用于高温应用的机器人制造技术

一种装置，包括：机器人驱动器；以及被连接到机器人驱动器的机器人臂，其中机器人臂包括被连接到机器人驱动器的第一连杆、在第一可旋转连接处可旋转地被连接到第一连杆的第二连杆、以及在第二可旋转连接处可旋转地被连接到第二连杆的末端执行器。末端执行器包括位于末端执行器的衬底支撑区与第二可旋转连接之间的热扼流器。第一可旋转连接器或第二可旋转连接中的至少一个包括旋转热耦接件，旋转热耦接件具有相对于彼此可旋转的交错构件。件具有相对于彼此可旋转的交错构件。件具有相对于彼此可旋转的交错构件。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于高温应用的机器人

技术介绍


[0001]示例且非限制性实施例总体涉及能够处理热有效负载并且适合在高温环境中操作的机器人，例如在半导体晶片处理系统中。
[0002]以前发展情况的简要说明
[0003]美国专利号10,569,430公开了机器人驱动器和手臂中的热传递，其通过引用整体并入本文。美国专利号10,424,498公开了提供冷却剂的维修回路(service loop)，其通过引用整体并入本文。美国专利号10,541,167公开了热传递，其通过引用整体并入本文。

技术实现思路

[0004]以下
技术实现思路
仅作为示例。
技术实现思路
并不旨在限制权利要求的范围。
[0005]根据一个方面，可以提供一种示例装置，包括：机器人驱动器；以及被连接到机器人驱动器的机器人臂，其中机器人臂包括被连接到机器人驱动器的第一连杆(link)、在第一可旋转连接处可旋转地被连接到第一连杆的第二连杆、以及在第二可旋转连接处可旋转地被连接到第二连杆的末端执行器，其中末端执行器包括位于末端执行器的衬底支撑区(substrate support area)与第二可旋转连接之间的热扼流器(heat choke)，并且其中第一可旋转连接器或第二可旋转连接中的至少一个包括旋转热耦接件(rotary thermal coupling)，旋转热耦接件具有相对于彼此可旋转的交错构件。
[0006]根据另一方面，可以提供一种示例装置，包括：机器人驱动器；以及被连接到机器人驱动器的机器人臂，其中机器人臂包括被连接到机器人驱动器的第一连杆、在第一可旋转连接处可旋转地被连接到第一连杆的第二连杆、以及在至少一个第二可旋转连接处可旋转地被连接到第二连杆的至少一个第三连杆，其中至少一个第三连杆包括位于至少一个第三连杆的衬底支撑区和第二可旋转连接之间的热扼流器，并且其中第一可旋转连接器或第二可旋转连接中的至少一个包括旋转热耦接件，旋转热耦接件具有相对于彼此可旋转的交错构件。
[0007]根据另一方面，可以提供一种示例方法，包括：提供末端执行器，末端执行器包括位于末端执行器具有衬底支撑区的第一末端和末端执行器的相对第二末端之间的热扼流器；在旋转连接处将末端执行器的第二末端连接到连杆，其中连杆和末端执行器被配置为至少部分地形成衬底输送机器人的臂，其中末端执行器的第二末端到连杆的连接包括提供旋转热耦接件，旋转热耦接件具有在旋转连接处相对于彼此可旋转的交错构件。
[0008]根据另一方面，可以提供一种示例方法，包括：移动机器人臂以将衬底定位在机器人臂的末端执行器上，其中机器人臂包括被连接到机器人驱动器的第一连杆、在第一可旋转连接处可旋转地被连接到第一连杆的第二连杆、以及在第二可旋转连接处可旋转地被连接到第二连杆的末端执行器，其中末端执行器包括位于末端执行器的衬底支撑区和第二可旋转连接之间的热扼流器，并且其中第二可旋转连接包括具有可相对于彼此旋转的交错构
件的旋转热耦接件；以及将热量从机器人臂传递到机器人驱动器之外，其中热扼流器协助减少从衬底支撑区传递到第二连杆和第二可旋转连接的热量，并且其中在第二可旋转连接处的旋转热耦接件协助增加从末端执行器到第二连杆的热传递。
附图说明
[0009]在以下结合附图进行的描述中解释上述方面和其他特征，其中：
[0010]图1A是包括本文描述的特征的机器人的俯视图；
[0011]图1B是图1A所示的机器人的侧视图；
[0012]图2是图1A
‑
图1B所示的机器人的示意截面视图；
[0013]图3A是示例旋转热耦接件的示意截面视图；
[0014]图3B是旋转热耦接件的另一示例的示意截面视图；
[0015]图3C是示出包括接头处的热扼流器、热管和热耦接件的示例实施例的示意图；
[0016]图4是图1A
‑
图2所示的示例机器人的简化热模型的框图；
[0017]图5是类似于传统机器人的图2的示意截面视图；
[0018]图6是图5所示的机器人的简化热模型的框图；
[0019]图7A
‑
图7B是热扼流器和热扼流器到机器人臂的第三连杆的连接的一个示例的示意截面视图和俯视图；
[0020]图8A
‑
图8B是热扼流器和热扼流器到机器人臂的第三连杆的连接的一个示例的示意截面视图和俯视图；
[0021]图9是热扼流器和热扼流器到机器人臂的第三连杆的连接的示意截面视图；
