【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种半导体工艺中检测晶片的方法,特别是涉及一种,其可整合半导体工艺自动化分析晶片的缺陷特性。当半导体设计规格缩小时,要改善及维持半导体工艺成品率更加困难。类微粒(partical-like)缺陷为工艺实际成品率杀手中最为重要的关键。因此,微粒的特征鉴定分析及减少对于体积电路(IC)制造的成品率改善有重大的关系。一般而言,具有图案与不具图案的晶片都必须经历数百个工艺步骤的先前检查。上述两种形式的晶片上的缺陷可以以光学仪器来侦测,但是对整个晶片层次而言缺陷的材料特性分析仍旧不是一个简单的程序。未完成的晶片在进行各种不同工艺之前需经由检查来确认每一步骤工艺是否正确良好,利用此检查方式来维持产品成品率。一般而言,检查步骤是来检查由工艺设备(例如PECVD、LPCVD、SACVD、PVC等)所产生的微粒数目。在以检查工具检查之后,缺陷晶片的图形(mapping)传递至一检视及特性分析工具,例如检视的SEM/EDX或FIB,材料特性分析可以找出成品率杀手的根源。现有技术是采用1点、2点、3点或4点对准来调整检查工具与特性分析工具系统的坐标差。在对准之后,选取最大的缺陷并且晶片被驱动至此缺陷位置。由两系统坐标差可以获得坐标补偿,此步骤以人工操作称为补偿微对准,其可提供比原点补偿方法更准确的对准方法。然而,对大部分应用而言,补偿值大于欲检测分析区域的大小,所以特性分析工具无法十分准确地找到缺陷位置,而必须加入人工来调整工具。因此,此方法无法达到完全地自动化检视及特性分析。因此,本专利技术的主要目的就是提供一种,提供检查工具与特性分析工具两系统准确的坐标 ...
【技术保护点】
一种晶片缺陷检查及特性分析的方法,其可在晶片阶段自动地定位缺陷位置及分析缺陷特性;该方法至少包括: 在一晶片进行标准集成电路工艺前,在该晶片边界周围附近多个位置形成用以晶片定位的多个对准记号; 在该晶片进行标准集成电路工艺后,将这些对准记号在一检查工具的坐标系统与一特性分析工具的坐标系统的坐标数据经由一简单代数运算,求得该检查工具的坐标系统至该特性分析工具的坐标系统的一坐标转换矩阵;以及 以该坐标转换矩阵为转换基础,将该检查工具取得该晶片的一缺陷的坐标由该检查工具的坐标系统转换至该特性分析工具的坐标系统,依此方式该特性分析工具可准确地驱动至该缺陷位置并分析该缺陷特性。
【技术特征摘要】
1.一种晶片缺陷检查及特性分析的方法,其可在晶片阶段自动地定位缺陷位置及分析缺陷特性;该方法至少包括在一晶片进行标准集成电路工艺前,在该晶片边界周围附近多个位置形成用以晶片定位的多个对准记号;在该晶片进行标准集成电路工艺后,将这些对准记号在一检查工具的坐标系统与一特性分析工具的坐标系统的坐标数据经由一简单代数运算,求得该检查工具的坐标系统至该特性分析工具的坐标系统的一坐标转换矩阵;以及以该坐标转换矩阵为转换基础,将该检查工具取得该晶片的一缺陷的坐标由该检查工具的坐标系统转换至该特性分析工具的坐标系统,依此方式该特性分析工具可准确地驱动至该缺陷位置并分析该缺陷特性。2.如权利要求1所述的方法,其中这些对准记号为3个,在该检查工具的坐标系统的坐标表示为(IX1,IY1),(IX2,IY2),(IX3,IY3),在该特性分析工具的坐标系统的坐标表示为(CX1,CY1),(CX2,CY2),(CX3,CY3),则坐标关系二元一次方程式如下CX=a1*IX+b1IY+c1CY=a2*IX+b2IY+c2以该简单代数运算,则以矩阵表示为 其中,该坐标转换矩阵为M矩阵。3.如权利要求1所述的方法,其中这些对准记号为4个,在该检查工具的坐标系统的坐标表示为(IX1,IY1),(IX2,IY2),(IX3,IY3),(IX4,IY4),在该特性分析工具的坐标系统的坐标表示为(CX1,CY1),(CX2,CY2),(CX3,CY3),(CX4,CY4),则坐标关系二元二次方程如下CX=a1*IX+b1IY+c1*LX*IY+d1CY=a2*IX+b2IY+c2*IX*IY+d2以该简单代数运算,则以矩阵表示为 其中,该坐标转换矩阵为M矩阵。4.一种晶片缺陷检查及特性分析的方法,其可在晶片阶段自动地定位缺陷位置及分析缺陷特性;该方法至少包括在一晶片进行标准集成电路工艺前,于该晶片边界周围附近复数个位置形成用以晶片定位的一对准记号;在该晶片进行标准集成电路工艺后,将该对准记号在一检查工具的坐标系统一特性分析工具的坐标系统的坐标数据经由一简单代数运算,求得该检查工具的坐标系统至该特性分析工具的坐标系统的一坐标转换矩阵;以及以该坐标转换矩阵为转换基础,将该检查工具取得该晶片的一缺陷的坐标由该检查工具的坐标系统转换至该特性分析工具的坐标系统,依此方式将该特性分析工具可准确地驱动至该...
【专利技术属性】
技术研发人员:董易谕,杨森山,林志贤,郑价言,侯上勇,
申请(专利权)人:台湾积体电路制造股份有限公司,
类型:发明
国别省市:71[中国|台湾]
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