【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种高性能磁阻器件及制造工艺。
技术介绍
现有技术中的长条形磁阻器件,由于霍尔效应,正负电荷会分别在磁阻器件的两侧聚集,因此会在磁阻器件上设置多个从其一侧向另一侧延伸的短路条9来消除聚集电荷,如附图1,然而此种方法并不能完全消除聚集电荷,在短路条之间处仍会有残余电荷,因此效果有限。物理上,科比诺圆盘具有最高的磁阻效应。但由于输入电阻很小,而无法实际应用。
技术实现思路
为克服上述缺点,本专利技术的目的在于提供一种高性能磁阻器件及制造工艺。为了达到以上目的,本专利技术采用的技术方案是:一种高性能磁阻器件,它包括基底、在基底之上的依次排布的多个InSb薄膜圆盘、在InSb薄膜圆盘之上的环形电极、在InSb薄膜圆盘之上并位于环形电极内侧的中心电极、在环形电极之上并部分覆盖环形电极的绝缘膜,高性能磁阻器件还包括第一电极、第二电极以及多个连接电极,设InSb薄膜圆盘为n个,连接电极为n+1个,n≥2,并设1<x≤n,n和x均为整数,第1个连接电极的一端与第一电极相连接,另一端跨过位于第1个InSb薄膜圆盘上的绝缘膜并与第1个InSb薄膜圆盘上的中心电极相连接,第x个连接电极的一端与第x-1个InSb薄膜圆盘上的环形电极相连接,另一端跨过位于第x个InSb薄膜圆盘上的绝缘膜并与第x个InSb薄膜圆盘上的中心电极相连接,第n+1个连接电极的一端与第n个InSb薄膜圆盘上的环形电极相连接,另一端与第二电极相连接。进一步地,绝缘膜覆盖在各环形电极上,且在每个环形电极上方开有多个第一透口和多个第二透口以使每个环形电极有部分从第一透口中露出, ...
【技术保护点】
一种高性能磁阻器件,其特征在于:它包括基底(1)、在所述基底(1)之上的依次排布的多个InSb薄膜圆盘(2)、在所述InSb薄膜圆盘(2)之上的环形电极(5)、在所述InSb薄膜圆盘(2)之上并位于所述环形电极(5)内侧的中心电极(6)、在所述环形电极(5)之上并部分覆盖环形电极(5)的绝缘膜(7),所述高性能磁阻器件还包括第一电极(3)、第二电极(4)以及多个连接电极(8),设所述InSb薄膜圆盘(2)为n个,所述连接电极(8)为n+1个,n≥2,并设1<x≤n,n和x均为整数,第1个连接电极(8)的一端与所述第一电极(3)相连接,另一端跨过位于第1个InSb薄膜圆盘(2)上的绝缘膜(7)并与第1个InSb薄膜圆盘(2)上的中心电极(6)相连接,第x个连接电极(8)的一端与第x‑1个InSb薄膜圆盘(2)上的环形电极(5)相连接,另一端跨过位于第x个InSb薄膜圆盘(2)上的绝缘膜(7)并与第x个InSb薄膜圆盘(2)上的中心电极(6)相连接,第n+1个连接电极(8)的一端与第n个InSb薄膜圆盘(2)上的环形电极(5)相连接,另一端与所述第二电极(4)相连接。
【技术特征摘要】
1.一种高性能磁阻器件,其特征在于:它包括基底(1)、在所述基底(1)之上的依次排布的多个InSb薄膜圆盘(2)、在所述InSb薄膜圆盘(2)之上的环形电极(5)、在所述InSb薄膜圆盘(2)之上并位于所述环形电极(5)内侧的中心电极(6)、在所述环形电极(5)之上并部分覆盖环形电极(5)的绝缘膜(7),所述高性能磁阻器件还包括第一电极(3)、第二电极(4)以及多个连接电极(8),设所述InSb薄膜圆盘(2)为n个,所述连接电极(8)为n+1个,n≥2,并设1<x≤n,n和x均为整数,第1个连接电极(8)的一端与所述第一电极(3)相连接,另一端跨过位于第1个InSb薄膜圆盘(2)上的绝缘膜(7)并与第1个InSb薄膜圆盘(2)上的中心电极(6)相连接,第x个连接电极(8)的一端与第x-1个InSb薄膜圆盘(2)上的环形电极(5)相连接,另一端跨过位于第x个InSb薄膜圆盘(2)上的绝缘膜(7)并与第x个InSb薄膜圆盘(2)上的中心电极(6)相连接,第n+1个连接电极(8)的一端与第n个InSb薄膜圆盘(2)上的环形电极(5)相连接,另一端与所述第二电极(4)相连接。
2.根据权利要求1所述的一种高性能磁阻器件,其特征在于:所述的绝缘膜(7)覆盖在各环形电极(5)上,且在每个环形电极(5)上方开有多个第一透口和多个第二透口以使每个环形电极(5)有部分从所述第一透口中露出,中心电极(6)从所述第二透口中露出。
3.根据权利要求1所述的一种高性能磁阻器件,其特征在于:所述的环形电极(5)沿所述InSb薄膜圆盘(2)的外缘部(21)设置。
4.根据权利要求1所述的一种高性能磁阻器件,其特征在于:所述的绝缘膜(7)材料为SiO2。
5.根据权利要求1所述的一种高性能磁阻器件,其特征在于:所述的基底(1)包括由下至上依次设置的衬底层(11)、过渡层(12)、绝缘层(13),所述过...
【专利技术属性】
技术研发人员:马可军,俞振中,郑律,
申请(专利权)人:江苏森尼克电子科技有限公司,
类型:发明
国别省市:江苏;32
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