一种抓舟机构及硅片加工系统技术方案

本实用新型专利技术涉及新能源技术领域，具体而言，涉及一种抓舟机构及硅片加工系统。所述抓舟机构包括连接件、第一抓手组件、第二抓手组件和驱动组件，第一抓手组件适于沿第一方向移动，第一抓手组件用于抓取石英舟；第二抓手组件适于沿第一方向移动，第二抓手组件用于抓取石英舟；驱动组件安装于连接件上，驱动组件分别与第一抓手组件和第二抓手组件驱动连接，驱动组件适于驱动第一抓手组件和第二抓手组件沿相反的方向移动。本实用新型专利技术通过驱动机构同时驱动第一抓手组件和第二抓手组件移动，以此改变第一抓手组件和第二抓手组件之间的间距，从而可以对前序工序中，处于不同位置的石英舟进行抓取，且每次可以抓取两个石英舟，极大地提高了效率。提高了效率。提高了效率。

【技术实现步骤摘要】
一种抓舟机构及硅片加工系统


[0001]本技术涉及新能源
，具体而言，涉及一种抓舟机构及硅片加工系统。

技术介绍

[0002]有技术中石英舟装卸机多为单工位抓舟，效率低下，且设备占地体积也较大，导致空间利用率低，如何使得载有硅片的石英舟进行有效快捷的运输，成为提高生产硅片效率的关键之一。其次就是抓舟机构无法做到兼容多种石英舟托。