[0022]图10是热扼流器和热扼流器到机器人臂的第三连杆的连接的示意截面视图；
[0023]图11A
‑
图11B是热扼流器和热扼流器到机器人臂的第三连杆的连接的一个示例的俯视图和示意截面视图；
[0024]图12是示例方法的一些步骤的框图；
[0025]图13是示例方法的一些步骤的框图；
[0026]图14是示出具有臂连杆的多个热扼流器的示例结构的俯视平面图；
[0027]图15是示出具有臂连杆的多个热扼流器的示例结构的截面视图；
[0028]图16是示出臂连杆的框架构件内部的热扼流器的示例结构的截面视图；
[0029]图17是示出多个臂连杆中多个热扼流器的位置的俯视平面图。
具体实施方式
[0030]参考图1A
‑
图1B，示出了结合示例实施例的特征的装置10的俯视平面图和侧视图。尽管将参考附图中所示的示例实施例来描述特征，但是应当理解，特征可以在许多备选形式的实施例中实施。此外，可以使用任何适合的尺寸、形状或类型的元件或材料。
[0031]在图1A
‑
图1B的示例实施例中，该装置是包括驱动单元12、机器人臂14和控制系统16的机器人。控制系统16可以包括至少一个处理器18和包括软件或代码22的至少一个存储器20。控制系统被配置为控制驱动单元12(以及可能在臂14中)中的马达的运动，并且从诸如驱动单元12和/或臂14中和/或机器人10外部的传感器接收信号。图2中以图示形式提供了机器人10的示例实施例的简化横截面视图。
[0032]还参考图2，在所示实例中，驱动单元12包括可以被固定地附接到衬底传送室的壁54的外壳50，和位于外壳50内部的主轴组件52，主轴组件52被配置为至少部分地驱动机器人臂14。在该示例中，主轴组件52包括主轴外壳56、一个或多个马达和一个或多个驱动器轴。在图3所示的示例中，主轴组件52包括三个马达M
T1
、M
T2
、M
T3
和三个驱动器轴T1、T2、T3。然而，在备选示例中，可以提供多于或少于三个马达和轴。马达的定子可以被附接到主轴外壳56，并且马达的转子可以被附接到驱动器轴T1、T2、T3。在图2的示例中，三个轴T1、T2、T3是同轴驱动器轴。外轴为轴T1，外轴与内轴之间的轴为轴T2，内轴为轴T3。
[0033]在该示例中，驱动单元还包括垂直提升机构24。例如，垂直提升机构24可以本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种装置，包括：机器人驱动器；以及被连接到所述机器人驱动器的机器人臂，其中所述机器人臂包括被连接到所述机器人驱动器的第一连杆、在第一可旋转连接处可旋转地被连接到所述第一连杆的第二连杆、以及在第二可旋转连接处可旋转地被连接到所述第二连杆的末端执行器，其中所述末端执行器包括位于所述末端执行器的衬底支撑区与所述第二可旋转连接之间的热扼流器，并且其中所述第一可旋转连接器或所述第二可旋转连接中的至少一个包括旋转热耦接件，所述旋转热耦接件具有相对于彼此可旋转的交错构件。2.根据权利要求1所述的装置，其中所述机器人驱动器包括驱动器外壳和可移动地位于所述驱动器外壳中的主轴组件，其中所述主轴组件包括同轴驱动器轴和被连接到所述驱动器轴的马达。3.根据权利要求2所述的装置，其中所述装置包括位于所述同轴驱动器轴的外部驱动器轴处的第一旋转热耦接件。4.根据权利要求3所述的装置，其中所述旋转热耦接件包括位于所述第一可旋转连接处的第二旋转热耦接件和位于所述第二可旋转连接处的第三旋转耦接件。5.根据权利要求1所述的装置，其中所述机器人臂包括滑轮和条带，所述滑轮和所述条带被配置为在所述第一可旋转连接处和所述第二可旋转连接处旋转所述第二连杆和所述末端执行器。6.根据权利要求5所述的装置，其中所述第一可旋转连接器包括具有第一交错构件的第一旋转热耦接件，其中所述第一交错构件围绕所述第一可旋转连接器的旋转轴相对于彼此可旋转。7.根据权利要求6所述的装置，其中所述第二可旋转连接器包括具有第二交错构件的第二旋转热耦接件，其中所述第二交错构件围绕所述第二可旋转连接器的旋转轴相对于彼此可旋转。8.根据权利要求1所述的装置，其中所述热扼流器包括将所述末端执行器的第一部分连接到所述末端执行器的第二部分的耐火材料。9.根据权利要求8所述的装置，其中所述热扼流器将所述第一部分与所述第二部分隔开。10.根据权利要求8所述的装置，其中所述热扼流器包括与所述末端执行器的所述第一部分和/或第二部分的区段相交错的区段。11.根据权利要求8所述的装置，其中所述末端执行器包括包围所述热扼流器与所述末端执行器的所述第一部分和所述第二部分的连接的包封材料。12.根据权利要求1所述的装置，其中所述热扼流器包括不同材料层。13.根据权利要求1所述的装置，还包括至少一个热管，所述热管具有相对末端，所述相对末端被热连接到所述机器人臂的所述连杆中的至少一个连杆和/或被热连接到所述机器人臂的所述旋转热耦接件。1...

【专利技术属性】
技术研发人员：M，
申请(专利权)人：柿子技术公司，
类型：发明
国别省市：