本发明专利技术提供电子部件搬运装置以及电子部件检查装置。电子部件搬运装置具备：第一空间；第二空间，其与上述第一空间不同；配置部件，其配置于上述第二空间，并且供多个电子部件配置；以及闸门，其能够在配置上述电子部件的至少一个方向进行动作，并且与上述第一空间以及上述第二空间接触，在上述闸门设置有多个第一开口部。另外，优选上述第一空间与上述第二空间的湿度不同。另外，优选上述第二空间的湿度比上述第一空间的湿度低。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及电子部件搬运装置以及电子部件检查装置。
技术介绍
以往，公知有例如检查1C器件等电子部件的电特性的电子部件检查装置，在该电子部件检查装置设置有用于将1C器件搬运至检查部的保持部的电子部件搬运装置。在检查1C器件时，将1C器件配置于保持部，使设于保持部的多个探测销与1C器件的各端子接触。这种1C器件的检查存在将1C器件冷却至规定温度来进行的情况。在该情况下，对1C器件进行冷却，并且以不产生结露的方式降低配置1C器件的部件的周围氛围的湿度。在专利文献1中记载了如下1C芯片部件试验装置，即:在将温度控制在低温的腔内，以能够移动的方式收纳有具有收容多个1C芯片的多个1C收容部的1C托盘，并且设有对腔的入口进行开闭的板状的闸门。在从外部将1C芯片搬运至腔内的1C托盘的1C收容部进行收容时，1C托盘移动至入口的位置，闸门打开，以1C托盘整体在外部露出的状态，被吸附喷嘴吸附的1C芯片通过被解除该吸附而收容于1C托盘的1C收容部。在专利文献1所记载的1C芯片部件试验装置中，通过闸门关闭腔的入口而能够将腔内保持在规定的温度、规定的湿度。专利文献1:日本特开2000 - 74996号公报然而，专利文献1所记载的闸门由对腔的入口整体进行开闭的板状部件构成，并不是能够针对各个1C托盘的1C收容部进行开闭的闸门。因此，在打开闸门的状态下，开口部分增大至需要以上，由此，收容于1C托盘的全部1C芯片暴露于湿度等未受到管理的氛围中。由此，在1C芯片的温度较低的情况下，担心在1C芯片的表面产生结露。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供能够抑制电子部件暴露于湿度等未受到管理的氛围中的电子部件搬运装置以及电子部件检查装置。本专利技术是为了解决上述课题的至少一部分而完成的，能够作为以下方式或者应用例来实现。本专利技术的电子部件搬运装置的特征在于，具备:第一空间；第二空间，其与上述第一空间不同；配置部件，其配置于上述第二空间，并且供多个电子部件配置；以及闸门，其能够在配置上述电子部件的至少一个方向进行动作，并且与上述第一空间以及上述第二空间接触，在上述闸门设置有多个第一开口部。由此，能够抑制电子部件暴露于湿度等未受到管理的氛围中。S卩，通过关闭闸门，能够以该闸门的部分切断第一空间与第二空间的连通，由此，例如能够容易对第二空间的湿度进行管理。另外，在打开闸门的情况下，通过将第一开口部配置于配置部件的配置多个电子部件的位置中的规定位置，能够仅将上述规定位置打开。由此，例如，在第一空间的湿度等未受到管理的情况下，能够抑制电子部件暴露于该湿度等未受到管理的氛围中。优选，上述闸门的一方的面与上述第一空间接触，上述闸门的另一方的面与上述第二空间接触。由此，能够提供遮挡功能较好的闸门。优选，上述闸门进行动作的上述方向为上述配置部件的长边方向。由此，能够高效地进行闸门的开闭动作。在本专利技术的电子部件搬运装置中，优选，上述第一空间与上述第二空间的湿度不同。由此，通过降低第二空间的湿度，在电子部件、第二空间的温度较低的情况下，能够抑制在电子部件、第二空间产生结露。在本专利技术的电子部件搬运装置中，优选，上述第二空间的湿度比上述第一空间的湿度低。由此，在电子部件、第二空间的温度较低的情况下，能够抑制在电子部件、第二空间产生结露。在本专利技术的电子部件搬运装置中，优选，具备开口部件，该开口部件配置于上述闸门与上述配置部件之间，并且具有多个第二开口部。由此，通过减小闸门与开口部件之间的间隔，能够提高闸门的遮挡功能。另外，在湿度较低的空气等气体(以下，也称为干燥空气)向第二空间、特别是在第二空间中的开口部件与配置部件之间的第三空间流动的情况下，干燥空气在该第三空间流动，从而在电子部件的温度较低的情况下，能够防止电子部件结露。