一种前开式晶片箱开闭装置制造方法及图纸

一种前开式晶片箱开闭装置，其中二栓锁键分别插置于作用孔内，并以螺帽锁固于蜗轮组上，使得其中一蜗轮组定位片与其栓锁键前端长键呈平行设置，另一蜗轮组定位片与另一栓锁键长键呈垂直设置；另有二第一定位梢可供二定位片旋转靠合而位于第一位置的关闭角度，并有二第二定位梢可供二定位片旋转靠合而位于第二位置的开启角度。该装置组装时不需使用夹具，可易于组装及定位，能有效缩短组装工时，提高定位精度。（*该技术在2010年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种前开式晶片箱开闭装置，尤指一种适用于前开式晶片箱制程设备的箱盖开启或关闭装置。传统公知的晶片载入机(SMIF Load-Port)多是以一组连杆机构来开启或关闭前开式晶片箱(Front-Opening Unified Pod)的箱盖。然而，公知的连杆机构零件复杂、设计制造不易，且组装时为了达到SEM1规定的0℃±1℃至90℃±1℃标准规范，必须仔细地以特殊设计的夹具加以校正，费时费工，有待改进。本技术的主要目的于在提供一种前开式晶片箱开闭装置，能易于组装及定位，并于组装时不需使用夹具，可降低组装复杂度，缩短组装工时，以及提高定位精度。为达到上述目的，本技术以开启或关闭前开式晶片箱箱盖的前开式晶片箱开闭装置主要包括一传动组，包括一传动轴能受一马达驱动旋转，该传动轴二端分别设有一蜗杆，并以分别一固定件将该蜗杆固定；二蜗轮组，包括二蜗轮、二衬垫、及二定位片，该二衬垫及二定位片使用螺丝分别固设于二蜗轮上成一体转动，并分别形成一长槽用以分别固定该二定位片，且该二衬垫于中央分别贯设一作用孔；二栓锁键，前段分别径向延设一长键，中段形成一作用部，后段并设一螺纹部，该二栓锁键能分别穿经该二蜗轮组，并以二螺帽分别螺合于栓锁健的螺纹部，促使该二蜗轮组还会前后滑动，且使二作用部恰对应插入并容置于该二衬垫的作用孔内，二蜗轮分别啮合于该二蜗杆上。其中，一蜗轮组的定位片与其对应的栓锁键前段长键呈平行设置，另一蜗轮组的定位片与其对应的栓锁键前段长键呈垂直设置。该二定位片可使用二定位梢组来控制定位，该二定位梢组包括有二支第一定位梢及二支第二定位梢，该二支第一定位梢能供该二蜗轮组的定位片分别靠合，促使二定位片彼此保持垂直、二栓锁键的长键彼此保持平行且位于第一位置，该二支第二定位梢能供该二蜗轮组的定位片分别靠合，促使二定位片彼此保持垂直、二栓锁键的长键彼此保持平行且位于第二位置。本技术的马达可使用步进马达、伺服马达、直流马达，或其他等效驱动元件。蜗轮组衬垫的作用孔配合栓锁键中段的作用部，可呈方形、长方形、三角形、多角形等非圆形形状，或以其他螺固、嵌夹、插键…等加以固定。蜗轮组的定位片可以螺丝螺固于衬垫长槽上，或以粘固、焊固、夹固等其他等效固定均可。以下结合附图详细说明本实用新的较佳实施例。其中附图说明图1是一晶片载入机前方的立体示意图；图2是本技术实施例组设于晶片载入机阜门后表面的正视图；图3是本技术实施例的立体分解图；图4是本技术实施例的剖视图；图5是本技术另一实施例组设于晶片载入机阜门后表面的正视图；图6是本技术又一实施例组设于晶片载入机阜门后表面的正视图。图1所示的晶片载入机9月用以载入一前开式晶片箱8，该晶片载入机9具一阜门91，阜门91二侧贯设有二贯孔913, 913’并对应于箱盖81二锁孔811,811’。该晶片箱8以其底部82固设于移动台92上，可随移动台92向前移动，以将箱盖81紧靠于阜门91上，本技术乃是一组设于阜门91后表面912，用以开启或关闭箱盖81的开闭装置。请同时参阅图2,3,4，本技术一较佳具体实施例之传动组件1是以步进马达14驱动皮带15、皮带轮101，直接带动传动轴10旋转。传动轴10枢设于二侧轴承111、112上，传动轴10二端分设一蜗杆121,122可藉由锁付螺丝131,132加以锁固。二轴承组2,2’分别组设于阜门91后表面912，并轴向对应于二贯孔913,913’，每一轴承组2,2’系于一轴承座21,21’内部设有二轴承22,24(图4)开于间夹设一间隔环23。图3可见本例二蜗轮组3,3’系先将二衬垫32,32’之一端插入蜗轮31,31’的内孔，再将二定位片33,33’分别对准二衬垫32,32’之长槽321,321’，再以螺丝将蜗轮31,31’、衬垫32,32’及定位片33,33’分别螺固一起。