清洗方法、清洗系统以及制造微结构的方法技术方案

技术编号:6415902 阅读:155 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
根据一个实施方案,公开了一种清洗方法。该方法通过电解稀硫酸溶液可以制备包括氧化物质的氧化溶液。另外,该方法可以向待清洗物体表面单独地、按顺序地或基本上同时地供给高浓缩无机酸溶液和氧化溶液。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种清洗方法,其包括:通过电解稀硫酸溶液制备包括氧化物质的氧化溶液,和向待清洗物体表面单独地、按顺序地或基本上同时地供给高浓缩无机酸溶液和氧化溶液。

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员:速水直哉田家真纪子加藤昌明土门宏纪尾川裕介黑川祯明小林信雄
申请(专利权)人:株式会社东芝氯工程株式会社芝浦机械电子株式会社
类型:发明
国别省市:JP[日本]

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