下载用于微电子互连元件的接触端头结构的技术资料

文档序号:3280489

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接触端头结构被制备在牺牲衬底上,以便以后连接至互连元件,互连元件包括复合互连元件、单体互连元件、探针板的钨针、膜板探针的接触凸台以及类似元件。端头结构之间的空间关系可按照平版印刷方式以很高精度公差界定。端头结构的冶金术与要通过铜焊、镀敷或类...
该专利属于福姆法克特公司所有,仅供学习研究参考,未经过福姆法克特公司授权不得商用。

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