玻璃基板的制造方法、及玻璃基板的制造装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种玻璃基板的制造方法、及玻璃基板的制造装置。本发明专利技术提供一种能够通过控制玻璃基板的两侧部与中央区域的粘度来抑制玻璃基板的应变的玻璃基板的制造方法等。本发明专利技术的玻璃基板的制造方法是利用下拉法使熔融玻璃从成形体溢流而成形为薄片玻璃，一边沿流下方向拉长薄片玻璃一边进行冷却，由此制造玻璃基板；且在薄片玻璃从成形体离开之后处在薄片玻璃的温度从高于软化点的温度到变为缓冷点附近的温度区域时，一边朝向薄片玻璃的宽度方向的侧部施加张力，一边进行冷却以使侧部的粘度与由侧部夹着的中央区域的粘度的粘度差为标准值以下。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种玻璃基板的制造方法、及玻璃基板的制造装置。
技术介绍
以往，一直使用利用下拉法制造玻璃基板的方法。下拉法是在使熔融玻璃流入到 成形体之后，使该熔融玻璃从成形体溢流。之后熔融玻璃沿着成形体流下。熔融玻璃在成 形体的下端部合流，之后，离开成形体而成为片状的玻璃（薄片玻璃）。薄片玻璃在流下的 过程中被炉内的氛围冷却。之后，薄片玻璃被切断成所期望的大小，进而被加工而成为玻璃 基板。例如，专利文献1中公开了如下技术：为了制造翘曲品质良好的玻璃基板，而在薄片 玻璃的宽度方向的两侧部以对向的方式设置冷却装置，且以该两侧部在达到缓冷点附近的 温度区域内成为规定粘度的方式进行控制。日本专利5154713号公报
技术实现思路
然而，如果将薄片玻璃的宽度方向的两侧部冷却，那么存在如下情况：两侧部的粘 度与由两侧部夹着的中央区域的粘度的差变大，而在两侧部与中央区域之间产生应力，从 而在两侧部与中央区域的交界处产生翘曲、应变。 因此，本专利技术的目的在于提供一种能够通过控制玻璃基板的两侧部与中央区域的 粘度来抑制玻璃基板的应变的玻璃基板的制造方法及玻璃基板的制造装置。 本专利技术的一形态是一种玻璃基板的制造方法，本专利技术的玻璃基板的制造方法是利 用下拉法制造玻璃基板的方法。下拉法是使熔融玻璃从成形体溢流而成形为薄片玻璃，且 一边沿流下方向拉长薄片玻璃一边进行冷却。玻璃基板的制造方法是在薄片玻璃离开成形 体之后处在薄片玻璃的温度从高于软化点的温度到变为缓冷点附近的温度区域时，一边朝 向薄片玻璃的侧部施加张力，一边进行冷却以使所述侧部的粘度与由所述侧部夹着的中央 区域的粘度的粘度差为标准值以下。所谓薄片玻璃的侧部，是相比中央区域具有厚度且由 球根状的形状构成的区域，例如指与薄片玻璃的宽度方向的边缘相距200mm以内的范围。 薄片玻璃的中央区域是指由侧部夹着的范围。 该玻璃基板的制造方法中，薄片玻璃当处在离开成形体后的薄片玻璃的温度从高 于软化点的温度到变为缓冷点附近的温度区域时，粘度较低，具有充分的流动性，所以容易 收缩。此外，所谓"处在薄片玻璃的温度从高于软化点的温度到变为缓冷点附近的温度区 域"，是指薄片玻璃的至少一部分处在该温度区域内。另外，成形体正下方的薄片玻璃的粘 度优选为10 5_7~10 7_5P〇ise。缓冷点是指粘度为IO13Poise (IPoise = IdPa ? sec)的玻璃 的温度。软化点是指粘度为IO7 5Poise的玻璃的温度。另外，缓冷点附近是指包含缓冷点 在内的与缓冷点相差±20°C的范围内。 具体来说，通过将从成形体离开后的薄片玻璃的侧部的粘度维持在109_°~ IO 145Poise的范围内将薄片玻璃冷却，而抑制薄片玻璃沿宽度方向的收缩。在薄片玻璃的 侧部的粘度小于IO 9tlPoise的情况下，薄片玻璃容易变形，因此，容易引起薄片玻璃的宽度 方向的收缩。另外，在薄片玻璃的侧部的粘度超过1〇 14_5Poise的情况下，薄片玻璃无法完全 承受产生于薄片玻璃内部的应力，而有可能会破裂。因此，优选为将薄片玻璃的侧部的粘度 维持在10 9_°~IO145Poise的范围内进行冷却。另外，更优选为将薄片玻璃的侧部的粘度维 持在101°°~1014_5Poise的范围内进行冷却。 而且，通过将从成形体离开后的薄片玻璃侧部的粘度维持在109_°~10 14 5Poise的 范围内将薄片玻璃冷却，而抑制薄片玻璃沿宽度方向的收缩，所以成为朝向薄片玻璃的两 侧部在薄片玻璃的宽度方向上施加了张力的状态。此外，优选为利用在内部流通着空气的 冷却辊保持薄片玻璃。