本发明公开了一种高阻硅片自动分选的厚度检测装置及检测方法，涉及高阻硅片检测技术领域，包括底座，所述底座的表面设有传送组件，所述底座的表面设有厚度检测组件，所述底座的表面两侧对称设有电阻率检测组件，所述底座的表面设有调节组件，所述调节组件...

一种带智能风干功能的研磨机，包括研磨机本体，研磨机本体上设置控制箱，所述控制箱上设置手动阀，手动阀的进气口连接气管、出气口连接软管，气管按照流动方向依次串联设置研磨机气缸、空气压缩机、稳压阀、电磁阀、手动阀，软管的活动端设置喷嘴，喷嘴上...

一种硅棒端面打磨机，包括支架，所述支架的底座设置在工作面上、顶部设置磨头，磨头朝向下方，支架上设置可上下移动的工作台，工作台上设置水平移动的移动滑台，移动滑台上设置用于竖直夹紧硅棒的夹紧装置；所述磨头、移动滑台均由对应的步进电机驱动，磨...

一种硅片研磨机磨盘盘面修正轮的存放装置，包括存放柜，所述存放柜内腔并列设置多个竖直的间隔栏，相邻间隔栏之间的空腔下方转动设置至少两个齿轮，间隔栏之间的空腔放入修正轮后，修正轮外圆周的齿轮与间隔栏下方的齿轮啮合；间隔栏上方设置喷淋装置，齿...

本实用新型涉及一种真空干燥箱，包括箱体，所述箱体内设有干燥腔室，干燥腔室上设有加热组件和破真空装置，干燥腔室通过管线与厂房真空系统管道相连。本实用新型将厂房真空系统管道通过管线直接与真空干燥箱的干燥腔室连接，无需专门配置一个真空泵进行抽...

本实用新型关于一种半导体硅片间距调整装置，包括第一转接盒、第二转接盒和整体呈U型的调整轨道，第一转接盒内设有若干第一片槽，第二转接盒内设有若干第二片槽，且第一转接盒入口端与标准承载盒尺寸规格一致；第二转接盒出口端与酸腐载具的尺寸规格一致...

本实用新型涉及一种适用于单晶硅片碱腐蚀的装置，包括碱液槽、能够在碱液槽中上下移动的可活动筛网、设置在可活动筛网上的多个化腐盒、抛动架和驱动机构，所述抛动架包括第一连接部、第二连接部，第一连接部的底部与可活动筛网的一侧连接，第一连接部和第...

一种用于三维半导体生产工艺的新型负压操作台，包括箱体，箱体上设有操作观察窗、隔尘操作孔和原材料回收口，原材料回收口位于箱体的下部且原材料回收口内设有原材料回收托盘，箱体设有产品或原材料出入口，箱体的顶部贯穿设有负压管道，箱体内设有操作平...

一种多线切割机冷却水管装置，包括水箱、进水管，所述水箱内部上方设置沿水箱长度方向延伸的多孔管，多孔管两端封闭且与进水管连接，多孔管的底部侧壁沿其长度方向均匀分布多个出水口；所述水箱底部侧壁设置沿水箱长度方向延伸的出水槽，水箱底部的内壁竖...

本实用新型涉及一种用于单晶硅棒槽式酸腐蚀的可晃动承载装置，包括固定于槽体底部的半圆杆、承载盒、承载盒提竿、支撑杆和推拉杆；所述半圆杆圆弧面朝上，承载盒放置半圆杆上；承载盒提竿固定在承载盒的上方；承载盒提竿与支撑杆的一端通过连接件进行活动...

一种适用于半导体研磨机的砂浆自动循环控制装置，包括三通电控换向球阀、继电器、电动开关，三通电控换向球阀的进口A、出口B、出口C分别与蠕动泵、砂浆桶、研磨机流砂槽连接，砂浆桶与蠕动泵的进口连接；测厚仪与PLC控制器电连接，PLC控制器与电...

本实用新型公开一种适用于半导体晶棒晶向调节的粘棒工装，包括用于放置晶托（2）、粘接为一体的树脂板（3）和晶棒（5）的底座（1）、设置于底座上并用于同时抵接晶托端面和晶棒端面的端面限位板（4）、设置于底座上的侧支架（9）、用于测量侧支架和...

本实用新型公开一种适用于半导体晶棒切片机的砂浆管调整机构，包括长度方向平行于待切割的晶棒轴线方向的砂浆管本体，砂浆管本体沿长度方向的两端与切片机上相应的机器内壁滑动连接，且砂浆管本体的滑动方向为水平方向；砂浆管本体上设置第一滑块，与第一...

本实用新型公开一种可实现高阻硅片自动分选的组合式测试装置，包括机柜、安装在机柜上的输送皮带、厚度测试台、电阻率测试台，厚度测试台位于输送皮带的上游；电阻率测试台位于输送皮带的下游，采用四探针模组测试高阻硅片的电阻率。配备该组合式测试装置...

本实用新型公开一种可实现高阻硅片自动分选的电阻率测试台，包括用于装配在分选仪的机柜上的安装平台；装配在安装平台上的支撑座，支撑座上滑动装配有四探针模组；装配在安装平台上的顶升机构；装配在安装平台上的对中定位机构。配备前述电阻率测试台的分...

一种方便调整多线切割的冷却装置，包括相对设置的冷却装置，所述冷却装置包括活动导流板(2)、支撑杆(3)，活动导流板(2)的一端安装在支撑杆(3)上、另一端将冷却水引流至加工件(9)的切割面处，支撑杆(3)的一端安装有可转动的滚动件(7)...

一种节能型砂浆搅拌控制装置，包括电源正极、电源负极、启动按钮SB1、急停按钮SB2、继电器KA1、继电器KA2、继电器KA3、通电延时继电器KT1、通电延时继电器KT2以及继电器KM，所述继电器KA1包括KA1线圈、第一常开触点KA1

一种新型离心式硅片甩干机，包括甩干桶、桶盖、电机、皮带轮以及转轴，桶盖罩盖在甩干桶上，电机的输出轴与皮带轮连接，皮带轮与转轴一端连接，转轴另一端穿过甩干桶底部后与设置在甩干桶内部的硅片承载装置固接，所述桶盖的中心开设有贯通的空气入口，在...

一种多段稳压式磨片机，包括机柜、龙门架、气缸，气缸的活塞杆与上磨盘连接，机柜内设有与上磨盘旋转方向相反的下磨盘，气缸的进气口与气源之间设有四根并联设置的供压气路，该供压气路分别为相互并联的第一气路、第二气路、第三气路及第四气路，第一气路...

本实用新型涉及一种基于三维半导体晶圆的快恢复二极管结构，包括依次层布置的第一电极层、正面导通层、阻断层、背面导通层及第二电极层，所述阻断层内垂直于其两侧端面的方向嵌入有由多个阵列状分布的连接体形成连接层，所述连接层中的连接体一端嵌设在所...