【技术实现步骤摘要】
具有从动末端执行器运动的机器人
[0001]本申请是申请日为2016年3月11日、申请号为201680015058.0、专利技术名称为“具有从动末端执行器运动的机器人”的申请的分案申请。
[0002]示例性和非限制性实施例大体涉及具有末端执行器的机器人,并且更特别地涉及具有从动末端执行器运动的机器人。
技术介绍
[0003]用于诸如与半导体、LED、太阳能、MEMS或其他装置的制造相关联等应用的真空、大气和受控环境处理利用机器人技术和其他形式的自动化以将基底和与基底相关联的承载件运送到存储地点、处理地点或其他地点和从存储地点、处理地点或其他地点运送基底和与基底相关联的承载件。基底的这种运送可以是用运送一个或多个基底的单个臂或者每个臂运送一个或多个基底的多个臂来移动单独的基底、成组的基底。大部分的例如与半导体制造相关联的制造是在其中占地和体积非常珍贵的清洁或真空环境中完成的。此外,大部分的自动化运送是在运送次数的最小化造成循环时间的减小和相关联的设备的增加的吞吐量和利用率的情况下进行的。
技术实现思路
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【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种设备,包括:驱动单元,具有可围绕第一转动轴线转动的第一驱动轴和可围绕第二转动轴线转动的第二驱动轴,所述第二驱动轴与所述第一驱动轴同轴且部分在所述第一驱动轴内并且可在所述第一驱动轴内轴向转动;机器手臂,包括,上臂,在所述第一驱动轴处连接至所述驱动单元,联接至所述上臂的前臂,所述前臂在第一旋转关节处联接至所述上臂并且可围绕所述第一旋转关节转动,所述第一旋转关节可由联接至所述第二驱动轴的第一带布置致动,和联接至所述前臂的末端执行器,所述末端执行器在第二旋转关节处联接至所述前臂并且可围绕所述第二旋转关节转动,所述第二旋转关节可由联接至所述第一旋转关节的第二带布置致动,其中所述第二带布置被配置成提供可变传动比。2.根据权利要求1所述的设备,其中所述第一带布置包括附接至所述第二驱动轴的肩带轮、联接至所述前臂的第一肘带轮和布置在所述肩带轮与所述第一肘带轮之间以在所述肩带轮与所述第一肘带轮之间传递运动的带、皮带或线缆。3.根据权利要求1或2所述的设备,其中所述第二带布置包括联接至所述上臂的第二肘带轮、联接至所述末端执行器的腕带轮和布置在所述第二肘带轮与所述腕带轮之间以在所述第二肘带轮与所述腕带轮之间传递运动的带、皮带或线缆。4.根据权利要求3所述的设备,其中所述第二肘带轮和所述腕带轮中的至少一个具有非圆形轮廓以提供所述可变传动比。5.根据权利要求1所述的设备,其中所述可变传动比被选择成使得所述末端执行器的定向根据所述上臂和前臂的相对位置以预定方式改变。6.根据权利要求1所述的设备,其中所述第一驱动轴和所述第二驱动轴中的一个或多个可轴向移动以便于所述机器手臂的竖直运动。7.一种设备,包括:驱动单元,具有可围绕第一转动轴线转动的第一驱动轴、可围绕第二转动轴线转动的第二驱动轴和可围绕第三转动轴线转动的第三驱动轴,所述第二驱动轴与所述第一驱动轴同轴且部分在所述第一驱动轴内并且可在所述第一驱动轴内轴向转动,并且所述第三驱动轴与所述第二驱动轴同轴且部分在所述第二驱动轴内并且可在所述第二驱动轴内...
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