本发明专利技术涉及电子部件搬运装置以及电子部件检查装置。电子部件检查装置具备被搬入IC器件的第1室、被从第1室搬入IC器件的第2室、以及被从第2室搬入IC器件的第3室。而且，第2室内的湿度比第1室内的湿度低。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术设及电子部件搬运装置W及电子部件检查装置。
技术介绍
W往已知一种例如检查1C器件等电子部件的电特性的电子部件检查装置，该电 子部件检查装置中设置有用于将1C器件搬运到检查部的保持部的电子部件搬运装置。在 检查1C器件时，将1C器件配置于保持部，使设置在保持部的多个探针和1C器件的各端子 接触。 运样的1C器件的检查有时是将1C器件冷却到规定溫度进行的。在该情况下，需 要W冷却1C器件并且不会产生结露的方式使配置1C器件的部件的环境的湿度降低。 在专利文献1中记载了一种构成为具有内部被设定为规定的溫度的多个腔室，在 1C忍片通过各腔室的过程中进行检查的1C处理机（Handler)。 专利文献1 :日本特开平8 - 105938号公报 然而，在专利文献1中，能够进行各腔室中的溫度管理，但对于湿度管理，即，对于 如何防止在对1C器件进行冷却时产生的结露，完全未公开也未给出提示。因此，在现实中 是否能够防止结露的产生是不清楚的。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种在可冷却电子部件的状态下，能够防止在第1室、第2 室W及第3室中的特别是第2室内产生结露的电子部件搬运装置W及电子部件检查装置。 本专利技术是为了解决上述课题的至少一部分而完成的，能够作为W下的方式或者应 用例来实现。 应用例1 本专利技术的电子部件搬运装置的特征在于，具备： 第1室，电子部件被搬入该第1室；[001引第2室，上述电子部件被从上述第1室搬入该第2室；W及 第3室，上述电子部件被从上述第2室搬入该第3室， 上述第2室内的湿度比上述第1室内的湿度低。 由此，在可对电子部件进行冷却的状态下，能够对第1室、第2室W及第3室的每 一个调整（设定）该室内的湿度。而且，若在湿度被调整了的状态下进行冷却，则能够防止 之后特别是在第2室内产生结露。[001引 应用例2 在本专利技术的电子部件搬运装置中，优选上述第2室内的湿度W及上述第1室内的 湿度为各个室内的平均湿度。 由此，尽可能得到准确的湿度。[001引 应用例3 在本专利技术的电子部件搬运装置中，优选上述第2室内的湿度w及上述第1室内的 湿度为由在各个室内配置的多个湿度传感器感知的湿度中的最高的湿度。 由此，得到特别是在第2室内产生结露的可能性较高的湿度，因此，有助于防止结 露。[00过 应用例4 在本专利技术的电子部件搬运装置中，优选上述第2室内的湿度W及上述第1室内的 湿度为各个室内的配置湿度传感器的位置的湿度。 由此，尽可能得到准确的湿度。[00幼 应用例5 在本专利技术的电子部件搬运装置中，优选上述第2室内的湿度W及上述第1室内的 湿度为在上述第2室内配置有上述电子部件时的湿度。 由此，能够得到特别是在第2室内产生了结露时可能产生对电子部件的影响的湿 度。[002引应用例6 在本专利技术的电子部件搬运装置中，优选上述第2室内的湿度与上述第1室内的湿 度的差比0%RH大且比4. 5%RH小。 由此，能够将特别是在第2室内产生结露防止于未然。应用例7 在本专利技术的电子部件搬运装置中，优选上述第1室内的湿度、上述第2室内的湿 度、W及上述第3室内的湿度被控制在0~60%RH。 由此，能够将特别是在第2室内产生结露防止于未然。 应用例8 在本专利技术的电子部件搬运装置中，优选上述第1室内的湿度、上述第2室内的湿 度、W及上述第3室内的湿度通过使干燥空气或氮气流入各个室内来控制。 由此，能够容易并且可靠地进行各个室内的湿度的控制。 应用例9[003引在本专利技术的电子部件搬运装置中，优选上述第2室内的湿度比上述第3室内的湿 度低。 由此，在可对电子部件进行冷却的状态下，能够对第1室、第2室W及第3室的每 一个调整（设定）该室内的湿度。而且，若在湿度被调整了的状态下，进行冷却，则能够防 止之后特别是在第2室内产生结露。 