【技术实现步骤摘要】
一种硅片吊装机构
[0001]本技术属于硅片生产设备
,涉及硅片吊装机构。
技术介绍
[0002]在硅片的生产流程中,需要将切割后的硅片在各个工序之间进行移转。
[0003]而现有技术中,通常通过人工来搬运物料箱,人工搬运存在工作效率低,硅片在物料箱内易发生倾斜,多片硅片之间相互倾斜挤压,导致硅片碎裂或隐裂,严重损坏硅片的质量。
技术实现思路
[0004]本技术的目的在于提供一种硅片吊装机构,能解决上述的问题,且与承载器配合可以保证输送稳定。
[0005]按照本技术提供的技术方案:一种硅片吊装机构,包括横梁,其特征在于,吊装横梁的两端顶部分别设置有吊装水平滑轨,吊装水平滑轨上可滑动地设置有卡爪横移滑板,卡爪横移滑板的一侧水平设置有吊装齿条,吊装横梁上安装卡爪横移电机,卡爪横移电机的工作轴上安装有卡爪横移齿轮,卡爪横移齿轮与吊装齿条啮合,卡爪横移滑板的一侧竖直设置有卡爪,卡爪位于卡爪横移滑板下方,卡爪下部为水平伸出卡板,吊装横梁上设置硅片压紧机构。
[0006]作为本技术的进一步改 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种硅片吊装机构,包括吊装横梁(1.1),其特征在于,吊装横梁(1.1)的两端顶部分别设置有吊装水平滑轨(1.2),吊装水平滑轨(1.2)上可滑动地设置有卡爪横移滑板(1.3),卡爪横移滑板(1.3)的一侧水平设置有吊装齿条(1.4),吊装横梁(1.1)上安装卡爪横移电机(1.6),卡爪横移电机(1.6)的工作轴上安装有卡爪横移齿轮(1.7),卡爪横移齿轮(1.7)与吊装齿条(1.4)啮合,卡爪横移滑板(1.3)的一侧竖直设置有卡爪(1.8),卡爪(1.8)位于卡爪横移滑板(1.3)下方,卡爪(1.8)下部为水平伸出卡板(1.81),吊装横梁(1.1)上设置硅片压紧机构。2.如权利要求1所述的硅片吊装机构,其特征在于,吊装横梁(1.1)上安装卡爪横移电机安装架(1.5)。3.如权利要求1所述的硅片吊装机构,其特征在于,硅片压紧机构包括压紧安装板(1.9),数个压紧安装板(1.9)均布在吊装横梁(1.1)两侧,压紧安装板(1.9)中竖直安装压紧气缸(1.10),压紧气缸(1.10)活塞端竖直向下并连接压紧板(1.12);压紧气缸(1.10)缸体上开设伸出输入口和缩回输入口,缩回输入口连通大气,伸出输入口连接气源。4.如权利要求3所述的硅片吊装机构,其特征...
【专利技术属性】
技术研发人员:顾韻,
申请(专利权)人:无锡市南亚科技有限公司,
类型:新型
国别省市:
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