一种硅棒端面打磨机制造技术

技术编号:38777783 阅读:13 留言:0更新日期:2023-09-10 11:14
一种硅棒端面打磨机,包括支架,所述支架的底座设置在工作面上、顶部设置磨头,磨头朝向下方,支架上设置可上下移动的工作台,工作台上设置水平移动的移动滑台,移动滑台上设置用于竖直夹紧硅棒的夹紧装置;所述磨头、移动滑台均由对应的步进电机驱动,磨头对应的步进电机、移动滑台对应的步进电机与其对应的驱动器连接,所述驱动器与同一PLC控制器连接,PLC控制器与操作面板连接。该装置在打磨时,一键启动对硅棒进行往复打磨,不仅提高效率,减少人力,也减少了因测量不准造成后续加工的浪费,降低成本,并且该装置的结构相互匹配、易于实施,在打磨时,容易控制打磨的速度及次数,打磨效果好。磨效果好。磨效果好。

【技术实现步骤摘要】
一种硅棒端面打磨机


[0001]本技术属于硅棒端面处理
,具体涉及一种硅棒端面打磨机。

技术介绍

[0002]各个行业的现代企业中,高效、高品质的生产都是每个企业的追求。若要做到高效、高品质,需要成熟、完善的加工设备、辅助设备,也要不断地在实际生产中,根据生产的需要,对加工设备、辅助设备进行改进、完善,使加工设备、辅助设备进一步的成熟、便捷、快速、高效,适应生产的发展,从而减少产品的不合格率。同时,自动化也是加工设备、辅助设备的发展趋势。在硅棒的实际加工生产过程中,由于硅棒长时间裸露在外面,端面容易氧化,形成氧化层,在测量电阻率时,会测不准,所以必须去除硅棒端面的氧化层再进行测量。现有的硅棒端面打磨使用砂纸人工打磨,费时费力,且打磨过程不易控制,打磨效果较差,所以迫切需要一种能够批量高效处理的打磨设备。

技术实现思路

[0003]为解决上述硅棒端面打磨费时费力、打磨效果差的技术问题,本技术提供一种硅棒端面打磨机。
[0004]本技术的目的是采用以下技术方案来实现。依据本技术提出的一种硅棒端面打磨机,包括支架,所述支架的底座设置在工作面上、顶部设置磨头,磨头朝向下方,支架上设置可上下移动的工作台,工作台上设置水平移动的移动滑台,移动滑台上设置用于竖直夹紧硅棒的夹紧装置;所述磨头、移动滑台均由对应的步进电机驱动,磨头对应的步进电机、移动滑台对应的步进电机与其对应的驱动器连接,所述驱动器与同一PLC控制器连接,PLC控制器与操作面板连接。
[0005]进一步的,所述支架上设置用于操作工作台上下移动的手动升降摇柄。
[0006]进一步的,所述夹紧装置包括气缸、固定块、移动块、手动气阀,气缸、固定块设置在移动滑台上,气缸的驱动轴端部设置移动块,手动气阀用于控制气缸的驱动轴伸缩,以调节移动块与固定块之间的距离,移动块、固定块相对部分均设置截面为梯形的槽,用于牢固夹紧硅棒。
[0007]进一步的,磨头内部连接有水冷却系统,水冷却系统随磨头的旋转或停止进行通断,
[0008]进一步的,所述磨头可拆卸连接在支架上,其直径大于或等于对应打磨硅棒的直径。
[0009]进一步的,所述移动滑台上沿其移动路径分布设置两个挡块,工作台上设置两个限位开关,限位开关分布在挡块移动路径所在的直线上,限位开关与PLC控制器连接。
[0010]与现有技术相比,本技术的有益之处在于:该装置在打磨时,一键启动对硅棒进行往复打磨,不仅提高效率,减少人力,也减少了因测量不准造成后续加工的浪费,降低成本,并且该装置的结构相互匹配、易于实施,在打磨时,容易控制打磨的速度及次数,打磨
效果好。
[0011]上述说明仅是本技术技术方案的概述,为了能够更清楚了解本技术的技术手段,而可依照说明书的内容予以实施,并且为了让本技术的上述和其他目的、特征和优点能够更明显易懂,以下特举较佳实施例,并配合附图,详细说明如下。
附图说明
[0012]图1为本技术实施例提供的一种硅棒端面打磨机的总体结构示意图;
[0013]图2为图1的夹紧装置以及移动滑台的俯视示意图;
[0014]图3为图2所示实施例中步进电机的电气线路示意图;
[0015]图4为图1所示实施例的控制系统结构示意图。
[0016]【附图标记】
[0017]1‑
手动升降摇柄,2