应用例10 在本专利技术的电子部件搬运装置中，优选上述第2室内的湿度比上述第1室内的湿 度低，上述第1室内的湿度比上述第3室内的湿度低。 由此，若在W运样的大小关系调整了湿度的状态下进行冷却，则能够防止之后特 别是在第2室内产生结露。[004引应用例11 在本专利技术的电子部件搬运装置中，优选上述第1室内的湿度与上述第3室内的湿 度的差比0%RH大且比4. 5%RH小。 由此，能够将特别是在第2室内产生结露防止于未然。[004引应用例12 在本专利技术的电子部件搬运装置中，优选具备供料部，该供料部供给配置有上述电 子部件的配置部件， 在上述供给部与上述第1室之间设置有能够开闭的开闭部。 由此，在配置部件在供料部与第1室之间往返的情况下，在该往返时W外，开闭部 能够为关闭的状态，因此，能够尽可能地维持第1室内的湿度、溫度。 应用例13 在本专利技术的电子部件搬运装置中，优选具备除料部，该除料部除去配置有上述电 子部件的配置部件， 在上述除料部与第3室之间设置有能够开闭的开闭部。 由此，在配置部件在除料部与第3室之间往返的情况下，在该往返时W外，开闭部 能够为关闭的状态，因此，能够尽可能地维持第3室内的湿度、溫度。 应用例14在本专利技术的电子部件搬运装置中，优选上述第1室和上述第3室通过隔壁划分。[005引由此，能够分别确保第1室的气密性和第3室的气密性，因此，例如在第1室需要 湿度管理（湿度调整）的情况下，能够容易地进行其湿度管理。 应用例15 在本专利技术的电子部件搬运装置中，优选在上述第1室、上述第2室W及上述第3室 配置有检测氧浓度的氧浓度传感器。 由此，能够检测第1室、第2室W及第3室的各室内的当前的氧浓度。 应用例16 在本专利技术的电子部件搬运装置中，优选上述第1室、上述第2室W及上述第3室被 控制在预先决定的湿度、氧浓度。 由此，将湿度管理在防止在第1室、第2室化及第3室的各室内产生结露的程度， 并且各室内成为被充足的氧浓度充满的状态。[006引 应用例17 在本专利技术的电子部件搬运装置中，优选在上述第1室与上述第2室之间设置有使 上述第1室和上述第2室连通的第1开口部。 由此，例如在构成为向第2室能够供给用于对该第2室内的湿度进行调整的干风 的情况下，通过第2室的干风经由第1开口部流入第1室，用于该第1室内的湿度调整。 [00 6引应用例18 在本专利技术的电子部件搬运装置中，优选在上述第2室与上述第3室之间设置有使 上述第2室和上述第3室连通的第2开口部。 由此，例如在构成为向第2室能够供给用于对该第2室内的湿度进行调整的干风 的情况下，通过第2室的干风也能够经由第2开口部流入第3室，用于该第3室内的湿度调 整。该结构在第3室需要湿度调整的情况下有效。[006引应用例19 在本专利技术的电子部件搬运装置中，优选在上述第2室的上部配置有收纳在该第2 室内搬运上述电子部件的搬运机构的第4室。 由此，例如在第2室需要湿度管理（湿度调整），第4室与第2室相比不需要湿度 管理的情况下，能够优先地容易地进行第2室中的湿度管理。[007引应用例20 在本专利技术的电子部件搬运装置中，优选在上述第1室设置有第1搬运装置，在上述 第3室设置有第2搬运装置。 由此，例如与具有跨越第1室和第3室地设置的一个搬运机构的结构相比，能够实 现处理能力，即，每单位时间的电子部件的搬运个数的提高。应用例21 在本专利技术的电子部件搬运装置本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种电子部件搬运装置，其特征在于，具备：第1室，电子部件被搬入该第1室；第2室，所述电子部件被从所述第1室搬入该第2室；以及第3室，所述电子部件被从所述第2室搬入该第3室，所述第2室内的湿度比所述第1室内的湿度低。
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员：桐原大辅，前田政己，下岛聪兴，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP
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