一种氢氟酸清洗机的制造方法技术

本发明专利技术公开了一种氢氟酸清洗机的制造方法：选择适合氢氟酸耐腐蚀要求的板材，且要求不影响超声波的效果；按照尺寸要求制作清洗槽；将清洗槽在清洗机上安装到位，调试清洗超声波强度，达到使用标准；加入氢氟酸溶剂，确认耐腐蚀效果。本发明专利技术的优点是能够较好的适应氢氟酸溶剂的腐蚀要求，并且达到超声波的强度测试要求，可以减少因金属结构清洗槽不能满足氢氟酸溶剂使用工艺要求而造成的不必要的损失，满足清洗新工艺要求，并且更好的延长清洗机使用寿命。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种硅片加工使用的清洗机的制造方法。
技术介绍
在太阳能光伏产业中，对硅片的生产要求越来越严格，表面处理技术也相应的做出了新的改进，原来对硅片表面清洗处理使用的是乳酸溶液，但是乳酸溶液清洗已经不能满足现有的要求，大多采用氢氟酸溶液清洗。但是目前的清洗机中乳酸槽采用金属制造，耐腐蚀性能较差，不能满足氢氟酸的腐蚀要求。
技术实现思路
专利技术目的:针对上述问题，本专利技术的目的是提供，符合一定的耐腐蚀要求，并且不影响清洗超声波强度使用要求。技术方案:，包括以下步骤: (1)选择适合氢氟酸耐腐蚀要求的板材，且要求不影响超声波的效果； (2)按照尺寸要求制作清洗槽； (3)将清洗槽在清洗机上安装到位，调试清洗超声波强度，达到使用标准； (4)加入氢氟酸溶剂，确认耐腐蚀效果。步骤(I)所述板材为PVC板材。最佳的，所述PVC板材表面涂覆耐腐蚀涂层。有益效果:与现有技术相比，本专利技术的优点是能够较好的适应氢氟酸溶剂的腐蚀要求，并且达到超声波的强度测试要求，可以减少因金属结构清洗槽不能满足氢氟酸溶剂使用工艺要求而造成的不必要的损失，满足清洗新工艺要求，并且更好的延长清洗机使用寿命。【具体实施方式】下面结合具体实施例，进一步阐明本专利技术，应理解这些实施例仅用于说明本专利技术而不用于限制本专利技术的范围，在阅读了本专利技术之后，本领域技术人员对本专利技术的各种等价形式的修改均落于本申请所附权利要求所限定的范围。，包括以下步骤: (1)选择适合氢氟酸耐腐蚀要求的板材，且要求不影响超声波的效果； (2)按照尺寸要求制作清洗槽； (3)将清洗槽在清洗机上安装到位，调试清洗超声波强度，达到使用标准； (4)加入氢氟酸溶剂，确认耐腐蚀效果。步骤(I)所述板材为PVC板材。最佳的，所述PVC板材表面涂覆耐腐蚀涂层。【主权项】1.，其特征在于包括以下步骤: (1)选择适合氢氟酸耐腐蚀要求的板材，且要求不影响超声波的效果； (2)按照尺寸要求制作清洗槽； (3)将清洗槽在清洗机上安装到位，调试清洗超声波强度，达到使用标准； (4)加入氢氟酸溶剂，确认耐腐蚀效果。2.根据权利要求1所述的，其特征在于:步骤(1)所述板材为PVC板材。3.根据权利要求2所述的，其特征在于:所述PVC板材表面涂覆耐腐蚀涂层。【专利摘要】本专利技术公开了：选择适合氢氟酸耐腐蚀要求的板材，且要求不影响超声波的效果；按照尺寸要求制作清洗槽；将清洗槽在清洗机上安装到位，调试清洗超声波强度，达到使用标准；加入氢氟酸溶剂，确认耐腐蚀效果。本专利技术的优点是能够较好的适应氢氟酸溶剂的腐蚀要求，并且达到超声波的强度测试要求，可以减少因金属结构清洗槽不能满足氢氟酸溶剂使用工艺要求而造成的不必要的损失，满足清洗新工艺要求，并且更好的延长清洗机使用寿命。【IPC分类】H01L21/67, H01L31/18【公开号】CN105280517【申请号】CN201410227528【专利技术人】翟正平, 张胜芳, 张秋霞 【申请人】镇江跃进机械厂有限公司【公开日】2016年1月27日【申请日】2014年5月27日本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种氢氟酸清洗机的制造方法，其特征在于包括以下步骤：（1）选择适合氢氟酸耐腐蚀要求的板材，且要求不影响超声波的效果；（2）按照尺寸要求制作清洗槽；（3）将清洗槽在清洗机上安装到位，调试清洗超声波强度，达到使用标准；（4）加入氢氟酸溶剂，确认耐腐蚀效果。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：翟正平，张胜芳，张秋霞，
申请(专利权)人：镇江跃进机械厂有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32