由此，更有效地抑制薄片玻璃沿宽度方向的收缩。 另外，优选为以薄片玻璃的侧部的粘度沿着流下方向变高的方式进行冷却。由此， 薄片玻璃的侧部被分阶段地或连续地冷却，因此，防止薄片玻璃被一次性过度地冷却而破 裂。 另外，通过将从成形体离开后的薄片玻璃的中央区域的粘度维持在10 5_7~ IO967Poise的范围（如果以温度来说，那么为例如850°C~1120°C)内进行冷却，而降低 侧部与中央区域的粘度差（温度差），从而抑制侧部与中央区域的交界处产生的翘曲、应变 等。在薄片玻璃的中央区域的粘度小于1〇 5_7Poise的情况下，侧部与中央区域的粘度差（温 度差）较大，所以容易产生应力。另外，在薄片玻璃的中央区域的粘度超过IO 967Poise的情 况下，薄片玻璃无法完全承受产生于薄片玻璃内部的应力，而有可能会破裂。因此，优选为 将薄片玻璃的中央区域的粘度维持在1〇 5 7~IO 967Poise的范围内进行冷却。另外，更优选 为将薄片玻璃的中央区域的粘度维持为1〇7 5~IO 967Poise的范围内进行冷却。 刚从成形体离开后的薄片玻璃处于最容易收缩的状态，因此，通过进行急冷，可更 有效地抑制宽度方向的收缩。进而，通过将从成形体离开后的薄片玻璃的侧部的粘度与中 央区域的粘度的粘度差维持在标准值以下进行冷却，而抑制产生在侧部与中央区域的交界 线附近的应力，因此，更有效地抑制产生于薄片玻璃的翘曲、应变等。此时，优选为侧部的粘 度处在10 9_°~IO14 5Poise的第一范围内，中央区域的粘度处在IO57~IO9 67Poise的第二 范围内，且所述标准值为侧部的所述第一粘度与中央区域的所述第二粘度的粘度差。因此， 标准值小于 109_°(N1〇9_° - 105 7)P〇ise。另外，标准值成为小于 1〇14 5(N1〇14 5 - 1〇 9 67) Poise到OPoise的范围。 另外，优选为成形体正下方的薄片玻璃的粘度为IO5 7~IO7 5Poise,以薄片玻璃的 侧部的粘度为1〇9_°~IO1ci5Poise的范围内的方式将薄片玻璃急冷，当将薄片玻璃急冷后， 使冷却能力比急冷时下降而将侧部冷却，由此，将侧部的粘度维持在10 1° 5~10 14_5Poise的 范围内。 将成形体正下方的具有IO5 7~IO75Poise的粘度的薄片玻璃以侧部的粘度为 1〇9_°~10 1(15Poise的范围内的方式进行急冷，由此，可防止薄片玻璃的破裂，并且抑制薄片 玻璃沿宽度方向的收缩。另外，在薄片玻璃的急冷后，以侧部的粘度为10 1°5~10 145Poise 的范围内的方式进一步冷却薄片玻璃，由此，可防止薄片玻璃的破裂，并且继续抑制薄片玻 璃沿宽度方向的收缩。 此外，对于成形体正下方的具有IO5 7~IO75Poise的粘度的薄片玻璃，更优选为 以侧部的粘度为1〇9 5~10 1(15Poise的范围内的方式进行急冷，进而优选为以侧部的粘度为 101° °~IO1tl 5Poise的范围内的方式进行急冷。另外，在薄片玻璃的急冷后，更优选为将薄 片玻璃冷却到侧部的粘度为1011°~IO145Poise的范围内，进而优选为将薄片玻璃冷却到 侧部的粘度为1〇 115~10 14_5Poise的范围内。 另外，对于成形体正下方的具有IO5 7~IO7 5Poise的粘度的薄片玻璃，更优选为 以中央区域的粘度为1〇5 7~10 7 5Poise的范围内的方式进行急冷，进而优选为以中央区域 的粘度为1〇6 5~10 7 5Poise的范围本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种玻璃基板的制造方法，其特征在于：利用下拉法使熔融玻璃从成形体溢流而成形为薄片玻璃，一边沿流下方向拉长所述薄片玻璃一边进行冷却，由此，制造玻璃基板；且在所述薄片玻璃从所述成形体离开之后处在所述薄片玻璃的温度从高于软化点的温度到变为缓冷点附近的温度区域时，一边朝向所述薄片玻璃的宽度方向的侧部施加张力，一边进行冷却以使所述侧部的粘度与由所述侧部夹着的中央区域的粘度的粘度差为标准值以下。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：中嶋公彦，
申请(专利权)人：安瀚视特控股株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP