玻璃板的制造方法、及玻璃板的制造装置制造方法及图纸

技术编号:12175722 阅读:188 留言:0更新日期:2015-10-08 13:22
本发明专利技术是玻璃板的制造方法、及玻璃板的制造装置。使用成形体成形熔融玻璃时,使熔融玻璃不产生失透及不同性质的熔融玻璃,制造高品质的玻璃板。本发明专利技术是使熔融玻璃流至成形体来制造玻璃板的玻璃板的制造方法,包括:熔解步骤,熔解玻璃原料产生熔融玻璃;供给步骤,由输送管向成形体供给熔融玻璃;成形步骤,使熔融玻璃流至成形体的槽部且利用下拉法从熔融玻璃成形玻璃板;在供给步骤中,从输送管向成形体的槽部供给熔融玻璃时,指定下游的静压高于上游的反压力梯度区间,在反压力梯度区间的上游侧端即剥离点到反压力梯度区间的下游侧端即再附着点的范围中,加热熔融玻璃,控制剥离点的静压与再附着点的静压的差在基准值以下。

【技术实现步骤摘要】
玻璃板的制造方法、及玻璃板的制造装置
本专利技术涉及一种玻璃板的制造方法、及玻璃板的制造装置。
技术介绍
以往,在制造玻璃板时,进行使用溢流下拉(overflowdowndraw)法成形玻璃板的操作。在溢流下拉法中,将玻璃原料在熔解槽中熔融制作熔融玻璃,对该熔融玻璃实施澄清处理、均质化处理之后,熔融玻璃通过输送管被供给至长条状的成形体。在长条状的成形体中,在成形体的上部设置有沿长度方向延伸的槽部,对该槽部的一端供给熔融玻璃。关于该槽部,从熔融玻璃的供给侧越是向长度方向的相反侧前进,槽的深度变得越浅,所以熔融玻璃从成形体的槽部溢出,沿成形体两侧的侧壁向下方流下。在成形体两侧的侧壁向下方流下的熔融玻璃在成形体的下端合流,贴合成1个,而成为玻璃板(玻璃片)。但是,将熔融玻璃向成形体供给的输送管的流路截面形状一般来说为圆形状,成形体的槽部的流路截面形状为矩形或多边形形状。使输送管的流路截面形状为圆形状是为了即使向输送管内填充高温的熔融玻璃,也不存在弯曲的部分,优选为可以维持强度。另一方面,使成形体槽部的流路截面形状为矩形或多边形形状是为了提高槽部加工的容易性。例如,在专利文献1的图1、图3中,揭示有具有流路截面形状为圆形状的输送管、与流路截面形状为矩形形状的槽部的成形体。此时,从圆形形状的输送管,向成形体的槽部供给熔融玻璃时,熔融玻璃的流路截面有阶差而急剧扩大。[现有技术文献][专利文献][专利文献1]日本专利特表2008-501609号公报
技术实现思路
[专利技术要解决的问题]如此,一般来说,将熔融玻璃向成形体供给的输送管的流路截面形状为圆形状,成形体的槽部的流路截面形状为矩形或多边形形状,所以当从输送管向成形体的槽部供给熔融玻璃时,熔融玻璃的流路截面有阶差而急剧扩大。因此,存在由熔融玻璃流路的急剧扩大,造成在成形体的槽部内,熔融玻璃的流动容易局部地停留(滞留)的情况。熔融玻璃流动的停留容易造成熔融玻璃的失透。并且,熔融玻璃流动的停留容易造成产生不同性质的质地(不同性质的熔融玻璃),也容易导致产生条纹。如果更详细来说,那么熔融玻璃的流动停留后,与其他部分的熔融玻璃相比,与成形体接触的时间变长,所以容易从成形体的表面熔出成形体的成分,而导致熔融玻璃的玻璃组成局部发生变化。并且,容易受到成形体的温度的影响,而使熔融玻璃的粘度局部发生变化。也就是说,熔融玻璃中容易产生不同性质的质地(不同性质的熔融玻璃),其结果为最终产品的玻璃板中容易产生条纹,并且玻璃板的厚度容易变得不均匀。并且,关于平板显示器用玻璃板,是在玻璃板上形成TFT(ThinFilmTransistor,薄膜晶体管)等半导体元件。近年来,为了实现显示器显示的进一步的高清化,而要求代替以往所使用的a-Si(amorphoussilicon,非晶硅)·TFT,在玻璃板上形成p-Si(低温多晶硅)·TFT或氧化物半导体。在p-Si·TFT或氧化物半导体的形成步骤中,存在比a-Si·TFT的形成步骤更高温的热处理步骤。因此,要求供形成p-Si(低温多晶硅)TFT或氧化物半导体的玻璃板的热收缩率小。为了缩小热收缩率,而优选为提高玻璃的应变点,但应变点高的玻璃,有液相温度变高的倾向,且有液相粘度(液相温度中的粘度)变低的倾向。