用于微电子互连元件的接触端头结构制造技术

接触端头结构被制备在牺牲衬底上，以便以后连接至互连元件，互连元件包括复合互连元件、单体互连元件、探针板的钨针、膜板探针的接触凸台以及类似元件。端头结构之间的空间关系可按照平版印刷方式以很高精度公差界定。端头结构的冶金术与要通过铜焊、镀敷或类似方法连接的互连元件的冶金术无关。接触端头结构可以容易地形成拓扑（小的、精确的、凸出的、非平面的）接触结构，例如呈截棱锥形，以便此后更好地压接式电连接至电子元件的端子。本申请描述了细长的接触端头结构，其在使用时起到弹性接触元件的作用，因此不需要连接至弹性接触元件。总体上讲，本发明专利技术的目的是制造（预制备）较“精确”的接触端头结构（“端头”）并且将它们连接至较“不精确”的互连元件，以改进最终形成的“带端头的”互连元件的总体能力。（*该技术在2017年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及用于微电子应用的互连(接触)元件，尤其是涉及这样的接触元件，即它们是弹性(弹力)接触元件，适合在电子元件之间实现压力连接。相关申请的相互引用本专利申请是共有未决的美国专利申请08/452255(下称“母(申请)案”)和其对应的PCT专利申请号PCT/US95/14909的部分继续申请，美国专利申请08/452255是1995年5月26日申请的，PCT专利申请号PCT/US95/14909是1995年11月13日受理的，美国专利申请08/452255和PCT专利申请号PCT/US95/14909是共有未决的美国专利申请08/340144和其对应的PCT专利申请号PCT/US94/13373的部分继续申请，美国专利申请08/340144是1994年11月15日申请的，PCT专利申请号PCT/US94/13373是1994年11月16日申请的，美国专利申请08/340144和PCT专利申请号PCT/US94/13373是共有未决的美国专利申请08/152812的部分继续申请，美国专利申请08/152812是1993年11月16日受理的(现在是美国专利5476211，19本文档来自技高网...

【技术保护点】
一个电接触结构，包括：多个互连元件，它们是以相互间较粗略（不精确）的关系设置；多个接触端头结构，它们通过结合部分固定至相应的互连元件，这些接触端头结构是以相互间较精确的位置关系设置的。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：TH道兹尔，BN艾尔德里格，IY汉德罗斯，GL马思乌，SA泰勒，
申请(专利权)人：福姆法克特公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]