其中，蜗轮31,31’可使用塑料制成，使其与蜗杆121,122摩擦时不致造成污染。二衬垫32,32’中央贯设有一方形作用孔322,322’，恰可供二栓锁键4,4’中段之方形作用部43,43’分别插入容置。二栓锁键4,4’前段分别形成一T形长键41,41’，分别由阜门91前方穿经二贯孔913,913’及二轴承组2,2’与二蜗轮组3,3’之方形作用孔322,322’，并以二螺帽45,45’螺合于螺纹部44,44’将二蜗轮组3,3’分别靠紧于二轴承组2,2’上。当二螺帽45,45’锁紧时，先使栓锁键4肩部42抵靠于轴承24上(图4)以令T形长键41凸伸于贯孔913外，再调整蜗轮31使其啮合于蜗杆121上，并调整使蜗轮组3之定位片33与栓锁键4前段T形长键41平行，蜗轮组3’之定位片33’与栓锁键4’前段T形长键41’垂直。图2,3可见阜门91后表面912尚有二组定位梢组，第一定位梢51,51’用以供二蜗轮组3,3’定位片33,33’旋转靠合以定位于第一位置藉以关闭箱盖81，第二定位梢52,52’用以供二蜗轮组3,3’定位片33,33’旋转靠合以定位第二位置藉以开启箱盖81。当欲组装或定位时，先松开二锁付螺丝131,132并分别调整蜗杆121,122令其带动蜗轮31,31’旋转，促使二定位片33,33’分别靠合于第一定位梢51,51’之第一位置作为二定位片33,33’之起始点，感测器6,6’开始感应作用，二定位片33,33’并彼此保持垂直(如于图2位置)，此时再将二锁付螺丝131,132锁紧，便可使二定位片33,33’保持垂直定位，二长键41,41’彼此保持平行，如果蜗轮31,31’尺寸或传动轴10位置略作变更，二定位片33,33’仍能一直保持垂直，亦即二定位片33,33’仍分别与二长键41,41’或垂直，均在本技术专利范围内。同理二定位片33,33’亦可如上述方法旋转靠合于第二定位梢52,52’之第二位置再加以锁固。定位梢51与会及定位梢51’与52’之夹角可精确加工为90°，均使本技术二栓锁键4,4’旋转易于达到SEMI规定之0°±1°至90°±1。标准规范，无须以特殊夹具加以校正。而且，第一定位梢51,51’及第二定位梢52,52’亦可档止该二定位片33,33’的旋转，避免马达煞车失灵造成二长键41,41’损伤晶片箱8二锁孔811,811’。此外，图2显示本例尚于第一、第二位置分别设有感测器6,6’,7,7’使与二定位片33,33’发生感应作用，并作为保险，用以预防步进马达14发生失步问题。本例尚于阜门91之顶部设置一组或二级侦测器911(图2)，当晶片箱8箱盖81被打开，阜门91下下运动时，侦测器911即可侦测晶片箱8内晶片数量，及晶片是否短少或摆放倾斜。另在晶片载入机背板后面之阜门91上方设置一检测器90(图1)，可检测晶片是否凸出晶片箱8，以避免箱盖81启闭时碰触晶片以致损坏晶片。图5为另一实施例，其构造大致与前例相同，惟其传动轴10’上改设有一齿轮102，另以一转轴16之齿轮161啮合于传动轴10’之齿轮102，又改以一伺服马达14’经由皮带15’带动转轴16上之皮带轮162而间接驱动传动轴10’旋转，因此若不慎皮带15’断裂可易于更换而不需拆传动轴10’，免去重新调整定位的不便。图6为又一实施例，其构造大致与本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种前开式晶片箱开闭装置，用以开启或关闭一前开式晶片箱之箱盖，其特征在于主要包括：一传动组，包括一传动轴经马达驱动旋转，该传动轴二端分别设有一蜗杆，并分别以一固定件将该蜗杆固定；二蜗轮组，包括二蜗轮、二衬垫、及二定位片，该二衬垫分别固设于二蜗轮上成一体转动，并分别形成一长槽用以固定该二定位片，且该二衬垫于中央贯设一作用孔；二栓锁键，前段分别径向延设一长键，中段形成一作用部，后段并设一螺纹部，该二栓锁键能分别穿经该二蜗轮组，并以二螺帽分别螺合于二栓锁键之螺纹部，促使该二蜗轮组不会前后滑动，且使二作用部恰对应插入并容置于该二衬垫之作用孔内，二蜗轮分别啮合于该二蜗杆上。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：胡平宇，陈冠州，吴宗明，林武郎，
申请(专利权)人：财团法人工业技术研究院，
类型：实用新型
国别省市：71[]