因此,也存在玻璃板(玻璃片)的成形所需的熔融玻璃的粘度(成形粘度)与液相粘度的差变小,或成形粘度大于液相粘度的情况,其结果为玻璃容易失透。因此,当利用p-Si(低温多晶硅)·TFT形成用或氧化物半导体形成用等特别是液相粘度低的玻璃制造玻璃片时,必须极力避免以下情况:在有从成形体的表面熔出成形体的成分、液相粘度上升(产生失透)的危险的这样的成形体的槽部内,熔融玻璃的一部分的流动容易停留。因此,为了解决以往的问题点,本专利技术的目的在于提供一种玻璃板的制造方法及玻璃板的制造装置,所述玻璃板的制造方法在使用成形体成形熔融玻璃时,使通过成形体的槽部的熔融玻璃的流动难以停留,而使熔融玻璃不产生失透及不同性质的熔融玻璃,从而可以制造无条纹、均匀板厚的高品质的玻璃板。[解决问题的技术手段]本专利技术的一态样的特征在于是使熔融玻璃流至成形体来制造玻璃板的玻璃板制造方法,且包括:熔解步骤,将玻璃原料熔解而产生熔融玻璃;供给步骤,通过输送管将所述熔融玻璃向所述成形体供给;及成形步骤,一面使所述熔融玻璃流至所述成形体的槽部一面利用下拉法从所述熔融玻璃成形玻璃板;且在所述供给步骤中,当从所述输送管将所述熔融玻璃向所述成形体的槽部供给时,指定下游的静压高于上游的反压力梯度区间,在从所述反压力梯度区间的上游侧端即剥离点到所述反压力梯度区间的下游侧端即再附着点为止的范围中,加热所述熔融玻璃,将所述剥离点的静压与所述再附着点的静压的差控制在基准值以下。优选为所述基准值为500Pa。优选为使从所述剥离点到所述再附着点的熔融玻璃的粘性为5450Pa·s以下。优选为使从所述剥离点到所述再附着点的距离为100mm以下。本专利技术的另一态样的特征在于是使熔融玻璃流至成形体来制造玻璃板的玻璃板制造装置,且包括:熔解装置,将玻璃原料熔解而产生熔融玻璃;输送管,使所述熔融玻璃通过而向所述成形体供给;加热装置,加热所述输送管,而对流经所述输送管的熔融玻璃进行加热;测量装置,测量所述输送管内的压力;及成形装置,一面使所述熔融玻璃流至所述成形体的槽部一面利用下拉法从所述熔融玻璃成形玻璃板;且所述测量装置在所述输送管中指定下游的静压高于上游的反压力梯度区间,所述加热装置在从所述反压力梯度区间的上游侧端即剥离点到所述反压力梯度区间的下游侧端即再附着点为止的范围中,加热所述熔融玻璃,将所述反压力梯度控制在基准值以下。[专利技术的效果]根据本专利技术,在使用成形体成形熔融玻璃时,使通过成形体的槽部的熔融玻璃的流动难以停留,而使熔融玻璃不产生失透及不同性质的熔融玻璃,从而可以制造无条纹、均匀板厚的高品质的玻璃板。附图说明图1是表示本实施方式的玻璃板的制造方法的步骤的一例的图。图2是模式地表示本实施方式中的进行熔解步骤~切割步骤的装置的一例的图。图3(a)是表示本实施方式中的成形体与玻璃供给管的连接部分的分解立体图,(b)是表示本实施方式的管扩张部与槽部连接时的连接区域与槽部之间的相对位置的图。图4是对从上方观察本实施方式中的玻璃供给管及成形体的连接位置周边时的熔融玻璃的流动进行说明的图。图5是对从侧面观察本实施方式中的玻璃供给管及成形体的连接位置周边时的熔融玻璃的流动进行说明的图。图6是模式地表示熔融玻璃的流线的图。图7(a)、(b)是对成形体的槽部与玻璃供给管的以往的连接状态进行说明的图。具体实施方式以下,对本实施方式的玻璃板的制造方法、及玻璃板的制造装置进行说明。图1是表示本实施方式的玻璃板的制造方法的步骤的一例的图。(玻璃板的制造方法的整体概要)玻璃板的制造方法主要具有熔解步骤(ST1)、澄清步骤(ST2)、均质化步骤(ST3)、供给步骤(ST4)、成形步骤(ST5)、缓冷步骤(ST6)、及切割步骤(ST7)。此外,还具有研削步骤、研磨步骤、清洗步骤、检查步骤、及捆包步骤等,将捆包步骤中积层的多片玻璃板搬送至客户方的业者。熔解步骤(ST1)是在熔解槽中进行。在熔解槽中,通过将玻璃原料向熔解槽内所贮存的熔融玻璃的液面本文档来自技高网...
玻璃板的制造方法、及玻璃板的制造装置

