硅增压装置,实现四氯化硅的远距离稳定送料。该方法首先将四氯化硅原料储罐I内的四氯化硅通过氮气加压,将四氯化硅液体送至两个四氯化硅增压罐3,再通过氮气加压罐6给其中一个四氯化硅增压罐3内通入大于4KPa氮气增加压力,将四氯化硅压送至四氯化硅沉积设备实现工艺送料。根据在四氯化硅储罐I上设置的传感器接头相连的压强传感器,检测并反馈到控制器4上,然后通过控制器4控制增压罐3与储罐I之间的电磁阀2开启与关闭,实现对增压准确控制。由此反复切换电磁阀2的开度,实现四氯化硅的远距离稳定送料,其压力稳定,满足沉积设备的工艺要求。上述实施例是对本技术的说明,不是对本技术的限定,任何对本技术简单变换后的方案均属于本技术的保护范围。【主权项】1.一种四氯化硅进料增压装置,包括储罐、增压罐和加压罐、其特征在于,还包括若干个传感器接头、电磁阀和控制器;所述加压罐通过增压罐与储罐相连通,其中增压罐与储罐之间连通管路上设置有电磁阀,且电磁阀与控制器相连;所述储罐上并排设置若干个传感器接头,这些传感器接头用于与压强传感器、温度传感器和湿度传感器相连,且这些传感器接头分别通过各自对应的传感器与控制器相连。2.根据权利要求1所述的一种四氯化硅进料增压装置,其特征在于,所述加压罐为氮气加压罐。【专利摘要】本技术涉及一种四氯化硅进料增压装置,包括储罐、增压罐和加压罐、其特征在于,还包括若干个传感器接头、电磁阀和控制器;所述加压罐通过增压罐与储罐相连通,其中增压罐与储罐之间连通管路上设置有电磁阀,且电磁阀与控制器相连;所述储罐上并排设置若干个传感器接头,这些传感器接头用于与压强传感器、温度传感器和湿度传感器相连,且这些传感器接头分别通过各自对应的传感器与控制器相连。本技术设置一套四氯化硅增压装置,实现四氯化硅的远距离稳定送料,根据在四氯化硅储罐上设置的传感器接头相连的压强传感器,检测并反馈到控制器上,然后通过控制器控制增压罐与储罐之间的电磁阀开启与关闭,实现对增压准确控制。【IPC分类】C03B37/014【公开号】CN205188127【申请号】CN201520944301【专利技术人】周骏 【申请人】杭州富通翔骏新材料有限公司【公开日】2016年4月27日【申请日】2015年11月24日本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种四氯化硅进料增压装置,包括储罐、增压罐和加压罐、其特征在于,还包括若干个传感器接头、电磁阀和控制器;所述加压罐通过增压罐与储罐相连通,其中增压罐与储罐之间连通管路上设置有电磁阀,且电磁阀与控制器相连;所述储罐上并排设置若干个传感器接头,这些传感器接头用于与压强传感器、温度传感器和湿度传感器相连,且这些传感器接头分别通过各自对应的传感器与控制器相连。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:周骏
申请(专利权)人:杭州富通翔骏新材料有限公司
类型:新型
国别省市:浙江;33

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