下载一种硅片吊装机构的技术资料

文档序号:37052442

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本实用新型涉及一种硅片吊装机构,包括横梁,其特征在于,吊装横梁的两端顶部分别设置有吊装水平滑轨,吊装水平滑轨上可滑动地设置有卡爪横移滑板,卡爪横移滑板的一侧水平设置有吊装齿条,吊装横梁上安装卡爪横移电机,卡爪横移电机的工作轴上安装有卡爪横移...
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