在本专利技术的电子部件搬运装置中，优选，上述开口部件与上述配置部件之间的间隔比上述开口部件与上述闸门之间的间隔大。由此，在干燥空气在第三空间流动的情况下，干燥空气能够在该第三空间顺利地流动，在电子部件的温度较低的情况下，能够防止电子部件结露。在本专利技术的电子部件搬运装置中，优选，具有将上述闸门支承为能够动作的滑动部件。由此，能够使闸门顺利地动作从而进行开闭。在本专利技术的电子部件搬运装置中，优选，上述闸门的动作为平移。由此，能够将闸门的驱动机构的结构简单化。在本专利技术的电子部件搬运装置中，优选，上述闸门能够更换为上述第一开口部的大小以及上述第一开口部的位置中的至少一方不同的闸门。由此，能够对应于各种大小的电子部件。在本专利技术的电子部件搬运装置中，优选，上述第一开口部的大小基于上述电子部件的大小设定。由此，能够对应于各种大小的电子部件。在本专利技术的电子部件搬运装置中，优选，上述多个第一开口部的间距为设置于上述配置部件并且供上述电子部件配置的多个电子部件配置部的间距的2倍。由此，在电子部件配置部以行列状配置的情况下，能够形成为仅对于奇数列的电子部件配置部与偶数列的电子部件配置部中的一方使闸门打开，而对于另一方使闸门关闭的状态。由此，能够仅对于奇数列的电子部件配置部与偶数列的电子部件配置部中的需要的一方打开闸门。在本专利技术的电子部件搬运装置中，优选，上述闸门能够往复地进行动作，上述闸门的上述往复动作的单程的距离为上述第一开口部的间距的1/2。由此，在电子部件配置部以行列状配置的情况下，能够形成为仅对于奇数列电子部件配置部与偶数列电子部件配置部中的一方使闸门打开，而对于另一方使闸门关闭的状态。由此，能够仅对于奇数列电子部件配置部与偶数列电子部件配置部中的需要的一方打开闸门。 在本专利技术的电子部件搬运装置中，优选，具有能够搬运上述电子部件的搬运部件，在上述搬运部件朝向上述配置部件移动时打开上述闸门。由此，例如在第一空间的湿度等未受到管理的情况下，与在搬运部件开始朝向配置部材移动以前打开闸门的情况相比，能够抑制电子部件暴露于湿度等未受到管理的氛围中。另外，与搬运部件到达配置部件之后打开闸门的情况相比，能够缩短处置时间。在本专利技术的电子部件搬运装置中，优选，基于上述搬运部件开始朝向上述配置部件移动的位置设定开始打开上述闸门的动作的时期。由此，能够容易并且适当地设定开始打开闸门的动作的时期。在本专利技术的电子部件搬运装置中，优选，开始打开上述闸门的动作的时期为:上述搬运部件开始朝向上述配置部件移动之后上述搬运部件的移动距离成为比上述搬运部件到达上述配置部件为止的总移动距离小的规定值时。由此，能够容易并且适当地设定开始打开闸门的动作的时期。在本专利技术的电子部件搬运装置中，优选，上述规定值设定于上述总移动距离的60%以上95%以下的范围内。由此，能够适当地设定开始打开闸门的动作的时期。本专利技术的电子部件检查装置的特征在于，具备:第一空间；第二空间，其与上述第一空间不同；配置部件，其配置于上述第二空间，并且供多个电子部件配置；闸门，其能够在配置上述电子部件的至少一个方向进行动作，并且与上述第一空间以及上述第二空间接触；以及检查部，其检查上述电子部件，在上述闸门设置有多个开口部。由此，能够抑制电子部件暴露于湿度等未受到管理的氛围中。S卩，通过关闭闸门，能够以该闸门的部分切断第一空间与第二空间的连通，由此，例如能够容易地对第二空间的湿度进行管理。另外，在打开闸门的情况下，通过将第一开口部本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种电子部件搬运装置，其特征在于，具备：第一空间；第二空间，其与所述第一空间不同；配置部件，其配置于所述第二空间，并且用于配置多个电子部件；以及闸门，其能够在配置所述电子部件的至少一个方向进行动作，并且与所述第一空间以及所述第二空间接触，在所述闸门设置有多个第一开口部。
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员：桐原大辅，前田政己，下岛聪兴，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP
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