移动滑台,201

挡块,3

硅棒端面,4

磨头,5

夹紧装置,501

气缸,502

固定块,503

移动块,6

工作台,7

限位开关,8

支架,9

步进电机。
具体实施方式
[0018]下面将结合本技术实施例中的附图,对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本技术保护的范围。
[0019]本技术一种硅棒端面打磨机的实施例,如图1至图4所示,包括支架8,支架8的底座设置在工作面上,支架8的顶部设置磨头4。支架8上还上下移动设置工作台6以及操作工作台6上下移动的手动升降摇柄1,转动手动升降摇柄1,可以使工作台6上下移动,通过旋转手动升降手柄1,使工作台6升降到合适位置,然后进行锁紧,此为现有技术,在此不再赘述,例如,现有专利CN207522554U所示的一种手动调整型升降工作台,其中,通过转动手轮使工作台升降,然后锁紧。
[0020]工作台6上设置移动滑台2、步进电机9,步进电机9带动移动滑台2往复移动,步进电机9带动移动滑台2移动的机械结构为现有技术,在此不再赘述,例如,现有专利CN213562427U公开了一种装有电动移动滑台的工作台,其中,伺服电机带动滑台内部滚珠丝杆转动,滚珠丝杆带动滑块移动。
[0021]步进电机9与驱动器的输出端连接,驱动器的输入端与PLC控制器的输出端连接,操作面板的输出端与PLC控制器的输入端连接。在操作面板上设置移动滑台2的位置、移动速度、移动方向以及往复移动的次数,设置完毕后,按下启停按钮,使PLC控制器通过驱动器驱动步进电机9动作。移动滑台移动范围是一定的,根据其移动速度,可以确定其单次移动的时间。步进电机正转或反转,从而使移动滑台往复移动。在操作面板上设置参数,通过PLC控制器控制步进电机正反转,从而控制移动滑台往复移动为现有技术,在此不再赘述,例如,在现有专利CN 104400188B一种三维自动焊接系统及其焊接控制方法,公开了,作为人机界面的触摸屏、工作按钮,与PLC控制器连接,PLC控制器控制各种电机运行,其中包括使电机旋转、正反转。
[0022]移动滑台2上设置夹紧装置5,用于夹持固定需要加工的不同尺寸的硅棒。夹紧装
置5包括气缸501、固定块502、移动块503、手动气阀。气缸501、固定块502设置在移动滑台2上,气缸501的驱动轴端部设置移动块503,手动气阀用于控制气缸的驱动轴伸缩,以调节移动块503与固定块502之间的距离,从而夹紧不同尺寸的硅棒。移动块503、固定块502相对部分均设置截面为梯形的槽,用于牢固夹紧硅棒。将硅棒竖直放置在固定块502与移动块503之间的移动滑台2上,使待打磨的硅棒端面3朝向上方,启动手动气阀,待移动块503移动至夹紧硅棒,关闭手动气阀,从而实现对硅棒的夹紧;取下硅棒时,操作手动气阀,使移动块反向移动,松开硅棒后取下硅棒。
[0023]磨头4由电机驱动,硅棒夹紧并调整至合适位置后,启动磨头电机,磨头4开始顺时针旋转,随着移动滑台2的往复移动,对硅棒端面3进行打磨。磨头内部连接有水冷却系统,水冷却系统随磨头的旋转或本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种硅棒端面打磨机,包括支架,其特征在于:所述支架的底座设置在工作面上、顶部设置磨头,磨头朝向下方,支架上设置可上下移动的工作台,工作台上设置水平移动的移动滑台,移动滑台上设置用于竖直夹紧硅棒的夹紧装置;所述磨头、移动滑台与其对应的步进电机连接,磨头对应的步进电机、移动滑台对应的步进电机与其对应的驱动器连接,所述驱动器与同一PLC控制器连接,PLC控制器与操作面板连接。2.根据权利要求1所述的一种硅棒端面打磨机,其特征在于:所述支架上设置用于操作工作台上下移动的手动升降摇柄。3.根据权利要求1所述的一种硅棒端面打磨机,其特征在于:所述夹紧装置包括气缸、固定块、移动块、手动气阀,气缸、固定块设置在移动...

【专利技术属性】
技术研发人员:李斌周涛张志林宋亚峰
申请(专利权)人:洛阳鸿泰半导体有限公司
类型:新型
国别省市:

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