一种磨片机太阳轮高度专用调整装置，涉及半导体硅片生产技术领域，由主轴、太阳轮、太阳轮基座、带槽端盖、固定端盖和防尘盖构成，在带槽端盖下方的主轴上设有太阳轮基座，太阳轮基座上设有太阳轮；本实用新型专利技术实用性强，使用和维修起来比较方便，不但很好的调整了太阳轮的高度，而且减少了维修的时间，降低了维修成本，同时延长了太阳轮的使用寿命，进一步提高了企业的效益。
【技术实现步骤摘要】
【专利说明】
本技术涉及半导体硅片生产
，尤其是涉及一种磨片机太阳轮高度专用调整装置。【
技术介绍
】公知的，半导体硅棒经过线切割机切割后，需对硅片进行研磨，这样才能达到去除切割线纹以此来改善硅片平整度的目的，硅片研磨其基本原理就是硅晶片通过行星游轮片的带动在上下磨盘间绕磨盘中心轴做自转和公转运动，高硬度的研磨粉和助磨剂相配在磨盘可控的压力下对硅晶片双面进行磨削，去除掉前道工序造成的损伤，形成高精度的几何表面和均一深度的损伤层，太阳轮、行星游轮、外齿圈发生相对运动，由于行星游轮很薄非常容易将太阳轮及外齿圈磨损，一旦经磨损太阳轮就会出现凹槽，从而就会夹住行星游轮造成硅片的损坏；另外，由于太阳轮结构特殊，现有的结构为:太阳轮上面是一个螺母压盖，螺母压盖上面是一个带槽端盖，带槽端盖上面一个固定端盖，固定端盖上面是个防尘盖，因此这样的结构要调整太阳轮高度是很困难的，还因为有水、砂浆、悬浮液，导致螺丝生锈，螺母压盖生锈，这样就很难拆卸，因此就降低了加工效率，延长了维修时间，同时使得太阳轮的使用寿命降低。【
技术实现思路
】为了克服
技术介绍
中的不足，本技术公开了一种磨片机太阳轮高度专用调整装置，本技术通过在主轴上设置太阳轮基座和太阳轮，以此来达到调整太阳轮高度的目的。为了实现所述技术目的，本技术采用如下技术方案:一种磨片机太阳轮高度专用调整装置，包括主轴、太阳轮、太阳轮基座、带槽端盖、固定端盖和防尘盖，主轴的顶部设有带槽端盖，带槽端盖上设有固定端盖，固定端盖上设有防尘盖，在带槽端盖下方的主轴上设有太阳轮基座，太阳轮基座上设有太阳轮。所述太阳轮底部设有凹槽，凹槽内壁上设有内丝。所述太阳轮基座顶部设有凸块，凸块的外侧面上设有外丝，太阳轮基座通过凸块插入到太阳轮底部的凹槽内使太阳轮基座与太阳轮相连接。所述太阳轮上至少设有两个沉头螺丝孔。由于采用了上述技术方案，本技术具有如下有益效果:本技术所述的一种磨片机太阳轮高度专用调整装置，包括主轴、太阳轮、太阳轮基座、带槽端盖、固定端盖和防尘盖，通过在主轴上设置太阳轮基座和太阳轮，以此来达到调整太阳轮高度的目的；本技术实用性强，使用和维修起来比较方便，不但很好的调整了太阳轮的高度，而且减少了维修的时间，降低了维修成本，同时延长了太阳轮的使用寿命，进一步提尚了企业的效航。【【附图说明】】图1为本技术的结构剖面示意图；图中:1、防尘盖；2、固定端盖；3、带槽端盖；4、太阳轮；5、太阳轮基座；6、主轴。【【具体实施方式】】通过下面的实施例可以详细的解释本技术，公开本技术的目的旨在保护本技术范围内的一切技术改进。结合附图1所述的一种磨片机太阳轮高度专用调整装置，包括主轴6、太阳轮4、太阳轮基座5、带槽端盖3、固定端盖2和防尘盖1，主轴6的顶部设有带槽端盖3，带槽端盖3上设有固定端盖2，固定端盖2上设有防尘盖1，在带槽端盖3下方的主轴6上设有太阳轮基座5，太阳轮基座5上设有太阳轮4 ;所述太阳轮4底部设有凹槽，凹槽内壁上设有内丝；所述太阳轮基座5顶部设有凸块，凸块的外侧面上设有外丝，太阳轮基座5通过凸块插入到太阳轮4底部的凹槽内使太阳轮基座5与太阳轮4相连接；所述太阳轮4上至少设有两个沉头螺丝孔。实施本技术所述的一种磨片机太阳轮高度专用调整装置，在使用时，首先将太阳轮4通过其底部的内丝与太阳轮基座5凸块上的外丝使太阳轮4与太阳轮基座5相连接，太阳轮的高度调整好之后就可以通过螺丝插入到太阳轮4的沉头螺丝孔内将太阳轮4顶紧就可以了，当太阳轮4磨损之后，需要调整的时候就可以通过太阳轮4和太阳轮基座5上的丝进行调整高度了，调整好之后再用螺丝顶紧就可以了，这样就延长了太阳轮的使用寿命，员工可以很轻松的进行调整，减少了维修时间，降低了维修成本。本技术未详述部分为现有技术。【主权项】1.一种磨片机太阳轮高度专用调整装置，包括主轴、太阳轮、太阳轮基座、带槽端盖、固定端盖和防尘盖，主轴的顶部设有带槽端盖，带槽端盖上设有固定端盖，固定端盖上设有防尘盖，其特征是:在带槽端盖下方的主轴上设有太阳轮基座，太阳轮基座上设有太阳轮。2.根据权利要求1所述的一种磨片机太阳轮高度专用调整装置，其特征是:所述太阳轮底部设有凹槽，凹槽内壁上设有内丝。3.根据权利要求1所述的一种磨片机太阳轮高度专用调整装置，其特征是:所述太阳轮基座顶部设有凸块，凸块的外侧面上设有外丝，太阳轮基座通过凸块插入到太阳轮底部的凹槽内使太阳轮基座与太阳轮相连接。4.根据权利要求1所述的一种磨片机太阳轮高度专用调整装置，其特征是:所述太阳轮上至少设有两个沉头螺丝孔。【专利摘要】一种磨片机太阳轮高度专用调整装置，涉及半导体硅片生产
，由主轴、太阳轮、太阳轮基座、带槽端盖、固定端盖和防尘盖构成，在带槽端盖下方的主轴上设有太阳轮基座，太阳轮基座上设有太阳轮；本技术实用性强，使用和维修起来比较方便，不但很好的调整了太阳轮的高度，而且减少了维修的时间，降低了维修成本，同时延长了太阳轮的使用寿命，进一步提高了企业的效益。【IPC分类】B24B41/00【公开号】CN204673457【申请号】CN201520354488【专利技术人】张自安, 裴保齐, 周涛 【申请人】洛阳鸿泰半导体有限公司【公开日】2015年9月30日【申请日】2015年5月28日本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种磨片机太阳轮高度专用调整装置，包括主轴、太阳轮、太阳轮基座、带槽端盖、固定端盖和防尘盖，主轴的顶部设有带槽端盖，带槽端盖上设有固定端盖，固定端盖上设有防尘盖，其特征是：在带槽端盖下方的主轴上设有太阳轮基座，太阳轮基座上设有太阳轮。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：张自安，裴保齐，周涛，
申请(专利权)人：洛阳鸿泰半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：河南;41
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