技术实现思路

[0003]本技术解决的问题是现有抓舟机构效率慢导致的硅片整体生产效率过低。
[0004]一方面，为解决上述问题，本技术提供一种抓舟机构，所述抓舟机构包括连接件、第一抓手组件、第二抓手组件和驱动组件，所述第一抓手组件适于沿第一方向移动，所述第一抓手组件用于抓取石英舟；所述第二抓手组件适于沿所述第一方向移动，所述第二抓手组件用于抓取石英舟；所述驱动组件安装于所述连接件上，所述驱动组件分别与所述第一抓手组件和所述第二抓手组件驱动连接，所述驱动组件适于驱动所述第一抓手组件和所述第二抓手组件沿相反的方向移动。
[0005]可选地，所述驱动组件包括第一驱动机构、丝杆、第一丝杆螺母和第二丝杆螺母，所述第一驱动机构与所述丝杆驱动连接，所述第一丝杆螺母和所述第二丝杆螺母分别与所述丝杆转动连接，所述第一抓手组件与所述第一丝杆螺母连接，所述第二抓手组件与所述第二丝杆螺母连接，所述第一驱动机构适于驱动所述丝杆转动以带动所述第一丝杆螺母和所述第二丝杆螺母沿所述丝杆的轴向方向移动。
[0006]可选地，所述丝杆的周向表面设置有第一外螺纹和第二外螺纹，所述第一外螺纹与所述第二外螺纹的旋向相反，所述第一丝杆螺母上设置有第一内螺纹，所述第二丝杆螺母上设置有第二内螺纹，所述第一内螺纹与所述第二内螺纹的旋向相同。
[0007]可选地，所述丝杆的周向表面设置有第三外螺纹，所述第一丝杆螺母上设置有第三内螺纹，所述第二丝杆螺母上设置有第四内螺纹，所述第三内螺纹与所述第四内螺纹的旋向相反。
[0008]可选地，所述第一抓手组件包括第一夹爪和第二夹爪，所述第一夹爪和所述第二夹爪适于沿第二方向移动，且所述第一夹爪和所述第二夹爪的运动方向相反。
[0009]可选地，所述第一夹爪包括第一夹持部，所述第二夹爪包括第二夹持部，所述第一夹持部与所述第二夹持部适于与所述石英舟的表面相贴合。
[0010]可选地，所述第一夹爪还包括第一限位凸起结构，所述第二夹爪还包括第二限位凸起结构，所述第一限位凸起结构和所述第二限位凸起结构适于所述石英舟沿第三方向的限位。
[0011]另一方面，本技术实施例还提供一种动力硅片加工系统，包括石英舟、加热装置和如上所述的抓舟机构，所述抓舟机构适于将所述石英舟放置进所述加热装置中，所述
加热装置用于对所述石英舟中的硅片进行烘烤。
[0012]可选地，所述石英舟包括顶板、底板和支撑柱，所述支撑柱位于所述顶板和所述底板之间，且所述支撑柱分别与所述顶板和所述底板连接，所述支撑柱上开设有凹槽结构，所述硅片适于卡接在所述凹槽结构中。
[0013]可选地，所述石英舟还包括第一限位件和第二限位件，所述第一限位件和所述第二限位件分别与所述支撑柱连接，且所述支撑柱位于所述第一限位件和所述第二限位件之间，所述第一限位件适于与第一限位凸起结构止挡配合，所述第二限位件适于与第二限位凸起结构止挡配合。
[0014]相对于现有技术，本技术实施例提供的抓舟机构所具有的有益效果是：
[0015]通过驱动机构同时驱动第一抓手组件和第二抓手组件移动，以此改变第一抓手组件和第二抓手组件之间的间距，从而可以对前序工序中，处于不同位置的石英舟进行抓取，且每次可以抓取两个石英舟，极大地提高了效率。
附图说明
[0016]图1为本技术的抓舟机构的一实施例结构示意图；
[0017]图2为本技术的抓舟机构的另一实施例结构示意图；
[0018]图3为本技术的抓舟机构的另一实施例结构示意图。
[0019]附图标记说明：
[0020]1‑
连接件；2
‑
第一抓手组件；21
‑
第一夹爪；211
‑
第一夹持部；212
‑
第一限位凸起结构；22
‑
第二夹爪；221
‑
第二夹持部；222
‑
第二限位凸起结构；3
‑
第二抓手组件；31
‑
第三夹爪；32
‑
第四夹爪；4
‑
驱动组件；41
‑
第一驱动机构；42
‑
丝杆；43
‑
第一丝杆螺母；44
‑
第二丝杆螺母；5
‑
石英舟；51
‑
顶板；52
‑
底板；53
‑
支撑柱；531
‑
凹槽结构；54
‑
第一限位件；55
‑
第二限位件。
具体实施方式
[0021]术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或转动连接；可以是机械连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。在本技术的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。
[0022]本技术的实施例的附图中设置有坐标系XYZ，其中X轴的正向代表右方，X轴的反向代表左方，Z轴的正向代表上方，Z轴的反向代表下方，Y轴的正向代表前方，Y轴的反方向代表后方，且术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”和“右”等指示的方向或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
[0023]术语“第一”、“第二”和“第三”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”和“第三”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。
[0024]为使本技术的上述目的、特征和优点能够更为明显易懂，下面结合附图对本
技术的具体实施例做详细的说明。
[0025]如图1所示，本技术的一实施例提供一种抓舟机构。所述抓舟机构包括连接件1、第一抓手组件2、第二抓手组件3和驱动组件4，所述第一抓手组件2适于沿第一方向移动，所述第一抓手组件2用于抓取石英舟5；所述第二抓手组件3适于沿所述第一方向移动，所述第二抓手组件3用于抓取石英舟5；所述驱动组件4安装于所述连接件1上，所述驱动组件4分别与所述第一抓手组件2和所述第二抓手组件3驱动连接，所述驱动组件4适于驱动所述第一抓手组件2和所述第二抓手组件3沿相反的方向移动。
[0026]连接件1可本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种抓舟机构，其特征在于，包括：连接件；第一抓手组件，所述第一抓手组件适于沿第一方向移动，所述第一抓手组件用于抓取石英舟；第二抓手组件，所述第二抓手组件适于沿所述第一方向移动，所述第二抓手组件用于抓取石英舟；驱动组件，所述驱动组件安装于所述连接件上，所述驱动组件分别与所述第一抓手组件和所述第二抓手组件驱动连接，所述驱动组件适于驱动所述第一抓手组件和所述第二抓手组件沿相反的方向移动。2.根据权利要求1所述的抓舟机构，其特征在于，所述驱动组件包括第一驱动机构、丝杆、第一丝杆螺母和第二丝杆螺母，所述第一驱动机构与所述丝杆驱动连接，所述第一丝杆螺母和所述第二丝杆螺母分别与所述丝杆转动连接，所述第一抓手组件与所述第一丝杆螺母连接，所述第二抓手组件与所述第二丝杆螺母连接，所述第一驱动机构适于驱动所述丝杆转动以带动所述第一丝杆螺母和所述第二丝杆螺母沿所述丝杆的轴向方向移动。3.根据权利要求2所述的抓舟机构，其特征在于，所述丝杆的周向表面设置有第一外螺纹和第二外螺纹，所述第一外螺纹与所述第二外螺纹的旋向相反，所述第一丝杆螺母上设置有第一内螺纹，所述第二丝杆螺母上设置有第二内螺纹，所述第一内螺纹与所述第二内螺纹的旋向相同。4.根据权利要求2所述的抓舟机构，其特征在于，所述丝杆的周向表面设置有第三外螺纹，所述第一丝杆螺母上设置有第三内螺纹，所述第二丝杆螺母上设置有第四内螺纹，所述第三内螺纹与所述第四内螺纹的旋向相反。5.根据权利要求1所述的抓舟机构，其...

【专利技术属性】
技术研发人员：钟志安，林博辉，周辉，丁岩，蒋文彬，高云峰，
申请(专利权)人：大族激光科技产业集团股份有限公司，
类型：新型
国别省市：