一种电子级四氯化硅的分装装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种电子级四氯化硅的分装装置，包括储罐，其特征在于：所述储罐上设有隔膜阀三、隔膜阀四，所述隔膜阀三另一端与波纹管一连接，所述波纹管一另一端分别与隔膜阀一和隔膜阀二连接；所述隔膜阀四另一端与波纹管二连接；所述储罐(17)内设有管道与隔膜阀五连接，所述隔膜阀五另一端与波纹管三连接，所述波纹管三连接于各个充装电容。本实用新型专利技术提供的一种电子级四氯化硅的分装装置，集洁净、密封、残液处理于一体的分装装置。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及四氯化硅分装(充装)领域，特别涉及一种电子级四氯化硅的分装装置。
技术介绍
电子级四氯化硅作为原子层沉积二氧化硅的源材料之一，同时四氯化硅是一种无色、具有腐蚀性，令人窒息的臭味，遇水汽产生氯化氢，其罐装时需要确保系统是绝对密封，否则会产生安全事故。同时四氯化硅的纯度对沉积薄膜的质量会产生直接影响。又如专利公布号为CN201735306U公开了一种四氢呋喃尾气的回收装置，包括尾气洗涤回收罐和离心泵，在尾气洗涤回收罐中设置有用鲍尔环装填的填料层。尾气洗涤回收罐连接到精馏塔顶部，接收精馏塔排放的含有四氢呋喃的尾气，还连接到精馏工段，接收富含1，4-丁二醇的液相物料作为洗涤液，在填料层含有四氢呋喃的尾气与洗涤液逆流接触，将尾气中大量的四氢呋喃溶解在洗涤液里面。本技术的回收装置结构简单、实用，投入成本较低，大大减少了四氢呋喃的损耗量，降低了产品的单耗，同时降低了工厂的三废排放。又如专利公布号为CN204522964U公开了一种常温直接制备三氯化镓-四氢呋喃溶液的装置，通过设置氯化氢钢瓶进料，反应罐进行搅拌反应及溶解，反应得到的三氯化镓-四氢呋喃溶液经过出料阀门出料用于烷基镓制备，并且在冷凝器顶部连接氮气管通氮气对整个反应进行保护通入到碱性溶液吸收罐；本装置在反应同时，并能实现将反应产物即时溶解在四氢呋喃，将常规三氯化镓的生产与溶解二个不同流程合并在同一装置中实现。通过本技术方案，在获得相同三氯化镓产品时，避免了常规的高温反应；同时由于制备与溶解合并在同一个单元操作中，提高生产效率，降低生产成本。
技术实现思路
为了克服上述现有技术的不足，本技术提供一种电子级四氯化硅的分装装置。一种电子级四氯化硅的分装装置，包括储罐，所述储罐上设有隔膜阀三、隔膜阀四，所述隔膜阀三另一端与波纹管一连接，所述波纹管一另一端分别与隔膜阀一和隔膜阀二连接；所述隔膜阀四另一端与波纹管二连接；所述储罐内设有管道与隔膜阀五连接，所述隔膜阀五另一端与波纹管三连接，所述波纹管三另一端分别与波纹管四、波纹管五、波纹管六、波纹管七连接，所述波纹管四、所述波纹管五、所述波纹管六、所述波纹管七另一端分别对应连接于隔膜阀六、隔膜阀七、隔膜阀、隔膜阀九，所述隔膜阀六、所述隔膜阀七、所述隔膜阀八、所述隔膜阀九另一端分别对应连接于充装电容一、充装电容二、充装电容三、充装电容四。优选地，所述波纹管一、所述隔膜阀一和所述隔膜阀二之间设有压力表。优选地，所述储罐底部设有电子秤。优选地，所述储罐两侧安装有把手。优选地，与所述隔膜阀五连接的管道通向于所述储罐内底部。通过采用该装置，不仅实现了电子级四氯化硅的密封分装，同时百级工作台的应用，避免了环境对充装过程中产品的沾污。附图说明图1为本技术一种电子级四氯化硅的分装装置结构示意图；具体实施方式下面结合具体实施方式，进一步阐明本技术，应理解下述具体实施方式仅用于说明本技术而不用于限制本技术的范围。