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清洗方法、清洗系统以及制造微结构的方法技术方案
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下载清洗方法、清洗系统以及制造微结构的方法的技术资料
文档序号:6415902
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根据一个实施方案,公开了一种清洗方法。该方法通过电解稀硫酸溶液可以制备包括氧化物质的氧化溶液。另外,该方法可以向待清洗物体表面单独地、按顺序地或基本上同时地供给高浓缩无机酸溶液和氧化溶液。...
该专利属于株式会社东芝;氯工程株式会社;芝浦机械电子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社东芝;氯工程株式会社;芝浦机械电子株式会社授权不得商用。
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