【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种清洗方法,其包括:通过电解稀硫酸溶液制备包括氧化物质的氧化溶液,和向待清洗物体表面单独地、按顺序地或基本上同时地供给高浓缩无机酸溶液和氧化溶液。
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员:速水直哉,田家真纪子,加藤昌明,土门宏纪,尾川裕介,黑川祯明,小林信雄,
申请(专利权)人:株式会社东芝,氯工程株式会社,芝浦机械电子株式会社,
类型:发明
国别省市:JP[日本]
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