实施例1如图所示，本技术提供一种电子级四氯化硅的分装装置，包括储罐17，所述储罐17底部设有电子秤23，所述储罐17两侧安装有把手24，所述储罐17上设有隔膜阀三3、隔膜阀四4，所述隔膜阀三3另一端与波纹管一10连接，所述波纹管一10另一端分别与隔膜阀一1和隔膜阀二2连接，所述波纹管一10、所述隔膜阀一1和所述隔膜阀二2之间设有压力表22；所述隔膜阀四4另一端与波纹管二11连接；所述储罐17内设有管道与隔膜阀五5连接，与所述隔膜阀五5连接的管道通向于所述储罐17内底部，所述隔膜阀五5另一端与波纹管三12连接，所述波纹管三12另一端分别与波纹管四13、波纹管五14、波纹管六15、波纹管七16连接，所述波纹管四13、所述波纹管五14、所述波纹管六15、所述波纹管七16另一端分别对应连接于隔膜阀六6、隔膜阀七7、隔膜阀8、隔膜阀九9，所述隔膜阀六6、所述隔膜阀七7、所述隔膜阀八8、所述隔膜阀九9另一端分别对应连接于充装电容一18、充装电容二19、充装电容三20、充装电容四21，所述分装装置充装在100级工作台内进行。四氯化硅通过波纹管二(11)及隔膜阀四(4)转移到储罐(17)中，并置于电子秤(23)上，通过电子秤(23)可以观察出充装的量，隔膜阀一(1)连接真空泵，隔膜阀二(2)连接氮气，进行抽充置换管路气氛，通过观察压力表22、将储罐17内气压维持于0.02-0.05兆帕，四氯化硅通过隔膜阀五(5)、隔膜阀六(6)、隔膜阀七(7)、隔膜阀八(8)、隔膜阀九(9)及波纹管三(12)、波纹管四(13)、波纹管五(14)、波纹管六(15)、波纹管七(16)分别充装在充装电容一(18)、充装电容二(19)、充装电容三(20)、充装电容四(21)中，在充装过程中，波纹管七(16)右后端连接氮气保护，充装完毕，管 路系统残留四氯化硅，通过真空泵抽到液氮冷阱中。除上述实施例外，本技术还可以有其他实施方式。凡采用等同替换或等效变换形成的技术方案，均落在本技术要求的保护范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种电子级四氯化硅的分装装置，包括储罐(17)，其特征在于：所述储罐(17)上设有隔膜阀三(3)、隔膜阀四(4)，所述隔膜阀三(3)另一端与波纹管一(10)连接，所述波纹管一(10)另一端分别与隔膜阀一(1)和隔膜阀二(2)连接；所述隔膜阀四(4)另一端与波纹管二(11)连接；所述储罐(17)内设有管道与隔膜阀五(5)连接，所述隔膜阀五(5)另一端与波纹管三(12)连接，所述波纹管三(12)另一端分别与波纹管四(13)、波纹管五(14)、波纹管六(15)、波纹管七(16)连接，所述波纹管四(13)、所述波纹管五(14)、所述波纹管六(15)、所述波纹管七(16)另一端分别对应连接于隔膜阀六(6)、隔膜阀七(7)、隔膜阀(8)、隔膜阀九(9)，所述隔膜阀六(6)、所述隔膜阀七(7)、所述隔膜阀八(8)、所述隔膜阀九(9)另一端分别对应连接于充装电容一(18)、充装电容二(19)、充装电容三(20)、充装电容四(21)。

【技术特征摘要】
1.一种电子级四氯化硅的分装装置，包括储罐(17)，其特征在于：所述储罐(17)上设有隔膜阀三(3)、隔膜阀四(4)，所述隔膜阀三(3)另一端与波纹管一(10)连接，所述波纹管一(10)另一端分别与隔膜阀一(1)和隔膜阀二(2)连接；所述隔膜阀四(4)另一端与波纹管二(11)连接；所述储罐(17)内设有管道与隔膜阀五(5)连接，所述隔膜阀五(5)另一端与波纹管三(12)连接，所述波纹管三(12)另一端分别与波纹管四(13)、波纹管五(14)、波纹管六(15)、波纹管七(16)连接，所述波纹管四(13)、所述波纹管五(14)、所述波纹管六(15)、所述波纹管七(16)另一端分别对应连接于隔膜阀六(6)、隔膜阀七(7)、隔膜阀(8)、隔膜阀九(9)，所述隔...

【专利技术属性】
技术研发人员：不公告发明人，
申请(专利权)人：苏州复纳电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32