下载一种抓舟机构及硅片加工系统的技术资料

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本实用新型涉及新能源技术领域,具体而言,涉及一种抓舟机构及硅片加工系统。所述抓舟机构包括连接件、第一抓手组件、第二抓手组件和驱动组件,第一抓手组件适于沿第一方向移动,第一抓手组件用于抓取石英舟;第二抓手组件适于沿第一方向移动,第二抓手组件用...
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