一种微电子机械系统自组装结构技术方案

一种微电子机械系统自组装结构，由衬底、微元件、固化润滑脂组成，其特征在于，衬底是玻璃，衬底上有欲装位置，在欲装位置上面有自组装单分子膜，在微元件下面有自组装单分子膜，欲装位置与固化润滑脂形状相对齐。（*该技术在2013年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：张建刚，夏善红，
申请(专利权)人：中国科学院电子学研究所，
类型：实用新型
国别省市：