【技术保护点】
一种玻璃板的制造方法,其特征在于使熔融玻璃流至成形体来制造玻璃板,且包括:熔解步骤,将玻璃原料熔解而产生熔融玻璃;供给步骤,通过输送管将所述熔融玻璃向所述成形体供给;及成形步骤,其一面使所述熔融玻璃流至所述成形体的槽部一面利用下拉法从所述熔融玻璃成形所述玻璃板;且在所述供给步骤中,当从所述输送管将所述熔融玻璃向所述成形体的槽部供给时,指定下游的静压高于上游的所述熔融玻璃的反压力梯度区间,在从所述反压力梯度区间的上游侧端即剥离点到所述反压力梯度区间的下游侧端即再附着点为止的范围中,加热所述熔融玻璃,将所述剥离点的静压与所述再附着点的静压的差控制在基准值以下。

【技术特征摘要】
2014.03.29 JP 2014-070650;2015.03.26 JP 2015-064161.一种玻璃板的制造方法,其特征在于使熔融玻璃流至成形体来制造玻璃板,且包括:熔解步骤,将玻璃原料熔解而产生熔融玻璃;供给步骤,通过输送管将所述熔融玻璃向所述成形体供给;及成形步骤,其一面使所述熔融玻璃流至所述成形体的槽部一面利用下拉法从所述熔融玻璃成形所述玻璃板;且在所述供给步骤中,当从所述输送管将所述熔融玻璃向所述成形体的槽部供给时,指定下游的静压高于上游的所述熔融玻璃的反压力梯度区间,在从所述反压力梯度区间的上游侧端即剥离点到所述反压力梯度区间的下游侧端即再附着点为止的范围中,加热所述熔融玻璃,将所述剥离点的静压与所述再附着点的静压的差控制在基准值500Pa以下。2.根据权利要求1所述的玻璃...

【专利技术属性】
技术研发人员:铃木谅
申请(专利权)人:安瀚视特控股株式会社
类型:发明
国别省市:日本;JP

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