【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种用于四氯化硅制备工艺中的原料处理装置。
技术介绍
在整个四氯化硅制备工艺中，获得四氯化硅的质量好与坏的因素有很多，其中每一道工序是完整、每一种原料是否达标、每一座设备是否正常等都决定着最终产品的好与坏，尤其在开始阶段的原料处理过程中稳定性、准确性以及成本控制。
技术实现思路
本技术目的是针对上述不足之处，针对现有四氯化硅制备工艺中原料（如氮气压料）处理成本高、不稳定等诸多现象，提供一种用于四氯化硅制备工艺中的原料处理装置。本技术一种用于四氯化硅制备工艺中的原料处理装置是采取以下技术方案实现的：提供一种用于四氯化硅制备工艺中的原料处理装置，包括原料储罐、2个隔膜泵和蒸气夹套管，其特征在于，所述2个隔膜泵相互并联后与原料储罐的出口相连接；其中：原料储罐与两个隔膜泵之间相连的两条进口管道上均设置有电磁阀，所述原料储罐的进口设置在该原料储罐的顶端上；两个隔膜泵的出口分别通过出口管道与蒸气夹套管相连通。作为优选，所述原料储罐上设置有若干个传感器接头，这些传感器接头用于与温度传感器、湿度传感器或压强传感器相连。作为优选，出口管道上也设置有电磁阀。作为优选，出口管道上的电磁阀、进口管道上的电磁阀以及传感器接头分别与控制器相连。与现有技术相比，本技术的有益效果：本技术是一种应用于四氯化硅制备工艺中原料（包括氮气压料）处理装置，由于现有的四氯化硅制备原料如氮气压料处理成本高、不稳定，增加一对隔膜泵能够有效地节约成本，保证物料输送稳定性。同时在各个管道（如出口管道和进口...
【技术保护点】
一种用于四氯化硅制备工艺中的原料处理装置，包括原料储罐、2个隔膜泵和蒸气夹套管，其特征在于，所述2个隔膜泵相互并联后与原料储罐的出口相连接；其中：原料储罐与两个隔膜泵之间相连的两条进口管道上均设置有电磁阀，所述原料储罐的进口设置在该原料储罐的顶端上；两个隔膜泵的出口分别通过出口管道与蒸气夹套管相连通。
【技术特征摘要】
1.一种用于四氯化硅制备工艺中的原料处理装置，包括原料储罐、2个隔膜泵和蒸气夹套管，其特征在于，所述2个隔膜泵相互并联后与原料储罐的出口相连接；其中：原料储罐与两个隔膜泵之间相连的两条进口管道上均设置有电磁阀，所述原料储罐的进口设置在该原料储罐的顶端上；两个隔膜泵的出口分别通过出口管道与蒸气夹套管相连通。
2.根据权利要求1中所述的原料处理...
【专利技术属性】
技术研发人员：周骏，
申请(专利权)人：杭州富通翔骏新材料有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江;33
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