【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种将悬置微型结构装配和封装入衬底的方法,至少包括:将第一牺牲碳膜淀积于所述衬底;光刻地图案化所述第一牺牲碳膜;淀积结构膜;光刻地图案化所述结构膜,并局部地外露所述第一牺牲碳膜;淀积第二牺牲碳膜;光刻地图案化所述第二牺牲碳膜;淀积覆盖所述第二牺牲碳膜、所述结构膜以及所述第一牺牲碳膜的封装膜;光刻地图案化所述封装膜以形成多个透膜牺牲释放孔;通过在反应器腔室中使用选择性气体刻蚀工艺,选择地去除所述第一牺牲碳膜和所述第二牺牲碳膜,使得将所述结构膜悬置于所述衬底之上的腔部中;以及淀积孔密封膜,以便密封所述透膜牺牲释放孔。
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员:河H黄,
申请(专利权)人:上海丽恒光微电子科技有限公司,
类型:发明
国别省市:31[中国|上海]
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