一种多段稳压式磨片机制造技术

一种多段稳压式磨片机，包括机柜、龙门架、气缸，气缸的活塞杆与上磨盘连接，机柜内设有与上磨盘旋转方向相反的下磨盘，气缸的进气口与气源之间设有四根并联设置的供压气路，该供压气路分别为相互并联的第一气路、第二气路、第三气路及第四气路，第一气路上设有相互串联的第一电磁阀YV0和上盘下降稳压调节阀，第二气路上设有相互串联的第二电磁阀YV1和第一轻压稳压调节阀，第三气路上设有相互串联的第三电磁阀YV2和加压稳压调节阀，第四气路上设有相互串联的第四电磁阀YV3和第二轻压稳压调节阀。本实用新型专利技术通过设置四路并联的供压气路，可以根据需要在各机械式稳压调节阀上预先设定不同的压力值实现对硅片的研磨，避免了电磁干扰带来的压力波动。

【技术实现步骤摘要】
一种多段稳压式磨片机
本技术属于硅片磨削装置
，特别涉及一种多段稳压式磨片机。
技术介绍
不管是在哪个行业，安全、环保、高效、高品质等都是每个企业的追求。若要做到这些必须要有成熟、完善的加工工艺，也要不断的改进设备使加工设备更成熟更好用，快速、高效。减少产品的不合格率必须要有性能完善的自动化设备，磨片机是半导体行业必不可少的加工设备。如图1为常规现有磨片机的结构简图，包括机柜、设于机柜上的龙门架、固定在龙门架上的气缸1，气缸1的活塞杆与上磨盘2连接从而控制上磨盘的升降，机柜内设有与上磨盘旋转方向相反的下磨盘3，上磨盘2和下磨盘3均由电机(图中未示)驱动实现相反方向运转从而对硅片双面进行研磨；其磨片过程是：轻压--加压--轻压。设备的压力控制是靠压力比例阀控制，比例阀输出压力大小是通过PLC输出模拟量电压决定的。比例阀输出的气压输出到气缸，气压增大，上磨盘2就对下磨盘3的压力增大，实现加压研磨。然而比例阀经常受大功率设备电磁干扰，经常出现压力波动，从而导致磨出的硅片有时厚片，有时薄片，造成了很多厚度参差不齐的不合格产品。针对这样的现象，急需本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种多段稳压式磨片机，包括机柜、设于机柜上的龙门架、固定在龙门架上的气缸，气缸的活塞杆与上磨盘连接从而控制上磨盘的升降，机柜内设有与上磨盘旋转方向相反的下磨盘，其特征在于：所述气缸的进气口与气源之间设有四根并联设置的供压气路，该供压气路分别为相互并联的第一气路、第二气路、第三气路及第四气路，第一气路上设有相互串联的第一电磁阀YV0和上盘下降稳压调节阀，第二气路上设有相互串联的第二电磁阀YV1和第一轻压稳压调节阀，第三气路上设有相互串联的第三电磁阀YV2和加压稳压调节阀，第四气路上设有相互串联的第四电磁阀YV3和第二轻压稳压调节阀。/n

【技术特征摘要】
1.一种多段稳压式磨片机，包括机柜、设于机柜上的龙门架、固定在龙门架上的气缸，气缸的活塞杆与上磨盘连接从而控制上磨盘的升降，机柜内设有与上磨盘旋转方向相反的下磨盘，其特征在于：所述气缸的进气口与气源之间设有四根并联设置的供压气路，该供压气路分别为相互并联的第一气路、第二气路、第三气路及第四气路，第一气路上设有相互串联的第一电磁阀YV0和上盘下降稳压调节阀，第二气路上设有相互串联的第二电磁阀YV1和第一轻压稳压调节阀，第三气路上设有相互串联的第三电磁阀YV2和加压稳...

【专利技术属性】
技术研发人员：李斌，
申请(专利权)人：洛阳鸿泰半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：河南;41