带有具有不等连接部长度的臂的机器人制造技术

一种传送装置，包括：驱动器；连接到所述驱动器的第一臂，其中所述第一臂包括与所述驱动器串联地连接的第一连接部、第二连接部和端部执行器，其中所述第一连接部和第二连接部具有不同的有效长度；以及用于限制端部执行器相对于第二连接部的旋转的系统，以使得当第一臂伸展或缩回时提供端部执行器相对于驱动器的基本上仅直线运动。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
所公开的实施例涉及一种机器人，其带有具有不等连接部长度的臂，并且更具体地涉及一种机器人，其带有具有不等连接部长度的一个或多个臂，每个臂支撑一个或多个基底。
技术介绍
用于诸如与制造半导体、LED、太阳能、MEMS或其他设备相关联的应用的真空、大气以及布控环境工艺利用机器人以及其他形式的自动化技术来传送基底以及与基底相关联的载片到存储位置、处理位置或其他位置或从这些位置进行传送。这种基底的传送可以是利用传送一个或多个基底的单独臂或利用其中每一个都传送一个或多个基底的多个臂来移动单个基底、基底群组。例如与半导体制造相关联的大规模的制造是在清洁或真空环境中完成的，其中占地面积和体积非常珍贵。此外，进行大量的自动化传输，其中传送时间的最小化导致了周期的降低以及增加的产量和对相关联设备的利用。因此，希望提供基底传送自动化技术，其针对给定范围的传送应用要求最小的占地面积和工作空间体积并具有最小化传送时间。
技术实现思路
下面的
技术实现思路
仅旨为示例性的。所述
技术实现思路
并不旨在限定权利要求。根据示例性实施例的一个方面，一种传送装置具有驱动器；连接到驱动器的第一臂，其中第一臂包括与驱动器串联地连接的第一连接部、第二连接部和端部执行器，其中所述第一连接部和第二连接部具有不同的有效长度；以及用于限制端部执行器相对于第二连接部的旋转的系统，以当第一臂伸展或缩回时提供端部执行器相对于驱动器的基本上仅直线运动。根据示例性实施例的另一个方面，提供一种方法，包括:由驱动器旋转臂的第一连接部；当第一连接部被旋转时旋转臂的第二连接部，其中所述第二连接部在第一连接部上旋转；并且在第二连接部上旋转端部执行器，其中第一连接部和第二连接部具有不同的有效长度，并且其中在第二连接部上的端部执行器的旋转被限制，以使得当臂伸展或缩回时，端部执行器被限制为相对于驱动器的基本上仅直线运动。根据示例性实施例的另一方面，提供一种传送装置，其具有驱动器；以及连接到驱动器的臂，其中所述臂包括在第一关节处连接到驱动器的第一连接部，在第二关节处连接到第一连接部的第二连接部，以及在第三关节处连接到第二连接部的端部执行器，其中所述第一连接部包括在第一关节和第二关节之间的第一长度，其与在第二关节和第三关节之间的第二连接部的第二长度不等，其中在臂的伸展和缩回期间端部执行器在第三关节处的运动限制为以相对于驱动器的旋转中心的基本上为直线的径向线为轨迹。【附图说明】结合附图，在下面的描述中对前述的方面和其他特征进行阐述，其中:图1A为传送装置的顶视图；图1B为传送装置的侧视图；图2A为传送装置的顶部局部示意性视图；图2B为传送装置的侧视截面局部示意性视图；图3A为传送装置的顶视图；图3B为传送装置的顶视图；图3C为传送装置的顶视图；图4为图表；图5A为传送装置的顶视图；图5B为传送装置的侧视图；图6A为传送装置的顶部局部示意性视图；图6B为传送装置的侧视截面局部示意性视图；图7A为传送装置的顶视图；图7B为传送装置的顶视图；图7C为传送装置的顶视图；图8为图表；图9为传送装置的侧视截面局部示意性图；图1OA为传送装置的顶视图；图1OB为传送装置的侧视图；图1lA为传送装置的顶视图；图1lB为传送装置的侧视图；图12为传送装置的侧视截面局部示意性图；图13为传送装置的侧视截面局部示意性图；图14A为传送装置的顶视图；图14B为传送装置的顶视图；图14C为传送装置的顶视图；图15A为传送装置的顶视图；图15B为传送装置的侧视图；图16A为传送装置的顶视图；图16B为传送装置的侧视图；图17A为传送装置的顶视图；图17B为传送装置的侧视图；图18为传送装置的侧视截面局部示意性图；图19为传送装置的侧视截面局