一种用于单晶硅棒槽式酸腐蚀的可晃动承载装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种用于单晶硅棒槽式酸腐蚀的可晃动承载装置，包括固定于槽体底部的半圆杆、承载盒、承载盒提竿、支撑杆和推拉杆；所述半圆杆圆弧面朝上，承载盒放置半圆杆上；承载盒提竿固定在承载盒的上方；承载盒提竿与支撑杆的一端通过连接件进行活动连接，支撑杆的另一端与推拉杆的一端固定连接。本实用新型专利技术通过在承载盒基础上增加底部半圆杆及上部推拉杆，通过在安全距离外操作推拉杆，增大了酸腐蚀过程中操作人员进行手动晃动操作的安全距离。距离。距离。

【技术实现步骤摘要】
一种用于单晶硅棒槽式酸腐蚀的可晃动承载装置


[0001]本技术涉及化学工程
，尤其涉及一种用于单晶硅棒槽式酸腐蚀的可晃动承载装置。

技术介绍

[0002]为了去除单晶硅棒因外圆表面磨削加工之后产生的表面机械损伤和表面玷污，更有利于后续的加工，对单晶硅棒表面进行酸腐蚀处理，但人工对单晶硅棒进行酸腐蚀处理时安全性较差，氮氧化物的溢出率也较高。

技术实现思路

[0003]针对现有技术存在的缺陷和不足，本技术提供一种用于单晶硅棒槽式酸腐蚀的可晃动承载装置，不仅能够在单晶硅棒的表面充分接触酸液进行酸腐蚀的同时保证操作人员的安全性，还能降低操作过程中氮氧化物的溢出率。
[0004]为解决上述技术问题，本技术所采用的技术方案是：一种用于单晶硅棒槽式酸腐蚀的可晃动承载装置，包括固定于槽体底部的半圆杆、承载盒、承载盒提竿、支撑杆和推拉杆；所述半圆杆圆弧面朝上，承载盒放置半圆杆上；承载盒提竿固定在承载盒的上方；承载盒提竿与支撑杆的一端通过连接件进行活动连接，支撑杆的另一端与推拉杆的一端固定连接。
[0005]优选的，承载盒的底部设有若干个隔板。
[0006]进一步的，承载盒提竿上设有卡口，支撑杆的下方设有能够与卡口进行卡合的卡接件，支撑杆通过卡接件和卡口与承载盒提竿活动连接。
[0007]进一步的，推拉杆的另一端设有把手。
[0008]与现有技术相比，本技术具有如下优点：
[0009]本技术在承载盒基础上增加固定于槽体底部的半圆杆及上部推拉杆，通过在安全距离外操作推拉杆，增大了酸腐蚀过程中操作人员进行手动晃动操作的安全距离。
[0010]本技术使用时可以关闭机台的升降门至最低点，有效阻止酸腐蚀过程中氮氧化物的外溢。
附图说明
[0011]为了更清楚的说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单的介绍，显而易见的，下面描述中附图仅是本申请的实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图获得其他的附图。
[0012]图1为槽体和固定于槽体底部的半圆杆的简单示意图。
[0013]图2为本技术一种用于单晶硅棒槽式酸腐蚀的可晃动承载装置的简单示意图。
[0014]图中：1.槽体 2.固定于槽体底部的半圆杆 3.承载盒 4.隔板 5.承载盒提竿 6.支撑杆 7.推拉杆 8.把手 9.卡口 10.卡接件
具体实施方式
[0015]以下结合具体实施方式进一步对本技术的技术方案进行阐述。同样应理解，以下实施例只用于对本技术进行进一步说明，不能理解为对本技术保护范围的限制，本领域的技术人员根据本技术的上述内容作出的一些非本质的改进和调整均属于本技术的保护范围。
[0016]一种用于单晶硅棒槽式酸腐蚀的可晃动承载装置，如图1、图2所示，包括固定于槽体底部的半圆杆2、承载盒3、承载盒提竿5、支撑杆6和推拉杆7；所述固定于槽体底部的半圆杆2圆弧面朝上用作限位杆；承载盒3放置固定于槽体底部的半圆杆2上，承载盒3的底部设有两个隔板4，将每根放入承载盒3中的单晶硅棒分隔开；承载盒提竿5固定在承载盒3的上方；承载盒提竿5上设有卡口9，支撑杆6的一端设有能够与卡口9进行卡合的卡接件10，支撑杆6通过卡接件10和卡口9与承载盒提竿5活动连接；支撑杆6的另一端与推拉杆7固定连接且推拉杆7朝向机台外部操作人员所在的方向，推拉杆7靠近操作人员的一端设有把手8，方便操作人员握持。
[0017]使用时，关闭机台升降门至最低点，操作人员握持把手8前后推动推拉杆7来使承载盒3前后晃动，带动承载盒中的单晶硅棒晃动使硅棒表面完全接触腐蚀液进行酸腐蚀处理。
[0018]以上所述仅是本技术的实施例，并非对本技术作任何形式上的限制，本技术还可以根据以上结构和功能具有其它形式的实施例，不再一一列举。因此，任何熟悉本专业的技术人员，在不脱离本技术技术方案范围内，依据本技术的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均仍属于本技术技术方案的范围内。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于单晶硅棒槽式酸腐蚀的可晃动承载装置，其特征在于，包括固定于槽体底部的半圆杆、承载盒、承载盒提竿、支撑杆和推拉杆；所述半圆杆圆弧面朝上，承载盒放置半圆杆上；承载盒提竿固定在承载盒的上方；承载盒提竿与支撑杆的一端通过连接件进行活动连接，支撑杆的另一端与推拉杆的一端固定连接。2.如权利要求1所述的一种用于单晶硅棒槽式酸腐蚀的可晃动承载装置，...

【专利技术属性】
技术研发人员：姚剑龙，周涛，宋亚峰，
申请(专利权)人：洛阳鸿泰半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：