具有改进的止动结构的Z轴微机电装置制造方法及图纸

在微机电装置（１）中，移动块（２）通过弹性悬挂元件（５）悬挂在衬底（３）上方，并且可以围绕所述弹性悬挂元件（５）旋转，覆盖结构（１０）设置在移动块（２）上方并且具有朝向移动块（２）的内表面（１０ａ），以及止动结构（１２，１４）布置在所述覆盖结构（１０）的内表面（１０ａ）处并且向移动块（２）延伸，从而停止移动块（１０）沿着衬底（３）的横截轴（ｚ）远离衬底（３）的移动。相对于移动块（２）布置止动结构（１２，１４）从而减少相互的静电作用的影响，特别是使移动块（２）关于弹性悬挂元件（５）的合成扭矩最小化。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种微机电装置（１），包括：　　　　移动块（２），通过弹性悬挂元件（５）悬挂在衬底（３）上方，并且可以围绕所述弹性悬挂元件（５）旋转；　　　　覆盖结构（１０），布置在所述移动块（２）上方，并且具有朝向所述移动块的内表面（１０ａ）；以及　　　　止动结构（１２，１４），布置在所述覆盖结构（１０）的所述内表面（１０ａ）处并且向所述移动块（２）延伸，所述止动结构设计成停止所述移动块（１０）沿着所述衬底的横截轴（ｚ）远离所述衬底（３）的移动，　　　　其特征在于，相对于所述移动块（２）布置所述止动结构（１２，１４），从而减少相互作用的影响。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：AA梅拉西，S泽尔比尼，B西莫尼，
申请(专利权)人：意法半导体股份有限公司，
类型：发明
国别省市：IT[意大利]