部示意性图；图20A为传送装置的顶视图；图20B为传送装置的顶视图；图20C为传送装置的顶视图；图2IA为传送装置的顶视图；图21B为传送装置的侧视图；图22A为传送装置的顶视图；图22B为传送装置的侧视图；图23为传送装置的侧视截面局部示意性图；图24A为传送装置的顶视图；图24B为传送装置的顶视图；图24C为传送装置的顶视图；图25A为传送装置的顶视图；图25B为传送装置的侧视图；图26A为传送装置的顶视图；图26B为传送装置的顶视图；图26C为传送装置的顶视图；图27A为传送装置的顶视图；图27B为传送装置的侧视图；图28A为传送装置的顶视图；图28B为传送装置的侧视图；图29A为传送装置的顶视图；图29B为传送装置的顶视图；图29C为传送装置的顶视图；图30A为传送装置的顶视图；图30B为传送装置的侧视图；图3IA为传送装置的顶视图；图31B为传送装置的侧视图；图32A为传送装置的顶视图；图32B为传送装置的顶视图；图32C为传送装置的顶视图；图32D为传送装置的顶视图；图33A为传送装置的顶视图；图33B为传送装置的侧视图；图34A为传送装置的顶视图；；图34B为传送装置的顶视图；图34C为传送装置的顶视图；图35A为传送装置的顶视图；图35B为传送装置的侧视图；图36为传送装置的顶视图；图37A为传送装置的顶视图；图37B为传送装置的侧视图；图38A为传送装置的顶视图；图38B为传送装置的侧视图；图39为传送装置的顶视图；图40A为传送装置的顶视图；图40B为传送装置的侧视图；图41为传送装置的顶视图；图42为传送装置的顶视图；图43A为传送装置的顶视图；图43B为传送装置的侧视图；图44为传送装置的顶视图；图45为传送装置的顶视图；图46A为传送装置的顶视图；图46B为传送装置的侧视图；图47A为传送装置的顶视图；图47B为传送装置的侧视图；图48为传送装置的顶视图；图49为传送装置的顶视图；图50A为传送装置的顶视图；图50B为传送装置的侧视图；图51为传送装置的顶视图；图52A为传送装置的顶视图；图52B为传送装置的侧视图；图53为传送装置的顶视图；图54A为传送装置的顶视图；图54B为传送装置的侧视图；图55A为传送装置的顶视图；图55B为传送装置的顶视图；图55C为传送装置的顶视图；图56A为传送装置的顶视图；图56B为传送装置的侧视图；图57A为传送装置的顶视图；图57B为传送装置的顶视图；图57C为传送装置的顶视图；图58A为传送装置的顶视图；图58B为传送装置的侧视图；图59A为传送装置的顶视图；图59B为传送装置的顶视图；图59C为传送装置的顶视图；图60A为传送装置的顶视图；图60B为传送装置的侧视图；图6IA为传送装置的顶视图；图6IB为传送装置的顶视图；图61C为传送装置的顶视图；图62为传送装置的顶视图；图63为描述示例性带轮的图；图64为传送装置的顶视图；图65为传送装置的移动视图；图66A为示例基底传送机器人的顶视图；图66B为示例基底传送机器人的侧视图；图67A-图67C为示例基底传送机器人的顶视图；图68A-图68B为示例基底传送机器人的顶视图；图69A为示例基底传送机器人的顶视图图69B为示例基底传送机器人的侧视图；图70A为示例基底传送机器人的顶部示意性视图；图70B为示例基底传送机器人的截面示意性视图；图7IA为示例基底传送机器人的顶部示意性视图；图71B为示例基底传送机器人的截面示意性视图；图72A-图7本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种传送装置包括：驱动器；连接到所述驱动器的第一臂，其中所述第一臂包括与所述驱动器串联地连接的第一连接部、第二连接部和端部执行器，其中所述第一连接部和所述第二连接部具有不同的有效长度；以及用于限制所述端部执行器相对于所述第二连接部的旋转的系统，用于当所述第一臂伸展或缩回时基本上仅提供所述端部执行器相对于所述驱动器的直线运动。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：M·霍塞克，C·霍夫迈斯特，
申请(专利权)人：柿子技术公司，
类型：发明
国别省市：美国;US